一种电磁驱动式MEMS微镜

文档序号:26705265发布日期:2021-09-18 03:37阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种电磁驱动式mems微镜,包括底座(1)和微镜(5),其特征在于,所述底座(1)上固定连接设有固定柱(2),所述固定柱(2)上右侧固定连接设有固定杆(3),所述固定杆(3)上设有通孔(4),所述通孔(4)内设有微镜(5),所述微镜(5)贯穿于通孔(4)设置,所述微镜(5)位于通孔(4)内固定连接设有弹簧一(6),所述弹簧一(6)的另一侧和通孔(4)侧壁固定连接设置,所述固定杆(3)右侧设有螺纹孔(8),所述螺纹孔(8)内螺纹套设有螺纹杆(9),所述螺纹杆(9)贯穿于螺纹孔(8)设置,所述螺纹杆(9)位于通孔(4)内设有调控槽,所述调控槽内转动连接设有转块(7),所述转块(7)贯穿于调控槽和微镜(5)固定连接设置,所述底座(1)上设有移动板(12),所述底座(1)上设有移动板(12)的卡位装置,所述底座(1)上设有按压装置。2.根据权利要求1所述的一种电磁驱动式mems微镜,其特征在于,所述卡位装置包括在底座(1)上侧设置的移动槽(10),所述移动槽(10)位于固定柱(2)的右侧设置,且所述移动槽(10)位于移动板(12)的下侧设置,所述移动槽(10)内设有移动块(11),所述移动块(11)贯穿于移动槽(10)和移动板(12)固定连接设置,所述移动槽(10)内设有环形槽(13),所述环形槽(13)内转动连接设有环形板(14),所述环形板(14)贯穿于环形槽(13)设置,且所述移动块(11)贯穿于环形板(14)和环形板(14)固定连接设置,所述移动槽(10)内设有接触板(16),所述接触板(16)位于移动块(11)的下侧设置,所述接触板(16)的下侧固定连接设有弹簧二(15),所述弹簧二(15)的另一侧和移动槽(10)固定连接设置,所述移动槽(10)内设有深槽(32),所述深槽(32)内滑动连接设有滑块(33),所述滑块(33)贯穿于深槽(32)和接触板(16)固定连接设置。3.根据权利要求1所述的一种电磁驱动式mems微镜,其特征在于,所述按压装置包括在底座(1)上对称设置的两个压板(18),两个所述压板(18)通过连接杆(23)固定连接设置,两个所述压板(18)右侧设有转动槽(19),所述转动槽(19)的两侧通透设置,所述转动槽(19)内固定连接设有转动杆(20),所述转动杆(20)上滑动套设有弧形板(21),所述弧形板(21)贯穿于转动槽(19)设置,所述弧形板(21)位于转动槽(19)内固定连接设有弹簧三(22),所述转动杆(20)贯穿于弹簧三(22)设置,所述弹簧三(22)的另一侧和转动槽(19)固定连接设置。4.根据权利要求3所述的一种电磁驱动式mems微镜,其特征在于,所述固定柱(2)上设有控制槽(17),所述控制槽(17)内对称设有两个限位槽(25),两个所述限位槽(25)之间通过限位板(26)连通设置,所述限位板(26)和两个限位槽(25)滑动连接设置,所述限位板(26)的右侧固定连接设有接触杆(24),所述接触杆(24)贯穿于控制槽(17)侧壁和连接杆(23)固定连接设置。5.根据权利要求4所述的一种电磁驱动式mems微镜,其特征在于,所述控制槽(17)内设有控制板(29),所述控制板(29)贯穿于控制槽(17)设置,所述控制板(29)左侧对称固定连接设有两个弹簧四(30),两个所述弹簧四(30)的另一侧和控制槽(17)侧壁固定连接设置,所述控制槽(17)内底部设有滑槽(27),所述滑槽(27)内滑动连接设有滑杆(28),所述滑杆(28)贯穿于滑槽(27)和控制板(29)固定连接设置,所述限位板(26)左侧固定连接设有多个凸起(31),多个所述凸起(31)和控制板(29)接触连接设置。6.根据权利要求5所述的一种电磁驱动式mems微镜,其特征在于,所述控制板(29)上固定套设有橡胶套。
7.根据权利要求1所述的一种电磁驱动式mems微镜,其特征在于,所述螺纹杆(9)位于固定杆(3)外侧螺纹套设有防滑螺母。

技术总结
本发明公开了一种电磁驱动式MEMS微镜,包括底座和微镜,所述底座上固定连接设有固定柱,所述固定柱上右侧固定连接设有固定杆,所述固定杆上设有通孔,所述通孔内设有微镜,所述微镜贯穿于通孔设置,所述微镜位于通孔内固定连接设有弹簧一,所述弹簧一的另一侧和通孔侧壁固定连接设置,所述固定杆右侧设有螺纹孔,所述螺纹孔内螺纹套设有螺纹杆,所述螺纹杆贯穿于螺纹孔设置,所述螺纹杆位于通孔内设有调控槽,所述调控槽内转动连接设有转块,所述转块贯穿于调控槽和微镜固定连接设置,所述底座上设有移动板,所述底座上设有移动板的卡位装置,所述底座上设有按压装置。本发明可以对需要进行观察的物体进行更好的固定。对需要进行观察的物体进行更好的固定。对需要进行观察的物体进行更好的固定。


技术研发人员:秦毅 胡耀华 任斌 王福杰 郭芳 姜鸣 姚智伟
受保护的技术使用者:东莞理工学院
技术研发日:2021.06.17
技术公布日:2021/9/17
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