本发明涉及抗蚀剂剥离液组合物。
背景技术：
：滤色器(colorfilter)可通过内置于互补金属氧化物半导体(complementarymetaloxidesemiconductor，cmos)或电荷耦合元件(chargecoupleddevice，ccd)之类的图像传感器的彩色摄影装置内来用于实际获得彩色图像，除此之外，也广泛应用于摄影元件、等离子体显示器面板(pdp)、液晶显示装置(lcd)、场发射显示器(fed)和发光显示器(led)等中，其应用范围正在迅速扩大。特别是，近年来lcd的用途进一步扩大，因此认为在再现lcd的色彩方面滤色器是最重要的构件之一。滤色器基板由红色(r)、绿色(g)、蓝色(b)图案和起到用于阻断各像素之间的漏光并提高对比度的作用的黑矩阵、以及对液晶盒施加电压的共用电极构成。滤色器是通过将根据用途选择的黑矩阵材料涂布于玻璃基板上、形成黑色掩模图案后、利用光刻工序形成彩色抗蚀剂图案而制造。这样的滤色器制造工序中，会不可避免地发生彩色抗蚀剂图案的不良，如果彩色抗蚀剂一旦固化，则几乎不可能仅通过对错误的部分去除来进行修理，并且几乎没有能够将彩色抗蚀剂去除的溶剂，因此不良的滤色器无法进行修理等重新加工，大部分会被直接废弃处理，因而存在生产率降低的问题。为了解决该问题，开发了用于将固化的彩色抗蚀剂去除的组合物。抗蚀剂大体可以分为正型抗蚀剂和负型抗蚀剂，与去除相对容易而可被以有机溶剂为基础的剥离剂在40～50℃的温度条件下在1分钟内去除的正型抗蚀剂不同，负型抗蚀剂具有固化度高、热处理后变硬而难以剥离去除的负型抗蚀剂的特性。因此，为了去除负型抗蚀剂，在70℃以上的温度条件下需要5分钟以上的时间，因此要求更强的剥离性能。与此相关，韩国公开专利第10-2016-0118548号中公开了，由于包含特定化学式所表示的聚醚胺、以及含有被碳原子数1～6的烷氧基或碳原子数2～6的环状醚基取代的碳原子数1～6的烷基的胺化合物，从而剥离力优异的抗蚀剂剥离液组合物。但是，在上述公开专利所记载的抗蚀剂剥离液组合物的情况下，存在对于金属下部膜、特别是sinx下部膜质造成损害而诱发不良的问题。现有技术文献专利文献韩国公开专利第10-2016-0118548号(2016.10.12.)技术实现要素：所要解决的课题本发明是用于解决如上所述的问题的发明，其目的在于，提供抗蚀剂剥离力优异，且不会对下部金属膜造成损伤的抗蚀剂剥离液组合物。解决课题的方法用于实现上述目的的本发明的抗蚀剂剥离液组合物的特征在于，包含以下化学式1所表示的倍半硅氧烷、胺化合物、季铵氢氧化物、具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇单烷基醚、以及具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇二烷基醚。[化学式1](r1sio1.5)n(上述化学式1中，r1各自独立地为氢原子、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的亚烷基、烯丙基、亚烯丙基；或者具有功能性基团的碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的亚烷基、碳原子数6～30的芳基或碳原子数6～30的亚芳基的衍生物，n为8～100的整数)。发明效果本发明的抗蚀剂剥离液组合物具有以下优点：抗蚀剂剥离效果优异，能够使因剥离的抗蚀剂导致的设备内过滤器的堵塞最小化，能够防止下部膜质、尤其sinx下部膜质的损伤。具体实施方式本发明中，当指出某一构件位于另一构件“上”时，其意思是，不仅包括某一构件与另一构件直接接触的情况，还包括在两构件之间存在其他构件的情况。本发明中，当指出某一部分“包含”某一构成要素时，其意思是，只要没有特别相反的记载，可以进一步包含其他构成要素，而不是将其他构成要素排除。以下，更加详细地说明本发明。本发明的一方式的抗蚀剂剥离液组合物包含以下化学式1所表示的倍半硅氧烷、胺化合物、季铵氢氧化物、具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇单烷基醚、以及具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇二烷基醚，从而具有抗蚀剂剥离效果优异，能够使因剥离的抗蚀剂导致的设备内过滤器的堵塞现象最小化，能够防止下部膜质、尤其sinx下部膜质的腐蚀即损伤的优点。[化学式1](r1sio1.5)n(上述化学式1中，r1各自独立地为氢原子、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的亚烷基、烯丙基、亚烯丙基；或者具有功能性基团的碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的亚烷基、碳原子数6～30的芳基或碳原子数6～30的亚芳基的衍生物，n为8～100的整数)。倍半硅氧烷本发明的一方式的抗蚀剂剥离液组合物包含上述化学式1所表示的倍半硅氧烷，上述倍半硅氧烷可以是多面体化合物，具有提高耐久性及防止下部膜质的腐蚀的效果。本说明书中，烷基可以为直链或支链，碳原子数为1～10。具体而言，可以例举甲基、乙基、丙基、正丙基、异丙基、丁基、正丁基、异丁基、叔丁基、仲丁基、1-甲基丁基、1-乙基丁基、戊基、正戊基、异戊基、新戊基、叔戊基、己基、正己基、1-甲基戊基、2-甲基戊基、4-甲基-2-戊基、3,3-二甲基丁基、2-乙基丁基、庚基、正庚基、1-甲基己基、环戊基甲基、环己基甲基、辛基、正辛基、叔辛基、1-甲基庚基、2-乙基己基、2-丙基戊基、正壬基、2,2-二甲基庚基、1-乙基丙基、1,1-二甲基丙基、异己基、2-甲基戊基、4-甲基己基、5-甲基己基等，但不限定于此。本说明书中，亚烷基除了为2价基团以外同样适用上述的烷基的说明。本说明书中，亚烯丙基的意思是烯丙基的2价形态。本说明书中，功能性基团可以例举-cooh、-cooch3、-cocl、-oh、-nh2等，但不限定于此。本说明书中，芳基可以为碳原子数6～30的单环式或多环式。可以例举苯基、联苯基、三联苯基、萘基、蒽基、菲基、三苯基、芘基、萉基、苝基、基、芴基等，但不限定于此。本说明书中，亚芳基除了为2价基团以外同样适用上述的芳基的说明。上述化学式1所表示的倍半硅氧烷可以具有无规(random)型、梯型、笼(cage)型或部分笼(partialcage)型等多种多样的结构，本发明中，对其结构没有特别限定。这样的多面体倍半硅氧烷具有热稳定性、耐久性或防腐蚀性优异而能够防止金属配线以及下部金属膜的腐蚀的优点。根据本发明的一实施方式，相对于组合物整体100重量％，上述倍半硅氧烷的含量可以为0.1～2.5重量％，优选可以为0.5～2.0重量％，更优选可以为0.8～1.5重量％。在倍半硅氧烷的含量小于上述范围的情况下，防蚀能力可能降低，在大于上述范围的情况下，可能发生涂层残留在金属配线或下部膜表面的问题。胺化合物本发明的一方式的抗蚀剂剥离液组合物包含胺化合物，从而具有抗蚀剂剥离力优异的优点。根据本发明的一实施方式，上述胺化合物可以进一步包含选自由以下化学式2或3所表示的聚醚胺(a)；含有被碳原子数1～6的烷氧基或碳原子数2～6的环状醚基取代的碳原子数1～6的烷基的胺化合物(b)；及羟基胺系化合物(c)组成的组中的一种以上。聚醚胺(a)上述聚醚胺如上所述可以由以下化学式2或3表示。[化学式2](上述化学式2中，r2为碳原子数1～6的亚烷基或-r3-o-r4-，上述r3和r4各自独立地为碳原子数1～6的亚烷基，n1和n2各自独立地为1～6的整数)[化学式3](上述化学式3中，x为r5为碳原子数1～6的烷基，r6各自独立地为氢原子或氨基，m为1～3的整数，n3为1～70的整数，*的意义是结合键)。上述化学式2或3所表示的聚醚胺对于形成抗蚀剂的树脂、特别是环氧树脂的溶解性优异而能够更加提高抗蚀剂的剥离力(溶解力)，由此能够改善上述剥离的抗蚀剂截留并堵塞于设备内过滤器的现象等。此外，具有更加提高对于使用热以及化学稳定性优异的树脂的rgbw的透明抗蚀剂的剥离力的优点。上述化学式2所表示的化合物可以例举3,6-二氧杂-1,8-辛烷二胺、4,7-二氧杂癸烷-1,10-二胺、4,9-二氧杂十二烷-1,12-二胺、4,7,10-三氧杂-1,13-三癸烷二胺等，它们可以各自单独或将两种以上混合使用，但不限定于此。上述化学式3所表示的化合物可以例举使接枝有环氧丙烷的乙二醇进行氨基化而制造的化合物、具有176的重均分子量的二官能性一级聚醚胺、使环氧丙烷与三羟甲基丙烷反应后使末端羟基氨基化而制造的化合物、具有403的重均分子量的三官能性一级聚醚胺等，从能够更加提高剥离力的观点出发，优选可以举出上述化学式3中m为1，r5为甲基，2个r6分别为氢原子和氨基，n3为2～3、5～6、33～34或67～68的情况，此时重均分子量可以为200～4000。此外，优选可以举出m为3，r5为乙基，n3为1～2的情况，此时重均分子量可以为300～500。它们可以各自单独或将两种以上混合使用，但不限定于此。上述化学式3所表示的化合物更具体可以例举聚氧丙烯二胺、三羟甲基丙烷聚(氧丙烯)三胺等，但不限定于此。根据本发明的一实施方式，相对于组合物整体100重量％，上述聚醚胺(a)的含量可以为0.01～10重量％，优选可以为0.1～8重量％，更优选可以为0.1～5重量％。在上述聚醚胺(a)的含量小于上述范围的情况下，渗透至固化的抗蚀剂内而使结合断裂的力下降，从而抗蚀剂剥离力可能降低，在大于上述范围的情况下，其他构成成分的含量相对减少，从而抗蚀剂剥离效果可能降低，且相稳定性可能降低。含有被碳原子数1～6的烷氧基或碳原子数2～6的环状醚基取代的碳原子数1～6的烷基的胺化合物(b)上述胺化合物(b)起到使抗蚀剂剥离液组合物的碱性提高的效果，且与抗蚀剂的分子结构类似而容易渗透至抗蚀剂内，因此具有能够提高抗蚀剂的剥离力，能够改善因上述剥离的抗蚀剂堆积于设备内过滤器而发生的过滤器的堵塞现象的优点。此外，具有更加提高对于使用热以及化学稳定性优异的树脂的rgbw的透明抗蚀剂的剥离力的优点。上述胺化合物(b)如上所述只要含有被碳原子数1～6的烷氧基或碳原子数2～6的环状醚基取代的碳原子数1～6的烷基就可以没有特别限制地使用，但根据本发明的一实施方式，从能够更加提高剥离力的方面出发，上述胺化合物(b)可以包含以下化学式4所表示的化合物。[化学式4](上述化学式4中，y为r9为碳原子数1～6的烷氧基，上述烷氧基可被碳原子数2～6的环状醚基或碳原子数1～3的烷氧基取代，r7、r8和r10各自独立地为氢原子、碳原子数1～6的烷基，p为1～4的整数，*为结合键)。上述胺化合物(b)更具体而言可以例举二乙基胺、苯基胺、甲氧基乙基胺、3-甲氧基丙基胺、3-乙氧基丙基胺、2-丙氧基乙基胺、异丙氧基丙基胺、甲氧基乙氧基丙基胺、四氢呋喃-2-基-甲胺、(四氢呋喃-2-基-甲基)丁烷-1-胺、甲基四氢呋喃-2-甲胺、四氢呋喃-2-基-甲胺等，它们可以各自单独或将两种以上混合使用，但不限定于此。根据本发明的一实施方式，相对于组合物整体100重量％，上述胺化合物(b)的含量可以为1～30重量％，优选可以为3～28重量％，更优选可以为5～25重量％。在上述胺化合物(b)的含量小于上述范围的情况下，渗透至固化的抗蚀剂内而使结合断裂的力下降，从而抗蚀剂剥离力可能降低，在大于上述范围的情况下，一起包含的其他构成成分的含量相对减少，从而抗蚀剂剥离力可能降低，且相稳定性可能降低。羟基胺系化合物(c)上述羟基胺系化合物(c)作为低分子结构起到通过在短时间内生成氢氧离子并渗透至固化的抗蚀剂而使结合断裂，且使抗蚀剂的染料成分溶解的作用，因而具有能够更加提高抗蚀剂的剥离力的优点。上述羟基胺系化合物(c)的种类在本发明中没有特别限定，可以例举羟基胺、二甲基羟基胺、二乙基羟基胺等，它们可以各自单独或将两种以上混合使用，但不限定于此。根据本发明的一实施方式，相对于组合物整体100重量％，上述羟基胺系化合物(c)的含量可以为0.05～5重量％，优选可以为0.1～3重量％，更优选可以为0.15～2重量％。在上述羟基胺系化合物(c)的含量小于上述范围的情况下，可能难以使抗蚀剂的染料成分充分溶解，在大于上述范围的情况下，没有含量增加带来的溶解力增加效果而不经济，其他构成成分的含量相对减少而抗蚀剂的溶解力可能降低，且相稳定性可能降低。根据本发明的一实施方式，相对于组合物整体100重量％，上述的胺化合物整体的含量可以为0.01～30重量％，优选可以为1～25重量％，更优选可以为5～25重量％。在上述胺化合物的含量小于上述范围的情况下，抗蚀剂剥离力降低而可能发生抗蚀剂异物残留的问题，在大于上述范围的情况下，可能发生不易调价金属配线的腐蚀速度的问题。季铵氢氧化物上述季铵氢氧化物起到释放氢氧离子且渗透至固化的抗蚀剂内而促进抗蚀剂溶解的作用。上述季铵氢氧化物的具体种类在本发明中没有特别限定，可以例举四甲基氢氧化铵(tmah)、四乙基氢氧化铵(teah)、四丙基氢氧化铵(tpah)、四丁基氢氧化铵(tbah)等，它们可以各自单独或将两种以上混合使用。根据本发明的一实施方式，相对于组合物整体100重量％，上述季铵氢氧化物的含量可以为1～20重量％，优选可以为3～15重量％，更优选可以为5～12重量％。在上述季铵氢氧化物的含量小于上述范围的情况下，氢氧根离子向抗蚀剂高分子内的渗透力可能减小，在大于上述范围的情况下，为了溶解而需要过量的水，由此其他成分的含量相对减少而对于抗蚀剂的溶解力可能降低。亚烷基二醇单烷基醚本发明的一方式的抗蚀剂剥离液组合物包含具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇单烷基醚，从而起到渗透至抗蚀剂的高分子链而将结合打开的作用，由此具有帮助抗蚀剂剥落，通过溶解上述剥落的抗蚀剂的粘合剂或聚合物等而对于抗蚀剂的溶解力优异的优点，且具有初始溶解速度优异，防止组合物内发生层分离的优点。此外，具有降低组合物的凝固点而改善相稳定性的优点。另一方面，在大于上述碳原子数的情况下，存在不发生凝固点下降的效果而相稳定性降低或初始溶解速度下降从而发生组合物内层分离现象的问题。上述亚烷基二醇单烷基醚可以例举乙二醇单丁基醚、二乙二醇单丁基醚、三乙二醇单丁基醚、乙二醇单甲基醚、二乙二醇单甲基醚、三乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚等，它们可以各自单独或将两种以上混合使用。根据本发明的一实施方式，相对于组合物整体100重量％，上述亚烷基二醇单烷基醚的含量可以为1～8重量％，优选可以为2～4重量％，最优选可以为2～3.5重量％。在上述亚烷基二醇单烷基醚的含量小于上述范围的情况下，可能难以完全将抗蚀剂去除，在大于上述范围的情况下，存在可能产生泡沫，不适合于商品化，且没有增量带来的效果增加而不经济的问题。此外，一起包含的季铵氢氧化物的溶解度降低而抗蚀剂剥离液组合物的相稳定性也可能下降。亚烷基二醇二烷基醚本发明的一方式的抗蚀剂剥离液组合物通过包含具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇二烷基醚，从而对于抗蚀剂的溶解力提高，起到使作用于翘起的抗蚀剂与无机绝缘膜之间的表面张力减小而提高剥离液组合物的渗透性的作用，由此抗蚀剂的剥落变得容易，起到使上述剥落的抗蚀剂的粘合剂或聚合物等溶解的作用，在大于上述碳原子数的情况下，出现初始溶解速度下降，组合物内发生层分离的问题。上述亚烷基二醇二烷基醚可以例举乙二醇二甲基醚、二乙二醇二甲基醚、三乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚、二丙二醇二甲基醚、二乙二醇甲基乙基醚等，但不限定于此，它们可以各自单独或将两种以上混合使用。根据本发明的一实施方式，相对于组合物整体100重量％，上述亚烷基二醇二烷基醚的含量可以为5～25重量％，优选可以为5～15重量％，更优选可以为7～12重量％。在上述亚烷基二醇二烷基醚的含量小于上述范围的情况下，可能难以完全将抗蚀剂去除，在大于上述范围的情况下，存在增量带来的效果提高不佳而不经济的问题。本发明的一实施方式的抗蚀剂剥离液组合物可以进一步包含选自由极性溶剂、无机碱或其盐以及添加剂组成的组中的一种以上。极性溶剂上述极性溶剂起到渗透至固化的抗蚀剂使溶胀性增加而帮助抗蚀剂从基板表面剥离的作用。此外，起到提高抗蚀剂剥离液组合物对于水的溶解力，使后续洗涤工序中残留物去除变得容易的作用。上述极性溶剂的种类在本发明中没有特别限定，可以例举二甲基亚砜、二乙基亚砜、二丙基亚砜、环丁砜、n-甲基吡咯烷酮、吡咯烷酮、n-乙基吡咯烷酮等，它们可以各自单独或将两种以上一起使用。相对于组合物整体100重量％，上述极性溶剂的含量可以为20～70重量％，优选可以为25～65重量％。在上述极性溶剂的含量小于上述范围的情况下，对于抗蚀剂的溶解力可能降低，在大于上述范围的情况下，一起包含其他构成成分的含量相对减少而对于抗蚀剂的渗透力可能降低。无机碱或其盐上述无机碱或其盐能够进一步提高对于有机系绝缘膜的剥离力。上述无机碱或其盐的具体种类在本发明中没有特别限定，可以举出氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硝酸钠、硝酸钾、硫酸钠、硫酸钾、硅酸钠、硅酸钾、乙酸钠、乙酸钾等，它们可以各自单独或将两种以上混合使用。相对于组合物整体100重量％，上述无机碱或其盐的含量可以为0.001～5重量％，优选可以为0.005～2重量％。在上述无机碱或其盐的含量小于上述范围的情况下，对于有机系绝缘膜的抗蚀剂的剥离力上升效果可能不佳，在大于上述范围的情况下，增量所带来的效果不佳而不经济。添加剂本发明的抗蚀剂剥离液组合物根据需要可以进一步包含防腐蚀剂、螯合剂、流平剂、分散剂等添加剂。上述防腐蚀剂没有特别限定，可以例举：唑系化合物，包括苯并三唑、甲苯基三唑、甲基甲苯基三唑、2,2’-[[[苯并三唑]甲基]亚氨基]双乙醇、2,2’-[[[甲基-1氢-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]双甲醇、2,2’-[[[乙基-1氢-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]双乙醇、2,2’-[[[甲基-1氢-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]双乙醇、2,2’-[[[甲基-1氢-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]双羧酸、2,2’-[[[甲基-1氢-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]双甲基胺、2,2’-[[[胺-1氢-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]双乙醇；醌系化合物，包括1,2-苯醌、1,4-苯醌、1,4-萘醌、蒽醌；邻苯二酚；没食子酸烷基酯类化合物，包括焦棓酸、没食子酸甲酯、没食子酸丙酯、没食子酸十二烷酯、没食子酸辛酯、没食子酸；等。它们可以单独或两种以上混合使用。以抗蚀剂剥离液组合物总重量为基准，上述防腐蚀剂的含量可以为0.005～5重量％。在防腐蚀剂的含量小于0.005重量％的情况下，在剥离或去离子水淋洗工序中可能对于由铝或铝合金以及铜或铜合金构成的金属配线造成腐蚀，在大于5重量％的情况下，可能发生表面的吸附导致的2次污染以及剥离力降低。上述螯合剂可以例举亚氨基二乙酸、柠檬酸、乙醇酸衍生物、聚乙二醇衍生物、氨三乙酸、二亚乙基三胺五乙酸等，但不限定于此。作为上述流平剂，没有特别限定，可以使用市售的表面活性剂。水本发明抗蚀剂剥离液组合物通过根据需要适当选取上述的成分后添加水来将所有组成进行调节。即，包含上述的构成成分的余量由水来占据。水的种类没有特别限定，但优选去离子蒸馏水，更优选电阻率值为18mω·cm以上的半导体工序用去离子蒸馏水。本发明的抗蚀剂剥离液组合物可以根据具体需要适当选取上述的成分后添加稀释溶剂(例如，水等)而制成根据需要的适当浓度的剥离液组合物来使用。如上所述，本发明的抗蚀剂剥离液组合物通过包含上述的成分，从而具有以下优点：不仅对于抗蚀剂的剥离力优异，而且在剥离负型和正型有机绝缘膜抗蚀剂时防止下部膜质以及各种金属配线发生腐蚀。此时，抗蚀剂只要是滤色器抗蚀剂或有机绝缘膜抗蚀剂就可以没有特别限制地成为本发明的抗蚀剂剥离液组合物的剥离对象。本发明的抗蚀剂剥离液组合物的使用方法在本发明中没有特别限定，例如，在有机绝缘膜或滤色器的制造工序中，在抗蚀剂图案发生不良的情况下，可以按照将固化的抗蚀剂基板浸渍于剥离液组合物或者将剥离液组合物涂布于基板等方法来使用。由此，维修不良滤色器等而能够再使用，因此能够显著改善生产率。以下，为了帮助本发明的理解而提供优选的实施例，但是对于本领域的技术人员显而易见的是，以下实施例仅例示本发明，在本发明的范畴以及技术思想范围内可以进行各种各样的变更及修改，当然这样的变更及修改也属于随附的权利要求范围。以下的实施例和比较例中，表示含量的“％”和“份”如没有特别提及则为重量基准。实施例和比较例：抗蚀剂剥离液组合物的制造按照以下表1的各构成及含量制造抗蚀剂剥离液组合物。以下表1中，在整体100重量％中，除了以下各构成的整体含量以外的余量投入去离子水。[表1]实验例1.抗蚀剂剥离力评价实验例1-1.对于滤色器抗蚀剂的剥离力评价彩色抗蚀剂的去除评价使用各像素(pixel)涂布有用于形成4-像素的透明材料、红(red)、绿(green)、蓝(blue)(以下称为wrgb)的滤色器基板。就上述基板而言，在玻璃上部构成有sinx、siox的无机绝缘膜下部cu配线和有源矩阵(activematrix)，彩色抗蚀剂通过涂布后在90℃前烘120秒后，经由曝光及显影工序形成图案后，将形成有图案的基板在220℃烘箱中进行硬烘而制造。然后，在形成有彩色抗蚀剂图案的彩色基板上部形成光固化型丙烯酸系外覆层。将所制造的滤色器抗蚀剂在70℃的实施例和比较例的抗蚀剂剥离液组合物中分别浸渍3分钟、10分钟、15分钟，然后利用光学显微镜进行观察对抗蚀剂的剥离力进行评价。根据以下的评价基准进行评价，其结果示于以下表2中。<评价基准>◎：被去除的抗蚀剂为100％○：被去除抗蚀剂为80％以上△：被去除的抗蚀剂小于80％×：抗蚀剂几乎未被去除实验例1-2.对于有机绝缘膜抗蚀剂的剥离力评价将光固化型丙烯酸系绝缘膜组合物涂布于玻璃基板且在90℃前烘120秒。然后，经由曝光以及显影工序形成图案后，将基板在220℃烘箱中硬烘而制造有机绝缘膜抗蚀剂。将所制造的抗蚀剂在70℃的实施例和比较例的抗蚀剂剥离液组合物中分别浸渍3分钟、5分钟后，利用光学显微镜进行观察对抗蚀剂的剥离力进行评价。根据以下的评价基准进行评价，其结果示于以下表2中。<评价基准>◎：被去除的抗蚀剂为100％○：被去除抗蚀剂为80％以上△：被去除的抗蚀剂小于80％×：抗蚀剂几乎未被去除[表2]实验例2.对于金属配线的防腐蚀力评价利用小型剥离机(ministripper)设备在60℃下对于按照与上述实验例1-1中所使用的方法相同的方法制造的基板(横向、纵向分别为1cm)利用各实施例和比较例的剥离液组合物喷雾剥离5、15、30分钟后，为了加速腐蚀，在包含h2o25％、hno30.1％的酸组合物中浸渍20分钟。之后，经由清洗以及干燥过程后，利用光学显微镜评价下部基板的金属(cu)配线的腐蚀程度，并将结果记载于以下表3中。腐蚀程度的评价是按照如下的评价基准评价无机绝缘膜和金属碎片从上述基板掉落的程度。<评价基准>◎：剥离的为3个以下○：剥离的大于3个且为10个以下△：剥离的大于10个且为30个以下×：剥离的超过30个[表3]实验例3.相稳定性评价将上述实施例和比较例中制造的各抗蚀剂剥离液组合物以与大气接触的方式开放，在60℃的温度条件下对其变化观察10小时。观察剥离液中是否发生析出，不发生析出时评价为“○”，发生析出时评价为“×”，并将结果记载于以下表4中。[表4]区分1h10h实施例1○○实施例2○○实施例3○○实施例4○○实施例5○○实施例6○○实施例7○○实施例8○○实施例9○×实施例10○○实施例11○○实施例12○○实施例13○○实施例14○○实施例15××实施例16××实施例17○○比较例1○○比较例2××比较例3××比较例4××比较例5○○比较例6××比较例7××参照上述表2～4，在满足本发明提供的构成的实施例1～17的情况下，具有抗蚀剂(彩色抗蚀剂或有机绝缘膜抗蚀剂)的剥离力优异，使金属配线的防腐蚀最小化，相稳定性优异的优点。特别是，在满足本发明中提供的各构成的含量范围的优选的实施例的情况下，具有相稳定性更加优异的优点。当前第1页12