一种全自动光刻机的制作方法

1.本实用新型涉及光刻机装置技术领域，具体为一种全自动光刻机。


背景技术：

2.光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
3.市场上的光刻机无防护结构，工作时候产生的灯光，会伤害工作人员的眼睛，无限位结构，不能对装置进行固定，装置工作的时候，会产生晃动的情况，影响装置工作的问题，为此，我们提出一种全自动光刻机。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种全自动光刻机，以解决上述背景技术中提出的光刻机无防护结构，工作时候产生的灯光，会伤害工作人员的眼睛，无限位结构，不能对装置进行固定，装置工作的时候，会产生晃动的情况，影响装置工作的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种全自动光刻机，包括主体和吸盘，所述主体的左右两侧固定有连接轴，且连接轴的表面安置有轴套，所述轴套的下方固定有防护罩固定带，且防护罩的左右两侧设置有手柄，所述防护罩的下方设置有固定带，且固定带的下方设置有固定扣，所述主体的底端固定有底板，且底板的右侧上方安装有控制箱，所述控制箱的表面设置有罩体，所述底板的左右两端安装有转轴，且转轴的表面穿设有螺母，所述转轴的内侧衔接有活动板，所述吸盘固定于活动板的外侧，所述防护罩的内部设置有滑槽，且滑槽的内侧安置有抽拉板，所述活动板的内侧设置有槽板。
6.优选的，所述连接轴与轴套之间相互套接，且防护罩通过轴套与连接轴之间构成活动结构。
7.优选的，所述防护罩与固定带之间为固定连接，且固定带与固定扣之间为活动连接。
8.优选的，所述控制箱的形状结构与罩体的形状结构相吻合，且控制箱与罩体之间为活动连接。
9.优选的，所述转轴与底板之间为一体化结构，且转轴与螺母之间为螺纹连接。
10.优选的，所述活动板通过转轴与底板之间构成活动结构，且活动板与吸盘之间为固定连接。
11.优选的，所述防护罩与滑槽之间相互贴合，且防护罩与抽拉板通过手柄与滑槽构成活动结构。
12.优选的，所述槽板与活动板之间紧密贴合，且槽板设置有两个。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.1、该全自动光刻机：轴套具有很好的灵活性，方便工作人员更好的操作防护罩，防护罩具有很好的防护作用，同时防护罩是有色的，在装置工作的时候，可以减少装置灯光对
工作人员眼睛的伤害，固定带方便防护罩与固定扣进行固定，提高了防护罩的稳定性，避免在工作的时候，防护罩产生晃动的情况，影响装置的工作，提高了装置的工作效率，罩体具有很好的防护作用，避免工作人员误触到控制箱的控制键，会影响装置的正常工作，在一定程度上提高了装置的安全性和保证了装置的正常工作，
15.2、该全自动光刻机：转轴具有很好的灵活性，可以很好的带动活动板进行转动，使得吸盘与界面进行固定，吸盘具有很强的吸附力，可以与不同的界面进行吸附，不会产生脱落的情况，增强了装置与界面的摩擦，提高了装置整体的稳定性，避免装置在工作的时候，产生晃动的情况，抽拉板具有很好的灵活性，拉出来后，可以扩大防护罩的防护面积，可以进行更加全方位的防护，进一步提高了装置使用的安全性，滑槽具有很好的灵活性，不会使抽拉板产生卡顿的情况，提高了抽拉板的工作效率，槽板方便工作人员对物件的存放，同时具有很好的限位结构，不会使物件产生掉落的情况。
附图说明
16.图1为本实用新型结构示意图；
17.图2为本实用新型防护罩内部结构示意图；
18.图3为本实用新型图1中a处放大结构示意图。
19.图中：1、主体；2、连接轴；3、轴套；4、防护罩；5、手柄；6、固定带；7、固定扣；8、底板；9、控制箱；10、罩体；11、转轴；12、螺母；13、活动板；14、吸盘；15、滑槽；16、抽拉板；17、槽板。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1
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3，本实用新型提供一种技术方案：一种全自动光刻机，包括主体1、连接轴2、轴套3、防护罩4、手柄5、固定带6、固定扣7、底板8、控制箱9、罩体10、转轴11、螺母12、活动板13、吸盘14、滑槽15、抽拉板16、槽板17，主体1的左右两侧固定有连接轴2，且连接轴2的表面安置有轴套3，连接轴2与轴套3之间相互套接，且防护罩4通过轴套3与连接轴2之间构成活动结构，轴套3具有很好的灵活性，方便工作人员更好的操作防护罩4，防护罩4具有很好的防护作用，同时防护罩4是有色的，在装置工作的时候，可以减少装置灯光对工作人员眼睛的伤害；
22.轴套3的下方固定有防护罩4固定带6，且防护罩4的左右两侧设置有手柄5，防护罩4的下方设置有固定带6，且固定带6的下方设置有固定扣7，防护罩4与固定带6之间为固定连接，且固定带6与固定扣7之间为活动连接，固定带6方便防护罩4与固定扣7进行固定，提高了防护罩4的稳定性，避免在工作的时候，防护罩4产生晃动的情况，影响装置的工作，提高了装置的工作效率；
23.主体1的底端固定有底板8，且底板8的右侧上方安装有控制箱9，控制箱9的表面设置有罩体10，控制箱9的形状结构与罩体10的形状结构相吻合，且控制箱9与罩体10之间为活动连接，罩体10具有很好的防护作用，避免工作人员误触到控制箱9的控制键，会影响装
置的正常工作，在一定程度上提高了装置的安全性和保证了装置的正常工作；
24.底板8的左右两端安装有转轴11，且转轴11的表面穿设有螺母12，转轴11的内侧衔接有活动板13，吸盘14固定于活动板13的外侧，转轴11与底板8之间为一体化结构，且转轴11与螺母12之间为螺纹连接，活动板13通过转轴11与底板8之间构成活动结构，且活动板13与吸盘14之间为固定连接，转轴11具有很好的灵活性，可以很好的带动活动板13进行转动，使得吸盘14与界面进行固定，吸盘14具有很强的吸附力，可以与不同的界面进行吸附，不会产生脱落的情况，增强了装置与界面的摩擦，提高了装置整体的稳定性，避免装置在工作的时候，产生晃动的情况；
25.防护罩4的内部设置有滑槽15，且滑槽15的内侧安置有抽拉板16，防护罩4与滑槽15之间相互贴合，且防护罩4与抽拉板16通过手柄5与滑槽15构成活动结构，抽拉板16具有很好的灵活性，拉出来后，可以扩大防护罩4的防护面积，可以进行更加全方位的防护，进一步提高了装置使用的安全性，滑槽15具有很好的灵活性，不会使抽拉板16产生卡顿的情况，提高了抽拉板16的工作效率；
26.活动板13的内侧设置有槽板17，槽板17与活动板13之间紧密贴合，且槽板17设置有两个，槽板17方便工作人员对物件的存放，同时具有很好的限位结构，不会使物件产生掉落的情况。
27.工作原理：对于这类的全自动光刻机，首先将装置移动到固定位置，通过转轴11带动活动板13活动，从而使活动板13上的吸盘14与界面进行接触，吸盘14具有很强的吸附力，可以与不同的界面进行吸附，不会产生脱落的情况，增强了装置与界面的摩擦，提高了装置整体的稳定性，避免装置在工作的时候，产生晃动的情况，在装置进行工作的时候，通过手柄5将抽拉板16拉出来，扩大防护罩4的防护面积，可以进行更加全方位的防护，同时防护罩4是有色的，在装置工作的时候，可以减少装置灯光对工作人员眼睛的伤害，再将防护罩4上的固定带6与固定扣7进行固定，提高了防护罩4的稳定性，罩体10具有很好的防护作用，避免工作人员误触到控制箱9的控制键，会影响装置的正常工作，在一定程度上提高了装置的安全性和保证了装置的正常工作，就这样完成整个全自动光刻机的使用过程。
28.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。