基于硅基微环耦合马赫曾德调制器的制作方法

文档序号:19153834发布日期:2019-11-16 00:25阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于产生超宽带脉冲信号的基于硅基微环耦合马赫曾德调制器,特征在于其构成包括一个跑道型的微环谐振器(b)通过一个马赫曾德耦合器(c)与一个马赫曾德干涉器(a)的一臂耦合,在该马赫曾德干涉器(a)的另一臂上分别集成有一个热移相器(01)和一个可调光衰减器(02),在所述的马赫曾德耦合器(c)的两臂上分别集成第一微加热器(04)和第二微加热器(05),所述的跑道型的微环谐振器(b)上集成有一段pn结有源区(03),所述的pn结有源区(03)与高速调制电信号源相连。

2.根据权利要求1所述的硅基微环耦合马赫曾德调制器,其特征在于,所述微环有源区(03)的pn结在波导截面上呈现l型或者u型。


技术总结
一种用于产生超宽带脉冲信号的基于硅基微环耦合马赫曾德调制器,一个跑道型的微环谐振器通过一个马赫曾德耦合器与一个马赫曾德干涉器的一臂耦合,在该马赫曾德干涉器的另一臂上分别集成有一个热移相器和一个可调光衰减器,在所述的马赫曾德耦合器的两臂上分别集成第一微加热器和第二微加热器,所述的跑道型的微环谐振器上集成有一段PN结有源区,所述的PN结有源区与高速调制电信号源相连。本发明可以产生不同形状的UWB脉冲,原理简单,易于实现,在微波光子和信号处理领域具有广阔的应用前景。

技术研发人员:周林杰;徐喆;陆梁军;陈建平
受保护的技术使用者:上海交通大学
技术研发日:2019.07.12
技术公布日:2019.11.15
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