1.一种光照射装置，其特征在于，包括：
多个光照射部，其向基片照射具有以光源为顶点的圆锥状的光路的真空紫外光；和
遮光部，其以遮挡从所述多个光照射部照射的所述真空紫外光的照射范围的重叠部分的方式与各光照射部对应地设置，
所述遮光部从所述真空紫外光的行进方向观察时形成为多边形。
2.如权利要求1所述的光照射装置，其特征在于：
所述遮光部具有在所述真空紫外光的行进方向上延伸而形成为筒状的筒状遮光部件。
3.如权利要求2所述的光照射装置，其特征在于：
所述筒状遮光部件以遍及所述光照射部与所述基片之间的大致整个区域的方式在所述行进方向上延伸。
4.如权利要求2所述的光照射装置，其特征在于：
所述筒状遮光部件在所述光照射部与所述基片之间设置在靠所述基片的位置。
5.如权利要求4所述的光照射装置，其特征在于：
所述筒状遮光部件为所述光照射部与所述基片之间的全长的一半以下的长度。
6.如权利要求1～5中任一项所述的光照射装置，其特征在于：
所述遮光部具有形成为板状的板状遮光部件。
7.如权利要求1所述的光照射装置，其特征在于：
所述遮光部包括：筒状遮光部件，其在所述真空紫外光的行进方向上延伸而形成为筒状，并且在所述光照射部与所述基片之间设置在靠所述基片的位置；和形成为板状的板状遮光部件，
所述板状遮光部件设置于所述筒状遮光部件的下方。
8.如权利要求7所述的光照射装置，其特征在于：
所述板状遮光部件被设置成与所述筒状遮光部件的下端接触。
9.如权利要求8所述的光照射装置，其特征在于：
所述板状遮光部件从所述行进方向观察时通过光的区域的大小比所述筒状遮光部件小。
10.如权利要求7所述的光照射装置，其特征在于：
所述板状遮光部件被设置成与所述筒状遮光部件的下端隔开间隔。
11.如权利要求1～10中任一项所述的光照射装置，其特征在于：
还包括调节所述遮光部与所述基片的间隔距离的间隔距离调节部。
12.如权利要求1～11中任一项所述的光照射装置，其特征在于：
所述光照射部构成为包括氘灯。
13.如权利要求12所述的光照射装置，其特征在于：
所述氘灯产生波长在200nm以下的真空紫外光。
14.如权利要求13所述的光照射装置，其特征在于：
所述氘灯产生波长在160nm以下的真空紫外光。
15.如权利要求1～14中任一项所述的光照射装置，其特征在于：
所述多个光照射部中，照射的所述真空紫外光的照度值、照射的所述真空紫外光的光线角度以及与所述基片的间隔距离的至少一者彼此不同。
16.如权利要求1～15中任一项所述的光照射装置，其特征在于：
还包括在所述遮光部的上方使所述真空紫外光扩散的扩散部。
17.如权利要求1～16中任一项所述的光照射装置，其特征在于：
还包括基片旋转部，其在使所述基片的照射面与所述光照射部相对的状态下使所述基片旋转。
18.如权利要求1～17中任一项所述的光照射装置，其特征在于：
还包括平行移动部，其使所述遮光部或所述基片在与所述基片的照射面平行的方向上往复移动。
19.如权利要求1～18中任一项所述的光照射装置，其特征在于：
所述遮光部由真空紫外光的反射率在90％以下的材质构成。