一种太赫兹片上集成过渡结构的制作方法

文档序号:17470394发布日期:2019-04-20 05:47阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开一种太赫兹片上集成过渡结构,包括依次连接的:输入端波导、太赫兹芯片电路以及输出端波导;所述输入端波导、输出端波导均由两级波导构成,具体为:第一级标准波导与第二级减高波导;所述输入端波导、输出端波导中的减高波导的末端为短路平面;所述太赫兹芯片电路至少包括:芯片主电路、输入端微带E面探针、输出端微带E面探针;输入端微带E面探针伸入所述输入端波导中的减高波导内;输出端微带E面探针伸入所述输出端波导中的减高波导内;所述输入端微带E面探针与输出端微带E面探针还与芯片主电路相连;本发明的过渡结构实现了标准波导到太赫兹芯片的过渡,减小了电路的尺寸,提高了传输效率。

技术研发人员:张勇;朱华利;杜浩;胡江;徐锐敏;延波
受保护的技术使用者:电子科技大学
技术研发日:2019.01.30
技术公布日:2019.04.19
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