液刀的制作方法

本发明涉及一种显示面板的制程领域，尤指一种在显示面板制造过程中用以施加处理液体的液刀。

背景技术：

在现有的薄膜晶体管(tft)湿制程技术中，玻璃基板洗净或者显影时均须使用狭缝式液刀，使例如显影剂等均匀地流出并涂布在玻璃基板上。当狭缝式液刀通过螺丝进行固定后，液体经由狭缝式液刀喷洒玻璃基板产生飞溅，部分的液体会回溅到液刀上。经长时间作业时水汽会在液刀上凝结，液刀表面凝结的水珠受到重力作用又会向液刀口流动而影响液刀喷出的水帘(liquidcurtain)，导致水帘不均匀，造成显影后光刻胶(photoresist，pr)图形相对的显示面板处易呈现线状/波纹状亮度不均(mura)的缺陷，导致良率(yield)下降。由于液体流出不均导致最终形成的图案间距，即前后端图案的临界尺寸(criticaldimension，cd)存在差异，进而导致液晶显示器的亮度显示不均。

技术实现要素：

有鉴于此，有必要提供一种液刀，来解决现有技术所存在的问题。

本发明的目的在于提供一种液刀，避免水汽或回溅的液体汇流并落到水帘内而引起喷洒不均，改善液体压力不均造成显示面板会有亮度不均(mura)的缺陷，提高临界尺寸(cd)均匀性，从而提高显示面板亮度的均匀性。

为达成本发明前述目的，本发明提供一种液刀，用于在显示面板制程中施加处理液体，包括本体及固定件。所述本体包括注液通道、连通所述注液通道的喷嘴及邻近的开设于所述喷嘴的至少一沟槽。所述沟槽包括槽口及封闭状槽底，其中所述槽口的尺寸小于所述沟槽的高度。固定件固接于所述本体，所述固定件穿接于所述注液通道和所述沟槽之间。

在本发明的一实施例中，所述槽底为平行或倾斜于所述喷嘴的喷液方向。

在本发明的一实施例中，所述槽底的倾斜角度介于零至反正切的2倍所述沟槽高度/所述沟槽长度(0<θ<arctan(2h/l))。

在本发明的一实施例中，所述沟槽形状为矩形、圆形或多边形，且所述沟槽位于所述喷嘴开口的上缘。

在本发明的一实施例中，所述本体包括相对应的二平滑面，所述注液通道和所述至少一沟槽间隔的开设于其一的所述平滑面。

在本发明的一实施例中，所述沟槽的数量为2个或2个以上，每一所述沟槽分别开设于任一所述平滑面。

在本发明的一实施例中，所述注液通道包括注入液体的注入管道和连通所述喷嘴的输出管道，所述输出管道位于所述本体的中间位置，且所述输出管道的尺寸根据所述液体的流出量而设定。

在本发明的一实施例中，所述固定件为螺丝，所述固定件固接于所述注入管道和所述沟槽之间。

在本发明的一实施例中，所述本体的材质为塑胶、金属或合金，所述塑胶为聚氯乙烯(polyvinylchloride，pvc)，所述合金为不锈钢(steelspecialusestainless，sus)。

在本发明的一实施例中，所述本体为一体成型或分块组装而成。

本发明还具有以下功效，所述沟槽可为封闭状的平行槽底或具斜坡/倾斜的槽底，除了可储存水汽、水滴等液体外，还可增加水汽储存量。再者，沟槽的数量还包括2个以上，同样能够增加储存量。

附图说明

为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明液刀的横截面示意图；

图2是本发明液刀的平面示意图；及

图3是本发明液刀的沟槽的示意图。

具体实施方式

在具体实施方式中提及“实施例”意指结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本发明的至少一个实施例中。在说明书中的不同位置出现的相同用语并非必然被限制为相同的实施方式，而应当理解为与其它实施例互为独立的或备选的实施方式。在本发明提供的实施例所公开的技术方案启示下，本领域的普通技术人员应理解本发明所描述的实施例可具有其他符合本发明构思的技术方案结合或变化。

以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]、[竖直]、[水平]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。

请参照图1及图2所示，图1为本发明液刀的横截面示意图，图2是本发明液刀的平面示意图。如图所示，本发明提供一种液刀1，用于在显示面板制程中施加处理液体2，包括本体11及固定件15。所述液刀1通过注入液体2，从而达到均匀喷洒的效果。所述液体2例如水、光刻胶或显影剂(developer)等。所述液刀1通过固定件15穿接本体11并固接在显示面板制程工艺的设备机台(图略)上。显示面板制程工艺包括但不限于清洗工艺、pr工艺等。

所述本体1包括注液通道12、连通所述注液通道12的喷嘴13及邻近的开设于所述喷嘴13的至少一沟槽14。所述沟槽14包括槽口141及封闭状槽底142，其中所述槽口141的尺寸小于所述沟槽14的高度h。固定件15固接于所述本体11，所述固定件15固接于所述注液通道12和所述沟槽14之间。

如图1所示，所述沟槽14形状优选为矩形；在次选的实施例中，所述沟槽14形状可为圆形、多边形或其组合，并不限定。所述沟槽14位于所述喷嘴13开口的上缘。所述本体11包括相对应的二平滑面16，每一所述平滑面16靠近所述喷嘴13具有斜边17，使喷嘴13形成尖嘴状，以利对准喷洒。所述注液通道12和所述至少一沟槽14间隔的开设于其一的所述平滑面16。

具体而言，所述注液通道12包括注入液体2的注入管道121和连通所述喷嘴13的输出管道122。所述注入管道121与所述输出管道122彼此垂直，且所述输出管道122位于所述本体11的中间位置。在其他次选的实施例中，所述注入管道121也能够与所述输出管道122倾斜配置，且所述输出管道122能够偏向其中一平滑面16设置，视需要而改变。所述输出管道122的尺寸(管径)可以根据所述液体2的流出量而设定大小。此外，如图1所示的固定件15优选为螺丝或螺栓，且所述固定件15穿接于所述注入管道121和所述沟槽14之间。

如图1所示的所述槽底142为平行于所述喷嘴13的喷液方向。然而在如图3所示的实施例中，所述槽底142也可为倾斜于所述喷嘴13的喷液方向，从而增加储存水汽21量。所述槽底142的倾斜角度θ介于零至反正切的2倍所述沟槽高度h/所述沟槽长度l，即0<θ<arctan(2h/l)之间，避免水汽21或回溅的液体2汇流并落到水帘22内而引起喷洒不均。换句话说，沟槽14能够储存水汽/水滴21或回溅的液体2，避免其直接汇流并落到喷嘴13，造成喷嘴13喷洒出的水帘22不均匀而在显示面板产生亮度不均(mura)的缺陷。因此，本发明通过采用沟槽14改善液体2压力不均匀造成线状/波纹状亮度不均(mura)的缺陷，提高临界尺寸(cd)均匀性，从而提高显示面板亮度的均匀性。

在本发明的一实施例中，所述沟槽14的数量为2个或2个以上，每一所述沟槽14分别开设于任一所述平滑面16。此外，所述本体11的材质可为塑胶、金属或合金，以适用于各种不同性质的喷洒液体2。所述塑胶优选为聚氯乙烯(polyvinylchloride，pvc)；所述合金优选为不锈钢(steelspecialusestainless，sus)。再者，所述本体11可为一体成型或分块组装而成，视需要而改变。

因此，本发明的所述沟槽14可为封闭状的平行槽底142或具斜坡/倾斜的槽底142，除了可储存水汽、水滴21等液体2外，还可增加水汽储存量。再者，所述沟槽14的数量还包括2个以上，同样能够增加储存量。

综上所述，虽然本发明结合其具体实施例而被描述，应该理解的是，许多替代、修改及变化对于那些本领域的技术人员将是显而易见的。因此，其意在包含落入所附权利要求书的范围内的所有替代、修改及变化。