技术特征：
技术总结
本发明提供一种多工位柔性卷带曝光装置及曝光方法，工件台具有多个设置柔性卷带的工位，对曝光区上的柔性卷带曝光时同步对测量区上的柔性卷带进行对位测量和/或焦面测量，完成曝光的柔性卷带自曝光区传出的同时将完成对位测量和/或焦面测量的柔性卷带从测量区传送至曝光区，在传送的过程中控制单元控制光罩调整单元对光罩进行调整，并在后一个柔性卷带到达曝光区后控制曝光单元对后一个柔性卷带进行曝光。本发明采用多工位并行的模式，测量区上的柔性卷带的对位测量和/或焦面测量与曝光区上的柔性卷带的曝光同步进行，在工位切换的过程中，完成对光罩的调整，多工位同时对柔性卷带进行处理，减少曝光工序的耗时，有利于提高产能。
技术研发人员：陈勇辉;李志丹;李会丽
受保护的技术使用者：上海微电子装备（集团）股份有限公司
技术研发日：2019.03.22
技术公布日：2019.06.14