一种电磁驱动式MEMS微镜

文档序号:26705265发布日期:2021-09-18 03:37阅读:264来源:国知局
一种电磁驱动式MEMS微镜
一种电磁驱动式mems微镜
技术领域
1.本发明涉及微镜技术领域,尤其涉及一种电磁驱动式mems微镜。


背景技术:

2.mems是微机电系统的缩写,微机电系统,也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,mems侧重于超精密机械加工,涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域,它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支,在微镜领域,可以更好的更为精准的对需要被观察的物体进行观察,但是在利用电磁驱动式mems微镜进行观察时,被观察的物体是被直接放置在观察台的,没有相应的固定装置,且当需要将物体进行转动以便进行更好的观察时,操作及其不便,因此提供一种新的电磁驱动式mems微镜。


技术实现要素:

3.本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,如:被观察的物体是被直接放置在观察台的,没有相应的固定装置,且当需要将物体进行转动以便进行更好的观察时,操作及其不便,而提出的一种电磁驱动式mems微镜。
4.为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
5.一种电磁驱动式mems微镜,包括底座和微镜,所述底座上固定连接设有固定柱,所述固定柱上右侧固定连接设有固定杆,所述固定杆上设有通孔,所述通孔内设有微镜,所述微镜贯穿于通孔设置,所述微镜位于通孔内固定连接设有弹簧一,所述弹簧一的另一侧和通孔侧壁固定连接设置,所述固定杆右侧设有螺纹孔,所述螺纹孔内螺纹套设有螺纹杆,所述螺纹杆贯穿于螺纹孔设置,所述螺纹杆位于通孔内设有调控槽,所述调控槽内转动连接设有转块,所述转块贯穿于调控槽和微镜固定连接设置,所述底座上设有移动板,所述底座上设有移动板的卡位装置,所述底座上设有按压装置。
6.优选地,所述卡位装置包括在底座上侧设置的移动槽,所述移动槽位于固定柱的右侧设置,且所述移动槽位于移动板的下侧设置,所述移动槽内设有移动块,所述移动块贯穿于移动槽和移动板固定连接设置,所述移动槽内设有环形槽,所述环形槽内转动连接设有环形板,所述环形板贯穿于环形槽设置,且所述移动块贯穿于环形板和环形板固定连接设置,所述移动槽内设有接触板,所述接触板位于移动块的下侧设置,所述接触板的下侧固定连接设有弹簧二,所述弹簧二的另一侧和移动槽固定连接设置,所述移动槽内设有深槽,所述深槽内滑动连接设有滑块,所述滑块贯穿于深槽和接触板固定连接设置。
7.优选地,所述按压装置包括在底座上对称设置的两个压板,两个所述压板通过连接杆固定连接设置,两个所述压板右侧设有转动槽,所述转动槽的两侧通透设置,所述转动槽内固定连接设有转动杆,所述转动杆上滑动套设有弧形板,所述弧形板贯穿于转动槽设置,所述弧形板位于转动槽内固定连接设有弹簧三,所述转动杆贯穿于弹簧三设置,所述弹簧三的另一侧和转动槽固定连接设置。
8.优选地,所述固定柱上设有控制槽,所述控制槽内对称设有两个限位槽,两个所述限位槽之间通过限位板连通设置,所述限位板和两个限位槽滑动连接设置,所述限位板的右侧固定连接设有接触杆,所述接触杆贯穿于控制槽侧壁和连接杆固定连接设置。
9.优选地,所述控制槽内设有控制板,所述控制板贯穿于控制槽设置,所述控制板左侧对称固定连接设有两个弹簧四,两个所述弹簧四的另一侧和控制槽侧壁固定连接设置,所述控制槽内底部设有滑槽,所述滑槽内滑动连接设有滑杆,所述滑杆贯穿于滑槽和控制板固定连接设置,所述限位板左侧固定连接设有多个凸起,多个所述凸起和控制板接触连接设置。
10.优选地,所述控制板上固定套设有橡胶套。
11.优选地,所述螺纹杆位于固定杆外侧螺纹套设有防滑螺母。
12.与现有技术相比,本发明的有益效果是:通过通孔和微镜的配合,在螺纹杆和螺纹孔的作用下,对微镜的位置进行左右的调节工作,以便对物体进行更好的观测,通过特殊的按压装置,利用两个弧形板将需要进行观察的物体夹在移动板上,仅仅需要向左移动控制板,在上下移动连接杆即可,操作方便,调节快速,通过特殊的卡位装置,对移动板和移动块进行相应的固定稳定操作,在和按压装置相配合,当需要将移动板上的物体进行转动,以便进行更好的观察的时候,向下按压接触板,在对移动板进行转动即可,整体操作简单,实用性强。
附图说明
13.图1为本发明提出的一种电磁驱动式mems微镜的结构示意图;
14.图2为本发明提出的一种电磁驱动式mems微镜中固定柱的俯视连接示意图;
15.图3为本发明提出的一种电磁驱动式mems微镜中压板和弧形板的俯视连接示意图;
16.图4为本发明提出的一种电磁驱动式mems微镜中移动槽的左视剖视图。
17.图中:1底座、2固定柱、3固定杆、4通孔、5微镜、6弹簧一、7转块、8螺纹孔、9螺纹杆、10移动槽、11移动块、12移动板、13环形槽、14环形板、15弹簧二、16接触板、17控制槽、18压板、19转动槽、20转动杆、21弧形板、22弹簧三、23连接杆、24接触杆、25限位槽、26限位板、27滑槽、28滑杆、29控制板、30弹簧四、31凸起、32深槽、33滑块。
具体实施方式
18.下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
19.在本发明的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
20.参照图1

4,一种电磁驱动式mems微镜,包括底座1和微镜5,底座1上固定连接设有固定柱2,固定柱2上右侧固定连接设有固定杆3,固定杆3上设有通孔4,通孔4内设有微镜5,微镜5贯穿于通孔4设置,微镜5位于通孔4内固定连接设有弹簧一6,弹簧一6的另一侧和通
孔4侧壁固定连接设置,使微镜5和通孔4之间保持良好的相对稳定效果,固定杆3右侧设有螺纹孔8,螺纹孔8内螺纹套设有螺纹杆9,螺纹杆9贯穿于螺纹孔8设置,螺纹杆9位于通孔4内设有调控槽,调控槽内转动连接设有转块7,转块7贯穿于调控槽和微镜5固定连接设置,转动螺纹杆9,在调控槽和转块7的作用下带动微镜5在通孔4内左右移动,进行更好的观察作用,螺纹杆9位于固定杆3外侧螺纹套设有防滑螺母,防止螺纹杆9和固定杆3之间产生相应的滑动,底座1上设有移动板12,底座1上设有移动板12的卡位装置,卡位装置包括在底座1上侧设置的移动槽10,移动槽10位于固定柱2的右侧设置,且移动槽10位于移动板12的下侧设置,移动槽10内设有移动块11,移动块11贯穿于移动槽10和移动板12固定连接设置,移动槽10内设有环形槽13,环形槽13内转动连接设有环形板14,环形板14贯穿于环形槽13设置,且移动块11贯穿于环形板14和环形板14固定连接设置,利用环形槽13和环形板14配合,对移动块11的位置进行一定的限制作用,移动槽10内设有接触板16,接触板16位于移动块11的下侧设置,接触板16的下侧固定连接设有弹簧二15,弹簧二15的另一侧和移动槽10固定连接设置,利用被压缩的弹簧二15在接触板16的作用下,将移动块11进行简单的固定效果,移动槽10内设有深槽32,深槽32内滑动连接设有滑块33,滑块33贯穿于深槽32和接触板16固定连接设置,确定接触板16的运动轨迹,底座1上设有按压装置,按压装置包括在底座1上对称设置的两个压板18,两个压板18通过连接杆23固定连接设置,两个压板18右侧设有转动槽19,转动槽19的两侧通透设置,转动槽19内固定连接设有转动杆20,转动杆20上滑动套设有弧形板21,弧形板21贯穿于转动槽19设置,弧形板21位于转动槽19内固定连接设有弹簧三22,转动杆20贯穿于弹簧三22设置,弹簧三22的另一侧和转动槽19固定连接设置,在弹簧三22的作用下,使弧形板21和需要被固定的物体之间连接的更加紧密,固定柱2上设有控制槽17,控制槽17内对称设有两个限位槽25,两个限位槽25之间通过限位板26连通设置,限位板26和两个限位槽25滑动连接设置,限位板26的右侧固定连接设有接触杆24,接触杆24贯穿于控制槽17侧壁和连接杆23固定连接设置,利用限位板26和限位板26配合,并在接触杆24的作用下,确定连接杆23和两个压板18的运动轨迹,控制槽17内设有控制板29,控制板29贯穿于控制槽17设置,控制板29左侧对称固定连接设有两个弹簧四30,两个弹簧四30的另一侧和控制槽17侧壁固定连接设置,控制槽17内底部设有滑槽27,滑槽27内滑动连接设有滑杆28,滑杆28贯穿于滑槽27和控制板29固定连接设置,确定控制板29的运动轨迹,限位板26左侧固定连接设有多个凸起31,多个凸起31和控制板29接触连接设置,控制板29上固定套设有橡胶套,使控制板29和限位板26在橡胶套和凸起31的双重作用下,增大相应的摩檫力,将限位板26进行更好的固定,在控制板29和弹簧四30的作用下,当控制板29和限位板26上的凸起31接触连接时,在弹簧四30的作用下,将限位板26的位置进行固定,进而完成连接杆23和压板18的固定操作,最终确定弧形板21的位置,当控制板29和限位板26上的凸起31断开连接时,上下移动连接杆23和压板18,完成对弧形板21位置的调控工作。
21.本发明中,将需要利用微镜5进行观察的物体放在移动板12上,向左移动控制板29,控制板29压缩固定连接的弹簧四30,且使控制板29和凸起31断开连接,上下移动连接杆23,连接杆23带动固定连接的压板18上下移动,压板18带动弧形板21上下移动,使弧形板21的相对位置位于物体的上侧,以转动杆20为中心转动两个弧形板21,使两个弧形板21和物体相接触的同时,压住物体,在移动连接杆23的过程中,连接杆23带动固定连接的接触杆24上下移动,接触杆24带动固定连接的限位板26上下移动,当弧形板21的位置调节完成之后,
松开控制板29,控制板29在弹簧四30的作用下向右移动,控制板29和限位板26上的凸起31相接触,将限位板26压紧固定,进而完成对弧形板21的固定操作,转动螺纹杆9,螺纹杆9通过转块7带动微镜5进行左右移动,进行相应的观察工作,当需要对物体进行转动时,向下按压接触板16,接触板16压缩固定连接的弹簧二15,接触板16和移动块11之间断开连接,重复上述的操作,将弧形板21稍微向上移动,使弧形板21和物体之间断开连接,转动移动板12,进而完成对物体的转动操作,再次进行相应的观察工作。
22.以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
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