光刻机上版架的制作方法

本发明涉及，尤其涉及光刻机上版架。

背景技术：

现有技术公开了申请号为cn201620426620.6的光刻机上版架，其包括：底板、至少两条平行地设置于底板顶面的导轨、可滑动地置于所述导轨上的滑块、可拆地锁固于滑块顶面的连接板、与所述连接板可拆地固定连接的原材承重台以及设在靠导轨的一端处用于限定连接板随滑块移动的行程范围的挡块，所述光刻机上版架包括有至少两块供择一使用的连接板，且各块连接板的沿导轨长度方向上的宽度各不相同。本发明光刻机上版架只需灵活地更换其中的连接板这一个组件即可适用于不同规格的掩膜版产品，通过设置多套连接板，可以让一台光刻机能适用于多种规格的掩膜版产品的加工处理，可以有效降低设备成本，且拆装调整灵活方便，能有效提升加工效率。

上述专利不足之处在于，其通过螺栓对连接板进行安装，拆装的效率低，且螺栓长时间使用后会生锈和滑丝，且生锈后不易拆卸，因此我们设计了光刻机上版架来解决以上问题。

技术实现要素：

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的光刻机上版架，其可以实现连接板与滑块之间快速安装拆卸，操作简单快捷且稳定性足，也可以调节连接板板面的大小，可以进行更稳定的支撑，也可以适用于不同的轨道，实用性较好。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

光刻机上版架，包括连接板和两个滑块，所述连接板的底部设有限位槽，所述限位槽内滑动连接有两个安装块，两个所述安装块与限位槽之间设有传动机构，两个所述滑块上均设有安装槽两个所述安装块分别延伸至同侧的安装槽内，两个所述安装槽内均设有两个卡槽，两个所述卡槽内均设有推动机构，两个所述安装块与同侧的卡槽之间均设有卡接机构，所述连接板的上端设有延伸槽，两个所述延伸槽内均设有与同侧安装块相连接的延伸机构。

优选地，所述推动机构包括位于卡槽内并与其滑动连接的推块，所述推块与安装块相背的一面固定连接有滑动杆，所述滑动杆贯穿滑块并与其滑动连接，所述滑动杆的另一端固定连接有拉块，所述拉块与滑块之间固定连接有拉力弹簧，所述拉力弹簧套设在滑动杆上。

优选地，所述卡接机构包括设置在安装块上的滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有滑动块，所述滑动块与滑动槽之间设有多个弹力弹簧，所述滑动块与弹力弹簧相背的一面固定连接有卡块，所述卡块延伸至卡槽内。

优选地，所述卡块通过焊接与滑动块相连接，所述卡块与滑动块相背的一端底部设有弧形面。

优选地，两个所述滑块的底部均设有滑槽。

优选地，所述传动机构包括与限位槽内壁转动连接的两个螺纹杆，所述限位槽内固定连接有两个支撑块，两个所述螺纹杆均贯穿同侧的支撑块并与其转动连接，两个所述螺纹杆相对的一端均固定连接有第一锥齿轮，所述连接板上贯穿设有与其转动连接的t型杆，所述t型杆的端部固定连接有与两个第一锥齿轮相互啮合的第二锥齿轮。

优选地，所述延伸机构包括与延伸槽滑动连接的延伸板，所述延伸槽与限位槽通过连通槽相互连通，所述连通槽内滑动连接有连接条，所述连接条分别与延伸板和安装块固定连接。

本发明与现有技术相比，其有益效果为：

1、本发明，拆卸时，推动拉块，拉块滑动杆和推块移动，推块移动时会推动卡块移动，使得卡块移动脱离卡槽，如此安装块不再被限位，进而可以将连接板拆卸，操作简单方便且快捷；安装时，将安装块安装在安装槽内，向下按动连接板，弧形面与滑块上端相抵，继续向下按动连接板，弧形面因受到连接板的限位，使得卡块和滑动块向滑动槽内滑动，可以将安装块安装在安装槽内，当卡块与卡槽相对时，在弹力弹簧的作用下，卡块延伸至卡槽内并与推块相抵，实现安装块被限位，进而实现连接板的安装；通过推动机构和卡接机构的配合，便于将安装板安装在滑块上，操作方便简单且快捷，安装后的稳定性足。

2、通过传动机构和调节机构，可以适用于不同宽度的轨道，即轨道窄，连接板的支撑面积变小；相反的时，两个安装块相背移动，两个延伸板相背移动，即轨道宽，连接板的支撑面积变大，可以进行更稳定的支撑，实用性较好。

综上所述，本发明结构合理，可以实现连接板与滑块之间快速安装拆卸，操作简单快捷且稳定性足，也可以调节连接板板面的大小，可以进行更稳定的支撑，也可以适用于不同的轨道，实用性较好。

附图说明

图1为本发明提出的光刻机上版架的结构示意图；

图2为图1中a处结构放大图；

图3为本发明提出的光刻机上版架中第一锥齿轮与第二锥齿轮连接的俯视图；

图4为本发明提出的光刻机上版架中连接板与延伸板的俯视图。

图中：1连接板、2滑块、3滑槽、4安装槽、5安装块、6滑动槽、7滑动块、8弹力弹簧、9卡块、10弧形面、11卡槽、12推块、13滑动杆、14拉块、15拉力弹簧、16限位槽、17螺纹杆、18连通槽、19支撑块、20延伸槽、21延伸板、22第一锥齿轮、23第二锥齿轮、24t型杆。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

参照图1-4，光刻机上版架，包括连接板1和两个滑块2，两个滑块2的底部均设有滑槽3，连接板1的底部设有限位槽16，限位槽16内滑动连接有两个安装块5，两个安装块5与限位槽16之间设有传动机构，传动机构包括与限位槽16内壁转动连接的两个螺纹杆17，限位槽16内固定连接有两个支撑块19，两个螺纹杆17均贯穿同侧的支撑块19并与其转动连接，两个螺纹杆17相对的一端均固定连接有第一锥齿轮22，连接板1上贯穿设有与其转动连接的t型杆24，t型杆24的端部固定连接有与两个第一锥齿轮22相互啮合的第二锥齿轮23。

两个滑块2上均设有安装槽4两个安装块5分别延伸至同侧的安装槽4内，两个安装槽4内均设有两个卡槽11，两个卡槽11内均设有推动机构，推动机构包括位于卡槽11内并与其滑动连接的推块12，推块12与安装块5相背的一面固定连接有滑动杆13，滑动杆13贯穿滑块2并与其滑动连接，滑动杆13的另一端固定连接有拉块14，拉块14与滑块2之间固定连接有拉力弹簧15，拉力弹簧15套设在滑动杆13上。

两个安装块5与同侧的卡槽11之间均设有卡接机构，卡接机构包括设置在安装块5上的滑动槽6，滑动槽6内滑动连接有滑动块7，滑动块7与滑动槽6之间设有多个弹力弹簧8，滑动块7与弹力弹簧8相背的一面固定连接有卡块9，卡块9延伸至卡槽11内，卡块9通过焊接与滑动块7相连接，卡块9与滑动块7相背的一端底部设有弧形面10。

连接板1的上端设有延伸槽20，两个延伸槽20内均设有与同侧安装块5相连接的延伸机构，延伸机构包括与延伸槽20滑动连接的延伸板21，延伸槽20与限位槽16通过连通槽18相互连通，连通槽18内滑动连接有连接条，连接条分别与延伸板21和安装块5固定连接。

本发明中，当需要对连接板1进行检修时，工作人员可以相对推动两个拉块14，拉块14的移动带动滑动杆13移动，滑动杆13移动带动推块12移动，推块12移动时会推动卡块9移动，使得卡块9移动脱离卡槽11，卡块9和滑动块7移动至滑动槽6内，如此安装块5不再被限位，可以将安装块5从安装槽4内取出，进而可以将连接板1拆卸，操作简单方便且快捷。

安装时，当需要对安装块5安装在安装槽4内，将安装块5安装在安装槽4内，然后向下按动连接板1，此时弧形面10与滑块2上端相抵，继续向下按动连接板1，弧形面10因受到连接板1的限位，使得弧形面10和卡块9移动，进而使得卡块9和滑动块7向滑动槽6内滑动，此时弹力弹簧8被压缩，从而可以将安装块5安装在安装槽4内，当卡块9与卡槽11相对时，在弹力弹簧8的作用下，卡块9和滑动块7移动且卡块9延伸至卡槽11内并与推块12相抵，如此卡块9被限位，使得安装块5被限位，进而实现连接板1的安装，安装操作简单方便。

当需要调节两个滑块2之间的距离以适应不同的轨道时，工作人员可以转动t型杆24，t型杆24转动带动第二锥齿轮23转动，第二锥齿轮23转动带动第一锥齿轮22转动，两个第一锥齿轮22转动可以实现两个螺纹杆17转动，由于两个螺纹杆17转动的方向相反，且安装块5在限位槽16内无法转动，因此螺纹杆17转动时，可以实现两个安装块5相背或者相对移动；安装块5相对移动可以实现两个滑块2相对移动，安装块5移动带动连接条和延伸板21移动，两个延伸板21在延伸槽20内相对移动，如此可以减小连接板1的上端面积，即轨道窄，连接板1的支撑面积变小；相反的时，两个安装块5相背移动，两个延伸板21相背移动，即轨道宽，连接板1的支撑面积变大，可以进行更稳定的支撑，实用性较好。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。