一种高占空比的反射镜的制作方法

文档序号:20288000发布日期:2020-04-07 16:24阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高占空比的反射镜,其特征在于:包括镜面(1)、可动边框(2)和驱动结构,镜面(1)位于反射镜的中心位置,镜面(1)通过对称的两个转轴(3)连接可动边框(2)的内侧;镜面(1)与可动边框(2)之间的间隙内设置有锚点(4),锚点(4)用于固定反射镜,锚点(4)与可动边框(2)之间通过连接梁(5)连接在一起,连接梁(5)的位置靠近转轴(3);所述驱动结构用于驱动镜面(1)和可动边框(2)以转轴(3)为轴线偏转。

2.根据权利要求1所述的高占空比的反射镜,其特征在于:所述连接梁(5)的形状为l型,l型的一边平行于转轴(3),端点连接在可动边框(2)内侧,另一边的端点连接在锚点(4)上。

3.根据权利要求1所述的高占空比的反射镜,其特征在于:所述驱动结构包括可动边框(2)上的驱动线圈(6),驱动线圈(6)的两端分别连接驱动电极(7);可动边框(2)外侧放置有两块ns极相对永磁体(8),在反射镜所在区域内形成强磁场。

4.根据权利要求3所述的高占空比的反射镜,其特征在于:所述驱动电极(7)位于锚点(4)上。

5.根据权利要求1所述的高占空比的反射镜,其特征在于:所述驱动结构包括梳齿组(12),梳齿组(12)的动齿位于可动边框(2)没有连接转轴(3)的两边,锚点(4)边缘与动齿相对的位置加工有梳齿组(12)的静齿;所述锚点(4)上加工有隔离槽(9),将锚点(4)分隔为梳齿部(2-1)和连接部(2-2);在梳齿部(2-1)上加工有第一电极(10),连接部(2-2)上加工有第二电极(11),通过第一电极(10)和第二电极(11)提供驱动信号或者测量梳齿组(12)的电容。

6.根据权利要求1所述的高占空比的反射镜,其特征在于:所述可动边框(2)没有连接转轴(3)的两边接近镜面(1)的边缘。

7.根据权利要求1所述的高占空比的反射镜,其特征在于:所述镜面(1)的形状为圆形、椭圆形或方形;可动边框(2)为方形、圆形或椭圆形。


技术总结
本发明公开了一种高占空比的反射镜,包括镜面、可动边框和驱动结构,镜面位于反射镜的中心位置,镜面通过对称的两个转轴连接可动边框的内侧;镜面与可动边框之间的间隙内设置有锚点,锚点用于固定反射镜,锚点与可动边框之间通过连接梁连接在一起,连接梁的位置靠近转轴;所述驱动结构用于驱动镜面和可动边框以转轴为轴线偏转。本发明的高占空比反射镜在可动边框和镜面的空隙设置固定的锚点,无需在可动边框之外再设置特殊的固定结构,可以大大减小反射镜的体积,提高镜面的占空比。

技术研发人员:徐乃涛;孙其梁;程进;李宋泽
受保护的技术使用者:无锡微视传感科技有限公司
技术研发日:2020.01.22
技术公布日:2020.04.07
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