技术特征：
1.一种光刻设备，其特征在于，包括：机台，具有底面、顶面和围绕所述底面及所述顶面的侧面，所述侧面、所述顶面和所述底面形成一空腔；所述侧面上设有能够打开或关闭的输送门；所述空腔内设有转运装置，所述转运装置能够经所述输送门伸出或缩回所述空腔；基座，设于所述输送门远离所述转运装置的一侧，且所述基座具有朝向所述顶面的承载面；放置台，设于所述承载面上，且至少能够伸出或缩回所述承载面；所述放置台背离所述承载面的表面用于承载掩膜版载具，所述掩膜版载具用于装载掩膜版；第一挡板，固定于所述放置台远离所述基座的一侧，且所述承载面位于所述第一挡板在所述承载面的正投影以内；第一驱动装置，设于所述放置台，用于驱动所述放置台在第一位置和第二位置之间往复移动；在所述放置台位于所述第一位置时，所述放置台位于所述承载面的边界以内，在所述放置台位于所述第二位置时，所述放置台至少部分位于所述承载面的边界以外；搬运装置，设于所述机台远离所述基座的一侧；在所述放置台位于所述第二位置时，所述搬运装置能够将所述掩膜版载具搬运至所述放置台上；在所述放置台位于所述第一位置时，所述转运装置能够将所述掩膜版载具中的掩膜版转运所述空腔内。2.根据权利要求1所述的光刻设备，其特征在于，所述放置台和所述承载面之间设有支撑板，所述支撑板靠近所述放置台的一侧设有可伸缩的第一轨道，所述放置台靠近所述支撑板的一侧设有滚轮，所述滚轮滑动连接于所述第一轨道；所述第一驱动装置安装在所述滚轮上，用于驱动所述放置台沿所述第一轨道在所述第一位置和所述第二位置之间往复移动。3.根据权利要求2所述的光刻设备，其特征在于，所述光刻设备还包括：第二驱动装置，设于所述基座，并连接于所述支撑板，用于驱动所述支撑板在所述第一位置和第三位置之间往复移动；其中，在所述支撑板位于所述第三位置时，所述支撑板位于所述承载面的边界以内，且所述第三位置位于所述第一位置靠近所述基座的一侧。4.根据权利要求3所述的光刻设备，其特征在于，所述第二驱动装置包括伸缩杆和驱动件；所述伸缩杆的一端接于所述支撑板、另一端连接于所述驱动件；所述驱动件设于所述基座，用于驱动所述伸缩杆带动所述支撑板在所述第一位置和所述第三位置之间往复移动。5.根据权利要求1所述的光刻设备，其特征在于，所述光刻设备还包括：第二挡板，连接于所述第一挡板靠近所述基座的一侧；第三挡板，连接于所述第一挡板靠近所述基座的一侧，并与所述第二挡板正对设置，且所述第二挡板和所述第三挡板位于所述输送门的两侧；其中，在所述放置台位于所述第一位置时，所述放置台在所述第二挡板的投影位于所述第二挡板之内、所述放置台在所述第三挡板的投影位于所述第三挡板之内。6.根据权利要求5所述的光刻设备，其特征在于，所述光刻设备还包括：第四挡板，滑动连接于所述第二挡板和所述第三挡板，且位于所述输送门和所述放置台之间；第三驱动装置，设于所述第一挡板，并连接于所述第四挡板，用于驱动所述第四挡板沿
垂直于所述承载面的方向在第四位置和第五位置之间往复移动；其中，在所述第四挡板位于所述第四位置时，所述第四挡板遮蔽所述输送门；在所述第四挡板位于所述第五位置时，所述第四挡板和所述输送门错开，且所述转运装置能够经所述输送门伸到所述放置台。7.根据权利要求5所述的光刻设备，其特征在于，所述光刻设备还包括：吹气装置，设于所述第二挡板靠近所述第三挡板的一侧，并朝向所述放置台，用于向所述放置台吹气。8.根据权利要求7所述的光刻设备，其特征在于，所述放置台用于承载所述掩膜版载具的表面上设有孔洞，且所述孔洞贯通所述放置台设置。9.根据权利要求1所述的光刻设备，其特征在于，所述搬运装置包括：第二轨道，设于所述放置台远离所述基座的一侧；天车，滑动连接于所述第二轨道；在所述放置台位于所述第二位置时，所述天车能够滑动到所述放置台的正上方，用于将所述掩膜版载具搬运至或搬离所述放置台。10.根据权利要求9所述的光刻设备，其特征在于，所述天车包括悬挂车、连接索和吸附盘；其中，所述悬挂车滑动连接于所述第二轨道；所述连接索的一端连接于所述悬挂车，所述悬挂车用于收起或放下所述连接索；所述连接索的另一端连接于所述吸附盘，所述吸附盘用于吸起或放下所述掩膜版载具；在所述放置台位于所述第二位置时，所述悬挂车、所述连接索和所述吸附盘能够滑动到所述放置台的正上方。
技术总结
本公开涉及半导体技术领域，尤其涉及一种光刻设备。该光刻设备包括机台、基座、放置台、第一挡板、第一驱动装置和搬运装置，其中：机台具有侧面、顶面和底面形成的空腔；侧面上设有输送门，空腔内的转运装置能够经输送门伸出或缩回空腔；放置台用于承载掩膜版载具，且至少能够伸出或缩回基座的承载面；第一驱动装置用于驱动放置台在第一位置和第二位置之间往复移动；在放置台位于第一位置时，放置台位于承载面的边界以内，转运装置能够将掩膜版载具中的掩膜版转运空腔内；在放置台位于第二位置时，放置台至少部分位于承载面的边界以外，搬运装置能够将掩膜版载具搬运至放置台上。该光刻设备能够改善曝光不良情况，并提高晶圆的加工质量。工质量。工质量。
技术研发人员：李树平
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2020.09.28
技术公布日：2022/4/5