一种防止溢胶粘连装置的制作方法

文档序号:22016168发布日期:2020-08-28 15:57阅读:642来源:国知局
一种防止溢胶粘连装置的制作方法

本实用新型涉及纳米压印技术领域,具体为一种防止溢胶粘连装置。



背景技术:

纳米压印技术通过机械转移的手段达到了超高的分辨率,是一种新型的微纳加工技术,纳米压印的基本步骤包括在基片上涂覆胶液,压印,固化,分离等,压印胶的涂覆方式有旋涂、滴胶、滚涂、喷雾等方式,其中旋涂最为常见,旋涂原理即在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液,旋转速度,旋转时间和基片间的粘滞系数而不同。

在进行纳米压印时,基台通过真空吸附固定基片。在实际操作中,一旦发生溢胶现象,溢出的胶体在流动至基片和基台之间的缝隙时,溢出的胶体从基片与基台之间被吸入,从而导致溢出的胶体吸入到真空槽和真空孔内,胶体在真空槽和真空孔中流动固化,一方面会造成基片粘在基台上难以分离,强行将基片从基台分离将导致基片破裂,并且在清理粘在基片背面的胶体时容易刮伤基片。

除此之外,溢出的胶体残留在基台表面及真空槽中,难以清理。溢出的胶体从真空孔进入气管内,造成真空泵与真空槽之间的气管堵塞,从而导致真空泵无法吸出真空槽内空气,无法形成负压固定基片,严重时,胶体沿气道进入真空泵,导致真空泵损坏,影响设备寿命增加生产成本。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种防止溢胶粘连装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种防止溢胶粘连装置,包括壳体,所述壳体的前侧壁设有操作窗,所述壳体的内腔固定装配有工作台,所述工作台的上表面固定安装有基台,所述基台与工作台之间装配有真空装置,所述壳体的内腔左、右侧壁对称固定安装有防溢胶装置,所述防溢胶装置与工作台之间设有限位机构,所述壳体的内腔上侧壁通过液压伸缩杆固定装配有固化器,所述固化器的下侧壁固定装配有模板固定装置。

优选的,所述真空装置包括固定安装在工作台内腔的真空泵,所述真空泵的输出端通过真空传感器固定连接有气管,所述气管插接至基台的真空槽内,所述真空槽均匀开设在基台的上表面。

优选的,所述防溢胶装置包括固定安装在壳体内腔侧壁的电机,所述电机的输出端固定连接转动螺杆的一端,所述转动螺杆的另一端螺接有阻胶板。

优选的,所述限位机构包括开设在工作台上表面的限位槽,所述限位槽内滑动连接有限位块,所述限位块的顶部与防溢胶装置固定连接,所述限位块的下侧壁开设有安装槽,所述安装槽内固定安装有滚珠轴承。

优选的,所述模板固定装置包括支撑板,所述支撑板的中心处通过密封圈装配有石英板,所述支撑板的下侧壁固定安装有模板固定件,所述支撑板内装配有压力传感器。

优选的,所述壳体的前侧壁开设有观察窗,且壳体的底部四角处固定安装有万向轮。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:一种防止溢胶粘连装置,本装置的操作更加简便、适用范围更加广泛,通过本装置在压印的过程中,溢出的胶体通过阻胶板的阻挡,使溢出的胶体不能向下流动,避免了胶体进入到基片和基台之间,从而避免了基片粘连在基台上,方便基片取放,保护了基片,降低了生产成本,溢出的胶体不能进入基台表面和真空槽内,基台始终保持洁净,减小了工作人员的工作量,同时保护了真空装置,提高了真空装置使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的主视图。

图3为图2中的a处细节图。

图4为本实用新型模板固定装置的俯视图。

图中:1、壳体,2、操作窗,3、工作台,4、基台,5、真空装置,51、真空泵,52、真空传感器,53、气管,54、真空槽,6、防溢胶装置,61、电机,62、转动螺杆,63、阻胶板,7、限位机构,71、限位槽,72、限位块,73、安装槽,74、滚珠轴承,8、液压伸缩杆,9、模板固定装置,91、支撑板,92、密封圈,93、石英板,94、模板固定件,95、压力传感器,10、固化器,11、观察窗,12、万向轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1、图2、图3和图4,本实用新型提供一种技术方案:一种防止溢胶粘连装置,包括壳体1,壳体1的前侧壁设有操作窗2,通过操作窗2可以进行操作,壳体1的内腔固定装配有工作台3,工作台3的上表面固定安装有基台4,基台4表面涂覆聚四氟乙烯不沾胶涂层,在压印的过程中将基片装配在基台4上,基片的大小与基台4的大小相同,基台4与工作台3之间装配有真空装置5,真空装置5包括固定安装在工作台3内腔的真空泵51,真空泵51的输出端通过真空传感器52固定连接有气管53,气管53插接至基台4的真空槽54内,所述真空槽54均匀开设在基台4的上表面,真空泵51连接外部电源,真空传感器52连接外部控制器,外部控制器为计算机或单片机等控制系统,真空泵51开启后,通过气管53和真空槽54基台4与基片之间保持真空,通过真空传感器52检测气管53内的真空值。

壳体1的内腔左、右侧壁对称固定安装有防溢胶装置6,防溢胶装置6与工作台3之间设有限位机构7,防溢胶装置6包括固定安装在壳体1内腔侧壁的电机61,电机61的输出端固定连接转动螺杆62的一端,转动螺杆62的另一端螺接有阻胶板63,阻胶板63呈弧形,限位机构7包括开设在工作台3上表面的限位槽71,限位槽71内滑动连接有限位块72,限位块72的顶部与防溢胶装置6固定连接,限位块72的下侧壁开设有安装槽73,安装槽73内固定安装有滚珠轴承74,电机61连接外部控制器,由外部控制器进行供电,电机61开启转动后,通过转动螺杆62可以带动阻胶板63进行移动,设置有限位机构7保证阻胶板63移动的稳定性和流畅性,通过设置滚珠轴承74使限位块72在限位槽71内的移动更加顺畅。

壳体1的内腔上侧壁通过液压伸缩杆8固定装配有固化器10,固化器10的下侧壁固定装配有模板固定装置9,模板固定装置9包括支撑板91,支撑板91的中心处通过密封圈92装配有石英板93,支撑板91的下侧壁固定安装有模板固定件94,支撑板91内装配有压力传感器95,固化器10连接外部控制器,由外部控制器进行供电,固化器10设置有uvled面光源,固化器10的uvled面光源发射紫外线透过石英板93进行胶体固化。

壳体1的前侧壁开设有观察窗11,通过观察窗11可以对壳体1内进行观察,且壳体1的底部四角处固定安装有万向轮12,通过万向轮12方便对壳体1进行移动。

工作原理:在使用的过程中,将基片放置到基台4上,通过电机61的转动,使两端的阻胶板63向内移动对基片进行夹持定位,然后将胶体放置到基片上,然后通过模板固定装置9夹持模板,在压印的过程中,模板固定装置9带动模板向下移动,胶体逐步填充至模板上的纳米结构,由于阻胶板63的阻挡,胶体不会流动到基片与基台4的缝隙处,从而不会进入真空槽54,堵塞气管53,压印完成后,通过固化器10的uvled面光源发射紫外线透过石英板93进行胶体固化,胶体固化后,控制阻胶板63向外移动,控制模板与基片分离,基片很容易从基台4处取出。

对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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