一种带真空传感器的显微镜的制作方法

本实用新型涉及驱动芯片金凸块领域，具体是一种带真空传感器的显微镜。

背景技术：

显微镜是由一个透镜或几个透镜的组合构成的一种光学仪器，是人类进入原子时代的标志。主要用于放大微小物体成为人的肉眼所能看到的仪器。显微镜分光学显微镜和电子显微镜：光学显微镜是在1590年由荷兰的詹森父子所首创。现在的光学显微镜可把物体放大1600倍，分辨的最小极限达波长的1/2，国内显微镜机械筒长度一般是160毫米，其中对显微镜研制，微生物学有巨大贡献的人为列文虎克、荷兰籍。

在对显微镜的使用过程中，需要使用到机械手臂对被观察物体进行拿取转运，在转运过程中，会使用到真空吸附，在真空吸附时，可能会因为真空值得不到标准而导致被观察物体掉落，从而造成被观察对象的损坏，给工作人员造成了一定的困扰。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种带真空传感器的显微镜，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种带真空传感器的显微镜，包括支架、安装板、底座、三通管和侧板，所述底座顶部固定安装有侧板，侧板的前端外表面固定安装支架，支架内部开设有滑槽，支架顶部与底部均设有与滑槽相通的开口，支架的滑槽内滑动安装有第一滑块和第二滑块，支架的顶部两侧固定安装有第一电动伸缩杆和第二电动伸缩杆，第一滑块的顶部通过安装件贯穿开口固定安装有第一移动块，第一电动伸缩杆的自由端与第一移动块的一侧连接，第二滑块的顶部通过安装件贯穿开口固定安装有第二移动块，第一电动伸缩杆的自由端与第二移动块的一侧连接，第一滑块的底部通过安装件贯穿开口固定安装有工作机箱，工作机箱的前端外表面固定安装有观察筒，工作机箱底部固定安装有倍镜筒，底座顶部设有腔体，腔体的内侧底部固定安装有聚光灯，腔体的顶部固定安装有透光镜，底座一侧固定安装有放置盒，第二滑块的底部通过安装件贯穿开口固定安装有安装板，安装板的底部固定安装有第三电动伸缩杆，第三电动伸缩杆的自由端固定安装有真空筒，真空筒底部固定安装有吸盘，真空筒的一侧固定安装有三通管，安装板底部固定安装有真空泵，真空泵的输出端固定安装有软管的一端，软管的自由端与三通管的一端连接，三通管内固定安装有真空传感器，安装板底部一侧固定安装有光纤传感器，底座前端外表面固定安装有控制器。

作为本实用新型进一步的方案：所述第一移动块远离第一电动伸缩杆的一侧固定安装有位置传感器。

作为本实用新型再进一步的方案：所述放置盒内部固定安装有若干隔板。

作为本实用新型再进一步的方案：所述三通管的远离真空泵的一端固定安装有单向阀。

作为本实用新型再进一步的方案：所述控制器分别与第一电动伸缩杆、第二电动伸缩杆、光纤传感器、第三电动伸缩杆、位置传感器、真空传感器和单向阀电连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型结构简单，操作方便，当光纤传感器能够对放置盒内晶圆片进行检测，当检测到放置盒内存放有晶圆片时，将信号传送至控制器，通过第二电动伸缩杆、吸盘、第三电动伸缩杆和真空筒的配合使用，使得吸盘的底部与晶圆片的顶部触碰，真空泵通过软管和三通管将真空筒内抽空至真空状态，使得晶圆片能够吸附在吸盘底部，通过真空传感器能够检测真空值的大小，当到达设定真空值范围时，才会进行下一步骤，不仅避免在吸附过程中晶圆片会掉落损坏，还能避免真空值过高对晶圆片造成损坏，提高了对晶圆片的安全保障，减少了对工作人员造成的困扰，通过真空泵、第二电动伸缩杆、单向阀和第三电动伸缩杆的配合使用，将晶圆片平稳放置在透光镜顶部，第一移动块运动过程中，位置传感器能够精准的控制倍镜筒的横向位置，便于对晶圆片进行观察，有利于提高观察的工作效率。

附图说明

图1为一种带真空传感器的显微镜的结构示意图。

图2为一种带真空传感器的显微镜的正视图。

图3为一种带真空传感器的显微镜中A部放大图。

图4为一种带真空传感器的显微镜中工作机箱的侧视图。

图中：1、第一电动伸缩杆；2、支架；3、第一移动块；4、位置传感器；5、第一滑块；6、第二移动块；7、第二滑块；8、第二电动伸缩杆；9、安装板；10、真空泵；11、光纤传感器；12、放置盒；13、底座；14、聚光灯；15、腔体；16、透光镜；17、倍镜筒；18、工作机箱；19、第三电动伸缩杆；20、软管；21、三通管；22、真空传感器；23、单向阀；24、吸盘；25、真空筒；26、控制器；27、观察筒；28、侧板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种带真空传感器的显微镜，包括第一电动伸缩杆1、支架2、第一移动块3、位置传感器4、第一滑块5、第二移动块6、第二滑块7、第二电动伸缩杆8、安装板9、真空泵10、光纤传感器11、放置盒12、底座13、聚光灯14、腔体15、透光镜16、倍镜筒17、工作机箱18、第三电动伸缩杆19、软管20、三通管21、真空传感器22、单向阀23、吸盘24、真空筒25、控制器26、观察筒27和侧板28，所述底座13顶部固定安装有侧板28，侧板28的前端外表面固定安装支架2，支架2内部开设有滑槽，支架2顶部与底部均设有与滑槽相通的开口，支架2的滑槽内滑动安装有第一滑块5和第二滑块7，支架2的顶部两侧固定安装有第一电动伸缩杆1和第二电动伸缩杆8，第一滑块5的顶部通过安装件贯穿开口固定安装有第一移动块3，第一电动伸缩杆1的自由端与第一移动块3的一侧连接，第二滑块7的顶部通过安装件贯穿开口固定安装有第二移动块6，第一电动伸缩杆1的自由端与第二移动块6的一侧连接，所述第一移动块3远离第一电动伸缩杆1的一侧固定安装有位置传感器4，第一滑块5的底部通过安装件贯穿开口固定安装有工作机箱18，工作机箱18的前端外表面固定安装有观察筒27，工作机箱18底部固定安装有倍镜筒17，底座13顶部设有腔体15，腔体15的内侧底部固定安装有聚光灯14，腔体15的顶部固定安装有透光镜16，底座13一侧固定安装有放置盒12，所述放置盒12内部固定安装有若干隔板，第二滑块7的底部通过安装件贯穿开口固定安装有安装板9，安装板9的底部固定安装有第三电动伸缩杆19，第三电动伸缩杆19的自由端固定安装有真空筒25，真空筒25底部固定安装有吸盘24，真空筒25的一侧固定安装有三通管21，安装板9底部固定安装有真空泵10，真空泵10的输出端固定安装有软管20的一端，软管20的自由端与三通管21的一端连接，所述三通管21的远离真空泵10的一端固定安装有单向阀23，三通管21内固定安装有真空传感器22，安装板9底部一侧固定安装有光纤传感器11，底座13前端外表面固定安装有控制器26，所述控制器26分别与第一电动伸缩杆1、第二电动伸缩杆8、光纤传感器11、第三电动伸缩杆19、位置传感器4、真空传感器22和单向阀23电连接，使用时，晶圆片事先放置在放置盒12内侧底部，第二电动伸缩杆8通过第二滑块7带动安装板9横向运动，当光纤传感器11检测到放置盒12内存放有晶圆片时，将信号传送至控制器26，控制器26通过第二电动伸缩杆8将吸盘24运动至晶圆片的正上方，第三电动伸缩杆19驱动真空筒25向下运动，使得吸盘24的底部与晶圆片的顶部触碰，真空泵10通过软管20和三通管21将真空筒25内抽空至真空状态，使得晶圆片能够吸附在吸盘24底部，通过真空传感器22能够检测真空值的大小，从而避免在吸附过程中晶圆片会掉落损坏，通过第二电动伸缩杆8将吸盘24运动至透光镜16正上方，通过真空泵10、单向阀23和第三电动伸缩杆19的配合使用，将晶圆片平稳放置在透光镜16顶部，第一电动伸缩杆1通过第一移动块3驱动第一滑块5横向运动，从而使得倍镜筒17运动至透光镜16的正上方，通过观察筒27对晶圆片进行观察，第一移动块3运动过程中，位置传感器4能够精准的控制倍镜筒17的横向位置，便于对晶圆片进行观察。

本实用新型的工作原理是：

第二电动伸缩杆8通过第二滑块7带动安装板9横向运动，当光纤传感器11检测到放置盒12内存放有晶圆片时，将信号传送至控制器26，控制器26通过第二电动伸缩杆8将吸盘24运动至晶圆片的正上方，第三电动伸缩杆19驱动真空筒25向下运动，使得吸盘24的底部与晶圆片的顶部触碰，真空泵10通过软管20和三通管21将真空筒25内抽空至真空状态，使得晶圆片能够吸附在吸盘24底部，通过第二电动伸缩杆8将吸盘24运动至透光镜16正上方，通过真空泵10、单向阀23和第三电动伸缩杆19的配合使用，将晶圆片平稳放置在透光镜16顶部，第一电动伸缩杆1通过第一移动块3驱动第一滑块5横向运动，从而使得倍镜筒17运动至透光镜16的正上方，通过观察筒27对晶圆片进行观察。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。