一种光刻机相机位置调节机构及光刻机的制作方法

1.本实用新型涉及光刻机技术领域，特别涉及一种光刻机相机位置调节机构及应用其的光刻机。


背景技术：

2.光刻是半导体制造过程中一道非常重要的工序，它是将一系列掩模板上的芯片图形通过曝光依次转移到硅片相应层上的工艺过程，被认为是大规模集成电路制造中的核心步骤。半导体制造中一系列复杂而耗时的光刻工艺主要由相应的光刻机来完成。
3.光刻机包括相机和晶圆放置板，相机用于对晶圆放置板上的晶圆拍照，以采集晶圆的相关信息，方便对晶圆进出光刻加工。其中，晶圆放置在晶圆放置板上后，经常与相机的位置不对应，使得相机不能准确采集晶圆的信息，故急需针对这种情况进行改进。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型提供一种光刻机相机位置调节机构及应用其的光刻机，主要所要解决的技术问题是：如何使相机能够对准晶圆，以提高相机采集晶圆信息的准确性。
5.为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：
6.一方面，本实用新型的实施例提供一种光刻机相机位置调节机构，包括机架，所述机架上设有活动块以及用于驱动活动块左右运动的左右驱动机构，所述活动块上设有升降块和用于对升降块的高度进行调节的高度调节装置；相机用于设置在所述升降块上，所述升降块上还设有用于驱动相机前后运动的前后驱动机构；
7.其中，所述高度调节机构包括调节螺杆以及弹性件，所述活动块上设有螺纹过孔，所述调节螺杆用于穿过所述螺纹过孔、且与所述升降块高度方向的一侧相抵，所述弹性件用于提供所述升降块朝向所述调节螺杆运动的力。
8.可选的，所述活动块上设有连接通孔，所述连接通孔内设有套筒，所述套筒可相对所述连接通孔拆卸，所述套筒的内侧具有所述的螺纹过孔。
9.可选的，所述活动块上设有导向块，所述导向块用于对升降块的升降导向；其中，所述导向块可相对所述活动块拆卸。
10.可选的，所述升降块上设有滑动部，所述升降块通过所述滑动部相对所述活动块升降，其中，所述滑动部可相对所述升降块拆卸。
11.可选的，所述升降块沿高度方向的一侧设有耐磨件，所述升降块通过所述耐磨件与所述调节螺杆的端部相抵。
12.可选的，所述升降块沿高度方向的一侧设有安装槽，所述耐磨件嵌设在所述安装槽内。
13.可选的，所述前后驱动机构包括丝杆电机，以通过丝杆电机驱动所述相机前后运动。
14.可选的，所述左右驱动机构包括驱动缸，以通过所述驱动缸驱动所述活动块左右
运动。
15.另一方面，本实用新型的实施例还提供一种光刻机，其可以包括上述任一种所述的光刻机相机位置调节机构。
16.借由上述技术方案，本实用新型光刻机相机位置调节机构及应用其的光刻机至少具有以下有益效果：
17.1、相机除了可在前后驱动机构的驱使下前后运动，还可在升降块的带动下升降，以及在活动块的带动下左右运动，从而使相机的位置可在前后、上下以及左右三个方向均进行调节，如此可以根据需要将相机调节至能够对准晶圆的位置，从而可以提高相机采集晶圆信息的准确性；
18.2、升降块通过耐磨件与调节螺杆相抵，可以防止调节螺杆经常撞击升降块而发生损伤。
19.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
20.图1是本实用新型的一实施例提供的一种光刻机相机位置调节机构的结构示意图；
21.图2是图1中光刻机相机位置调节机构的主视图；
22.图3是活动块的结构示意图；
23.图4是相机安装在升降块内时的结构示意图；
24.图5是丝杆电机与相机两者分解时的位置关系图。
25.附图标记：1、机架；2、活动块；3、升降块；4、驱动缸；5、丝杆电机；6、调节螺杆；7、连接块；8、套筒；9、相机；10、耐磨件；21、导向块； 31、滑动部；51、凹槽；61、滚珠；91、插接部；92、限位凸缘；301、丝杆电机安装段；302、镜头导向段；303、卡台。
具体实施方式
26.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
27.需要说明，若本发明实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
28.另外，若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结
合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
29.如图1和图2所示，本实用新型的一个实施例提出的一种光刻机相机位置调节机构，其包括机架1，机架1上设有活动块2和左右驱动机构，左右驱动机构用于驱动活动块2在机架1上沿左右方向运动。活动块2上设有升降块3和高度调节装置，升降块3可相对活动块2升降，高度调节装置用于对升降块3的高度进行调节。相机9用于设置在升降块3上，升降块3上还设有前后驱动机构，前后驱动机构用于驱动相机9沿前后方向运动。
30.这里需要说明的是：图2中图形朝向纸面的一侧为前，相应的，图2中图形的背面为后，图2中图形的左右即对应上述的左和右，图2中图形的上下即对应上述的上和下。
31.其中，相机9除了可在前后驱动机构的驱使下前后运动，还可在升降块 3的带动下升降，以及在活动块2的带动下左右运动，从而使相机9的位置可在前后、上下以及左右三个方向均进行调节，如此可以根据需要将相机9 调节至能够对准晶圆的位置，从而可以提高相机9采集晶圆信息的准确性。
32.为了实现前述高度调节机构的功能，如图3所示，高度调节机构可以包括调节螺杆6以及弹性件，该弹性件可以为弹簧或柔性塑胶等。前述的活动块2上设有螺纹过孔，调节螺杆6用于穿过螺纹过孔、且与升降块3高度方向的一侧相抵。弹性件用于提供升降块3朝向调节螺杆6运动的力。在一个具体的应用示例中，调节螺杆6位于升降块3的上方，当向一侧旋拧调节螺杆6时，调节螺杆6推动升降块3下降，此时弹性件发生弹性形变并积蓄能量；当向另一侧旋拧调节螺杆6时，调节螺杆6松开升降块3，此时弹性件释放积蓄的能量，并推动升降块3上升直至升降块3与调节螺杆6相抵。
33.如图3所示，前述的活动块2上可以设有连接通孔，该连接通孔内设有套筒8，套筒8的内侧具有前述的螺纹过孔。其中，套筒8可相对连接通孔拆卸，比如套筒8可以螺纹于连接通孔内，或者套筒8卡接在连接通孔内，如此当经常旋拧调节螺杆6导致套筒8上的螺纹受损时，可以及时将套筒8 拆下进行更换。
34.在一个具体的应用示例中，如图3所示，前述的活动块2上可以设有连接块7，连接块7通过螺丝固定在活动块2上。该连接块7上设有前述的连接通孔。
35.如图3所示，前述的活动块2上还可以设有导向块21，该导向块 21用于对升降块3的升降导向。其中，导向块21可相对活动块2拆卸，优选的，导向块21可以通过螺丝与活动块2连接。该导向块21与升降块3滑动配合，当导向块21经常与升降块3摩擦发生磨损时可以及时拆下进行更换。
36.如图4所示，前述的升降块3上设有滑动部31，升降块3通过滑动部31 相对活动块2升降。其中，滑动部31可相对升降块3拆卸，优选的，滑动部 31可以通过螺丝与升降块3连接。该滑动部31与活动块2上的导向块21滑动配合，当滑动部31经常与导向块21摩擦发生磨损时可以及时拆下进行更换。
37.上述导向块21和滑动部31两者的结构可以相同，且均呈条状，如此可以节省零件的种类，方便加工。
38.如图4所示，前述升降块3沿高度方向的一侧可以设有耐磨件10，该耐磨件10可以为塑胶件等。升降块3通过耐磨件10与调节螺杆6的端部相抵，以防止调节螺杆6经常抵压升降块3而对升降块3造成损伤。
39.为了安装耐磨件10，优选的，升降块3沿高度方向的一侧可以设有安装槽，耐磨件
10嵌设在安装槽内。耐磨件10可以与安装槽过渡配合或间隙配合，以在耐磨件10损坏后进行更换。
40.为了进一步减小摩擦，优选的，前述调节螺杆6的一端可以嵌设有滚珠 61，以通过该滚珠61与耐磨件相抵。
41.如图4所示，上述的前后驱动机构可以包括丝杆电机5，以通过丝杆电机5驱动相机9前后运动。前述的相机9包括镜头，镜头呈长条状.如图5 所示，镜头的一端具有插接部91，丝杆电机5的输出端具有凹槽51，插接部 91用于插入凹槽51内，且与凹槽51过渡配合。
42.升降块3上设有安装槽，如图4所示，该安装槽具有依次连接的丝杆电机安装段301和镜头导向段302，镜头导向段302与丝杆电机安装段301之间形成卡台303，上述的丝杆电机5用于安装在丝杆电机安装段301内，镜头用于滑设在镜头导向段302内，镜头上还设有限位凸缘92，该限位凸缘92 用于与卡台303相抵，以限制相机9前后滑动的距离。
43.如图1所示，前述的左右驱动机构可以包括驱动缸4，以通过驱动缸4 驱动活动块2左右运动，其中，驱动缸4可以为气缸或液压缸，具体可以根据实际需要选取，在此不再赘述。
44.本实用新型的实施例还提供一种光刻机，其可以包括上述任一种所述的光刻机相机位置调节机构。在本示例中，由于光刻机采用上述光刻机相机位置调节机构的缘故，从而使相机9的位置可在前后、上下以及左右三个方向均进行调节，如此可以根据需要将相机9调节至能够对准晶圆的位置，从而可以提高相机9采集晶圆信息的准确性。
45.下面介绍一下本实用新型的工作原理和优选实施例。
46.本实用新型在于设计一种光刻机相机位置调节机构及应用其的光刻机，其中，光刻机相机位置调节机构可以包括前后驱动机构、左右驱动机构以及高度调节机构，前后驱动机构可驱动相机9前后运动，左右驱动机构可通过活动块2带动相机9左右运动，高度调节机构可通过升降块3带动相机9升降，这样相机9的位置可在前后、上下以及左右三个方向均进行调节，如此可以根据需要将相机9调节至能够对准晶圆的位置，从而可以提高相机9采集晶圆信息的准确性。
47.这里需要说明的是：在不冲突的情况下，本领域的技术人员可以根据实际情况将上述各示例中相关的技术特征相互组合，以达到相应的技术效果，具体对于各种组合情况在此不一一赘述。
48.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。