技术特征：
1.一种物镜保护装置，其特征在于，包括保护装置本体，所述保护装置本体包括中间连接板以及依次围绕所述中间连接板设置的第一环形气腔、第二环形气腔；其中，所述中间连接板与待保护物镜的镜头镜面相对设置，所述中间连接板包括出气口，所述出气口贯穿所述中间连接板露出所述镜头镜面的取光区；所述第一环形气腔包括第一进气孔和第一出气滤网，所述第一进气孔设置于所述第一环形气腔远离所述中间连接板一侧的侧壁上，所述第一出气滤网与所述待保护物镜的镜头侧壁相对且等间距设置；所述第二环形气腔包括第二进气孔和第二出气滤网，所述第二进气孔设置于所述第二环形气腔远离所述中间连接板一侧的侧壁上，所述第二出气滤网与所述待保护物镜的镜筒靠近所述物镜保护装置一侧的表面相对且等间距设置。2.根据权利要求1所述的物镜保护装置，其特征在于，所述保护装置本体还包括抽排腔，所述抽排腔围绕所述第一环形气腔设置，且位于所述第二环形气腔远离所述待保护物镜的一侧。3.根据权利要求2所述的物镜保护装置，其特征在于，所述抽排腔包括四个子抽排腔，四个所述子抽排腔依次等间距排列。4.根据权利要求1所述的物镜保护装置，其特征在于，还包括多个音圈电机，所述音圈电机与所述保护装置本体连接，用于控制所述保护装置本体朝向或远离所述待保护物镜移动。5.根据权利要求4所述的物镜保护装置，其特征在于，还包括绝压传感器，所述绝压传感器用于检测待保护物镜的底部压力。6.一种光刻机，其特征在于，包括权利要求1-5任一项所述的物镜保护装置。7.一种物镜保护装置的工作方法，采用权利要求1-5任一项所述物镜保护装置执行，其特征在于，包括：固定所述物镜保护装置的保护装置本体，以使所述物镜保护装置的中间连接板与待保护物镜的镜头镜面相对设置，所述镜头镜面的取光区从所述中间连接板上的出气口露出，第一出气滤网与所述待保护物镜的镜头侧壁相对且等间距设置，第二出气滤网与所述待保护物镜的镜头靠近所述镜头一侧的表面相对且等间距设置；通过所述第一进气孔向所述第一环形气腔输入第一气体，通过所述第二进气孔向所述第二环形气腔输入第二气体，所述第一气体的流量小于所述第二气体的流量，所述第一气体的密度和所述第二气体的密度不同。8.根据权利要求7所述的工作方法，其特征在于，通过所述第一进气孔向所述第一环形气腔输入第一气体，通过所述第二进气孔向所述第二环形气腔输入第二气体之前，还包括：控制抽排腔抽气。9.根据权利要求7所述的工作方法，其特征在于，所述第一气体为超纯压缩干燥气体、氮气或二氧化碳气体，所述第二气体为氦气；或者，所述第一气体为二氧化碳气体，所述第二气体为氮气；或者，所述第一气体为二氧化碳气体，所述第二气体为超纯压缩干燥气体。10.根据权利要求7所述的工作方法，其特征在于，通过所述第一进气孔向所述第一环形气腔输入第一气体，通过所述第二进气孔向所述第二环形气腔输入第二气体之前，还包括：
控制系统控制多个音圈电机调节所述保护装置本体的位置。11.根据权利要求10所述的工作方法，其特征在于，通过多个音圈电机调节所述保护装置本体的位置之前，还包括：通过绝压传感器检测待保护物镜的底部压力，并将检测到的底部压力传输给所述控制系统。
技术总结
本发明公开了一种物镜保护装置及其工作方法、光刻机。所述物镜保护装置内中间连接板与待保护物镜的镜头镜面相对设置，中间连接板包括出气口，出气口贯穿中间连接板露出镜头镜面的取光区；第一环形气腔包括第一进气孔和第一出气滤网，第一进气孔设置于第一环形气腔远离中间连接板一侧的侧壁上，第一出气滤网与待保护物镜的镜头侧壁相对且等间距设置；第二环形气腔包括第二进气孔和第二出气滤网，第二进气孔设置于第二环形气腔远离中间连接板一侧的侧壁上，第二出气滤网与待保护物镜的镜筒靠近物镜保护装置一侧的表面相对且等间距设置。本发明实施例提供的技术方案，避免了物镜受污染。染。染。
技术研发人员：杨宪 戴思雨 刘伟
受保护的技术使用者：上海微电子装备(集团)股份有限公司
技术研发日：2020.12.25
技术公布日：2022/6/30