一种二维大角度快速偏转反射镜的制作方法

文档序号:18735548发布日期:2019-09-21 01:07阅读:来源:国知局
技术总结
一种二维大角度快速偏转反射镜,包括反射镜组件、支撑组件、驱动组件、传感器组件及基座,支撑组件为自制球轴承,能够绕球心自由转动,通过圆锥螺旋弹簧进行预紧,使其在没有驱动外力的情况下能够保持在初始零角度位置,驱动组件采用四个音圈电机作为驱动原件,音圈电机的球心与支撑组件的球心相重合,音圈电机推动支撑组件二维转动,音圈电机的磁钢与线圈的间隙始终为定值,相互不会发生碰撞,能够产生相当大的偏转角度,支撑组件与驱动组件的球心位于平面反射镜的反射表面上,因此,反射镜的两个相互垂直的偏转轴位于反射镜表面上,快速偏转反射镜过程中,能够消除由于偏转轴与反射镜表面不重合带来的反射光束的平移,提高光束的控制精度。

技术研发人员:徐宁;李贤涛
受保护的技术使用者:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
技术研发日:2019.05.30
技术公布日:2019.09.20

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