照明均匀性补偿装置和方法与流程

1.本发明涉及光刻设备技术领域，尤其涉及一种照明均匀性补偿装置和方法。


背景技术：

2.投影式光刻机是一种将掩模面图案转移到基板面/硅片面形成所需要的图案，进而集成出需要的面板/集成电路(ic)的设备。投影式光刻机中的曝光系统主要承担掩膜图形的精确投影与曝光等任务。其中，照明系统为光刻机掩模面提供均匀的照明光斑，是投影式光刻机的能量来源，掩模面的光斑能量和照度均匀性是照明系统的重要指标，光斑能量的大小决定了光刻机的产率，而照度均匀性决定了投影式光刻机曝光时曝光线条方向性长度的相对差异，间接地影响到投影式光刻机的分辨率。对于大照明视场的扫描光学曝光系统，其曝光照明视场大多为大长宽比的长方形结构，因为曝光照明视场尺寸的不对称性，其照度均匀性普遍低于对称结构的照明视场。
3.投影式光刻机对于曝光照明视场的照度均匀性有着十分高的要求，为了实现对投影式光刻机的整个生命周期内的照度均匀性进行补偿，现有的补偿方法通常成本很高，且可靠性较低。
4.现有技术中，为了提高光刻机的照度均匀性，通常采用以下两种方法进行照度均匀性补偿：第一照度均匀性补偿方案为采用在补偿版上镀铬，对基板面的能量分布进行调整，但考虑到光刻机的照明系统中的光学镜片在长期的使用过程中存在持续不断的透过率衰减，此种补偿方案的生命周期相对于照明系统的整体生命周期过短，需要不断更换补偿版，制造成本较高；第二种照度均匀性补偿方案为采用数量庞大的挡片，得到不同的光路去除量，以实现照度均匀性补偿，但对于每个挡片均需设计可动机构，且可动机构的运动范围和控制精度直接决定均匀性补偿的范围和补偿的精度，这极大地增加了成本、设计难度和可靠性风险。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种照明均匀性补偿装置和方法，以解决补偿装置结构复杂，补偿精度和控制难度无法兼顾的问题。
6.为达此目的，本发明采用以下技术方案：
7.第一方面，一种照明均匀性补偿装置，包括：沿照明视场的光轴方向依次设置的多个补偿版，且各所述补偿版沿所述照明视场的长度方向延伸并沿所述延伸方向设有多个相互间隔且高度不相同的补偿台阶，其中：
8.各所述补偿版上的所述补偿台阶沿所述照明视场的长度方向进出所述照明视场以遮挡部分照明光。
9.补偿台阶进入照明视场中作为补偿区域能够遮蔽部分照明光，不同高度的补偿台阶能够实现补偿不同的照度，多个补偿版沿照明视场的长度方向延伸并移动，使得不同高度的补偿台阶移动至目标区域后，实现均匀性补偿，该装置提升了装调效率，降低控制难
度。
10.作为上述照明均匀性补偿装置的优选方案，各所述补偿版中的相邻两个所述补偿台阶的间距均相同且等于所述照明视场的长度。
11.各补偿版在照明视场内均只有一个补偿台阶，控制补偿版移动照明视场的长度距离时，实现切换补偿区域，且该设计易于精确控制切换补偿区域。
12.作为上述照明均匀性补偿装置的优选方案，所述补偿版的总数量与单个所述补偿台阶的长度的乘积等于所述照明视场的长度。
13.各补偿版在照明视场内均只有一个补偿台阶，所有补偿版的补偿台阶沿长度方向串联后无缝隙地覆盖整个照明视场，充分利用所有补偿版，使照明补偿区域的最小长度单位与补偿台阶的长度相对应，更易于精确控制切换补偿台阶。
14.作为上述照明均匀性补偿装置的优选方案，任意一个所述补偿版上的所述补偿台阶呈高度等差排列。
15.补偿版上的补偿台阶呈高度等差排列，相邻两个补偿台阶的高度差相同，每移动补偿版一个照明视场长度距离，补偿台阶的高度改变一个预设的高度差，更易于精确控制切换补偿台阶。
16.作为上述照明均匀性补偿装置的优选方案，任意一个所述补偿台阶包括多个子台阶，且各个所述子台阶的长度相同而高度互不相同。
17.同一个补偿台阶上设有多个高度不同的子台阶，进一步增加了补偿区域的数量，提高了补偿精细度，并且在增加了补偿区域数量的同时，无需增加补偿版的数量，不增加成本和控制难度。
18.作为上述照明均匀性补偿装置的优选方案，任意一个所述补偿台阶上的所述子台阶呈高度等差排列或等比数列。
19.同一补偿台阶上的子台阶呈高度等差排列或等比，移动单个子台阶的长度，能够对补偿区域的高度进行微调，且高度变化的公差或等比与同一补偿区域内的补偿精度相对应，公差值或等比系数值越小，补偿精度越大。
20.作为上述照明均匀性补偿装置的优选方案，该装置还包括：
21.驱动机构，所述驱动机构与所述补偿版一一对应连接，并用于带动其连接的所述补偿版沿所述照明视场的长度方向运动。
22.驱动机构与补偿版一一对应连接，每个补偿版通过单独一个驱动机构驱动，实现对各个补偿版在照明视场内单独控制。
23.作为上述照明均匀性补偿装置的优选方案，所述补偿版设置为可卷曲结构；
24.所述驱动机构包括：
25.第一收纳盒，设置在所述照明视场的长度方向的一侧，所述补偿版的第一端卷绕并收纳在所述第一收纳盒内；以及
26.第二收纳盒，设置在所述照明视场的长度方向的另一侧，所述补偿版的第二端卷绕并收纳在所述第二收纳盒内，所述第二收纳盒与所述第一收纳盒共同带动所述补偿版运动。
27.第一收纳盒与第二收纳盒均设置在照明视场外不会干涉照明视场，第一收纳盒卷绕补偿版的一端，第二收纳盒卷绕补偿版的另一端，第一收纳盒与第二收纳盒共同作用带
动补偿版运动。
28.作为上述照明均匀性补偿装置的优选方案，所述第一收纳盒与所述第二收纳盒均包括：
29.盒体，所述盒体的表面设有供所述补偿版进出的开口，所述盒体的内部设有收纳腔，所述收纳腔的内部设有转轴，所述转轴与所述补偿版的端部固定连接；以及
30.动力部，所述动力部的活动端驱动所述转轴旋转。
31.动力部带动转轴旋转，进而使补偿版进入开口并卷绕在转轴上或带动补偿版从开口伸出。
32.第二方面，一种照明均匀性补偿方法，利用上述的照明均匀性补偿装置，该方法包括以下步骤：
33.获得照明视场内的照度数据；
34.根据所述照度数据拟合出所述照明视场内的积分均匀性曲线；
35.将所述积分均匀性曲线分成若干个区间；
36.根据各所述区间内的照度和目标照度，确定各所述区间所需的所述补偿台阶；
37.移动相应的所述补偿版使所述补偿台阶进入所述区间对应的照明视场；
38.完成照明均匀性补偿。
39.该方法基于照明均匀性补偿装置，通过对照度数据拟合出照明视场内的积分均匀性曲线，对积分均匀性曲线进行分区，并确定每个区间内所需的补偿台阶，之后横向移动相应补偿台阶到区间对应的照明视场位置，从而实现照明均匀性补偿，提升了装调效率，降低控制难度。
40.本发明的有益效果：
41.对于照明均匀性补偿装置，补偿台阶进入照明视场中作为补偿区域能够遮蔽部分照明光，不同高度的补偿台阶能够实现补偿不同的照度，多个补偿版沿照明视场的长度方向延伸并移动，使得不同高度的补偿台阶移动至目标区域后，实现均匀性补偿，该装置提升了装调效率，降低控制难度。
42.对于照明均匀性补偿方法，该方法基于照明均匀性补偿装置，通过对照度数据拟合出照明视场内的积分均匀性曲线，对积分均匀性曲线进行分区，并确定每个区间内所需的补偿台阶，之后横向移动相应补偿台阶到区间对应的照明视场位置，从而实现照明均匀性补偿，提升了装调效率，降低控制难度。
附图说明
43.图1是本技术实施例一提供的现有技术中的光刻投影曝光光学系统的结构示意图；
44.图2是本技术实施例一提供的照明均匀性补偿装置设置于图1所示的光刻投影曝光光学系统的结构示意图；
45.图3是图2中的照明均匀性补偿装置沿x轴方向的轴视图；
46.图4是本技术实施例一提供的照明均匀性补偿装置中的补偿版的结构示意图；
47.图5是图4中a圈中补偿台阶的放大图；
48.图6是本技术实施例一提供的照明均匀性补偿装置中的驱动机构的结构示意图；
49.图7是本技术实施例二提供的照明均匀性补偿方法的步骤s200得到的积分均匀性曲线一的示意图；
50.图8是本技术实施例二提供的照明均匀性补偿方法的步骤s600得到的积分均匀性曲线二的示意图。
具体实施方式
51.下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
52.在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
53.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
54.在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
55.实施例一：
56.本实施例提供一种照明均匀性补偿装置，图1是现有技术中的光刻投影曝光光学系统包括系统光源101、照明系统102、掩膜版104、投影物镜105和硅片106。系统光源101发出的激光入射到照明系统102中，照明系统102包括扩束、准直、稳束、照明模式变换、照明视场形成、刀口、照明物镜等等组件，分别对入射光产生准直扩束、稳定、特定光瞳形成、特定照明视场形成和均匀照明光等作用，使得入射光经照明系统102后在掩膜版104上得到特定照明视场形状、特定出瞳形状的均匀照明视场。掩膜版104经照明系统102照明后的出射光经投影物镜105投影成像到硅片106上，在硅片106上得到掩膜版104清晰的像，从而可对硅片106上的光刻胶进行曝光，上述过程完成了光刻的曝光过程，即将掩膜版104上的图案投影转移至硅片106上。
57.光刻机投影曝光系统的照明光场要求具有很高的均匀性，任何对掩膜版104的非均匀性照明都会通过投影物镜105投影硅片106上，造成所得到的实际图形与理想图形的偏离。在实际的光刻制造过程中，照明系统102各元件的制造误差，以及使用过程中各元件的损耗，均会对入射到掩膜版104的照明系统102出射光引入不均匀性。随着光刻特征尺寸的不断减小，对照明系统102出射光的照明均匀性越来越高，仅适用照明系统102中的元件要
达到所需的照明均匀性越来越难，通过在照明系统102和掩膜版104之间使用均匀性补偿装置，可以调整照明系统102的出射光能量分布，使得入射到掩膜版104上的照明光更加均匀，从而达到补偿硅片106上图形均匀性的目的。
58.图2是本技术实施例的照明均匀性补偿装置设置于图1所示的光刻投影曝光光学系统的结构示意图，如图2所示，照明均匀性补偿装置设置在照明系统102前，照明系统102包括石英棒，石英棒呈长方体结构，石英棒的前端设置照明视场，石英棒的长度方向为光轴方向。
59.照明均匀性补偿装置包括沿照明视场的光轴方向(x轴方向)依次设置的四个补偿版100，且各补偿版100沿照明视场的长度方向(y轴方向)延伸。可以理解为，四个补偿版100相互间隔或相互紧靠均可，补偿版100为长条形薄板结构，薄板厚度设置在毫米级或微米级均可。
60.图3是图2沿x轴方向的轴视图，四个补偿版100均设有若干个相互间隔且高度不相同的补偿台阶1，补偿台阶1作为补偿区域遮挡部分照明光。四个补偿版100沿y轴方向进出照明视场使得各自的补偿台阶1遮挡部分照明光，且由于补偿台阶1的高度不同进而遮挡量不同，分别移动四个补偿版100沿y轴方向移动，使各自补偿版100上的不同高度的补偿台阶1置于不同的位置，进而共同调整照明视场内的照明光能量分布，实现照明均匀性补偿。
61.图4是其中一个补偿版100的结构示意图，补偿版100上设有n个补偿台阶1，相邻两个补偿台阶1的间距l均相同，间距l设置为相邻两个补偿台阶1的同一侧端部的距离，且间距l等于照明视场的长度。并且，各补偿版100中任意相邻的两个补偿台阶1的间距l均设置为40mm，照明视场的长度也为40mm。
62.在本实施例中，相邻两个补偿台阶1的间距，即每次移动补偿版100一个照明视场的长度距离时，就能使该补偿版100上的另一个补偿台阶1置于照明视场内，并且，照明视场内对于任意一个补偿版100仅存在一个补偿台阶1，进而易于精确控制切换补偿区域。
63.需要说明的是，本技术实施例并不限制相邻两个补偿台阶1的间距均相同，即相邻两个补偿台阶1的间距可以不同，例如补偿版100上相邻两个补偿台阶1的距离可以设置为10mm、20mm、25mm、40mm等。又或者，相邻补偿台阶1的间距也并不等于照明视场的长度。本技术实施例并不限于此。
64.进一步，补偿版100的总数量与单个补偿台阶1的长度的乘积等于照明视场的长度。各补偿版100在照明视场内均只有一个补偿台阶1，四个补偿版100的补偿台阶1沿长度方向串联后无缝隙地覆盖整个照明视场，充分利用所有补偿版100及补偿台阶1，使照明补偿区域的最小长度单位与补偿台阶1的长度相对应，更易于精确控制切换补偿台阶1。
65.例如本实施例中，每个补偿台阶1的长度均设置为10mm，四个补偿版100的四个补偿台阶1的总长刚好为40mm。
66.如图3所示，四个补偿台阶1沿y轴方向互不重合，即四个补偿台阶1沿x轴方向的投影互不重合，且总长度刚好为照明视场的长度，即40mm。
67.需要说明的是，补偿版100的个数与单个补偿台阶1的长度的乘积也可以不等于照明视场的长度。例如，单个补偿台阶1的长度与补偿版100的个数乘积可以大于照明视场的长度，此时，四个补偿台阶1依次连接后大于照明视场的长度。即有一个补偿台阶1只有部分挡住光源。
68.优选地，任意一个补偿版100上的补偿台阶1呈高度等差排列，即相邻两个补偿台阶1的高度差相同，每次使补偿版100移动一个照明视场长度距离，补偿台阶1的高度改变一个预设的高度差，更易于精确控制切换补偿台阶1。
69.例如，在其中一个补偿版100上的补偿台阶1的高度分别为0.1mm、0.2mm、0.3mm、
……
2mm共20个台阶，即相邻两个补偿台阶1的高度差为0.1mm，每移动40mm补偿版100后，补偿台阶1的高度改变0.1mm。在另一个补偿版100上的补偿台阶1的高度分别为0.05mm、0.1mm、0.15mm
……
2mm共40个台阶，即相邻两个补偿台阶1的高度差为0.05mm。每移动40mm补偿版100后，补偿台阶1的高度改变0.05mm。当然可以理解为，在满足上述各补偿台阶1的长度以及间隔均相同的条件时，两个补偿版100的长度必然不同。又可以理解为，若两个补偿版100的长度相同时，补偿台阶1的间隔距离和长度会有不同。
70.进一步，补偿台阶1还包括多个子台阶11，且各个子台阶11的长度相同而高度互不相同。
71.参见图5，补偿台阶1包括两个子台阶11，两个子台阶11之间存在高度差，单个子台阶11的长度均为5mm，即补偿版100的补偿台阶1移动5mm后，可以切换一次子台阶11。这样的排布方式使得照明视场201对应一个补偿台阶1被划分为多等份。由于补偿装置的补偿精度等于照明视场划分等份的宽度，这种补偿装置的补偿精度会提高至多倍。
72.当然，在单个补偿台阶1上设置子台阶11会明显增加机械设计以及控制系统的难度。
73.需要说明的是，补偿台阶1上也可以设置三个、四个或m个子台阶11，子台阶将补偿台阶1等分，且对于补偿台阶1而言，各子台阶11的高度互不同。每次移动1/m个补偿台阶11的长度时，能够切换一个子台阶11。
74.同一个补偿台阶1上设有多个高度不同的子台阶11，从而增加了补偿区域的数量，进而提高了补偿精细度，并且在增加了补偿区域数量的同时，无需增加补偿版100的数量，进而不会增加成本和控制难度。
75.进一步，补偿台阶1上的子台阶11呈高度等差排列。例如一个补偿台阶1高度为2mm，该补偿台阶1上设有四个子台阶11，四个子台阶11的高度分别为2mm、1.8mm、1.6mm和1.4mm，每个子台阶11的长度均为2.5mm，将该补偿台阶1移动2.5mm后，能够使切换0.2mm高度差的子台阶11，且高度变化的公差与同一补偿区域内的补偿精度相对应，公差值越小，补偿精度越大。
76.当然，本技术实施例并不限于上述补偿台阶1上的子台阶11的个数，可以为四个，也可以为大于四个或小于四个，子台阶11的个数越多，补偿精度越大。
77.如图2，照明均匀性补偿装置还包括驱动机构200，驱动机构200与补偿版100一一对应连接，并用于带动其连接的补偿版100沿照明视场的长度方向运动。如图2所示，照明均匀性补偿装置还包括四个驱动机构200，四个驱动机构200各连接一个补偿版100，即每个补偿版100通过单独一个驱动机构200驱动，实现对各个补偿版100在照明视场内单独控制。
78.进一步，补偿版100设置为可卷曲结构。结合图5和图6，驱动机构200包括第一收纳盒2和第二收纳盒3，第一收纳盒2设置在照明视场的长度方向的左侧，补偿版100的左端卷绕并收纳在第一收纳盒2内；第二收纳盒3设置在照明视场的长度方向的右侧，补偿版100的右端卷绕并收纳在第二收纳盒3内，第二收纳盒3与第一收纳盒2共同带动补偿版100向左或
向右运动。
79.第一收纳盒2与第二收纳盒3均设置在照明视场外不会干涉照明视场，第一收纳盒2卷绕补偿版100的左端，第二收纳盒3卷绕补偿版100的右端，第一收纳盒2与第二收纳盒3共同作用带动补偿版100运动。可以理解为，例如，左侧的第一收纳盒2拉动补偿版100逐渐收纳其中，右侧第二收纳盒3同时将补偿版100的右端向左输出，进而共同作用带动补偿版100向左运动。
80.在本技术实施例中，第一收纳盒2与第二收纳盒3的结构相同，从而减小了产品制造成本。
81.以第一收纳盒2为例进行说明，第一收纳盒2包括一个盒体20和一个动力部21，盒体20具有顶盖、底盘及两者之间的侧壁，顶盖、底盘及侧壁包围形成收纳腔，侧壁设有条形的开口，补偿版100能够从侧壁上的开口进入收纳腔。动力部21设置在底盘下方。
82.需要说明的是，收纳腔的内部设有转轴，补偿版100的一端固定连接在转轴上，并能够缠绕在转轴上，动力部21的活动端穿设盒体20的底盘并连接、驱动转轴旋转，动力部21能够带动转轴顺时针或逆时针旋转，进而使补偿版100缠绕在转轴上或从转轴卸下输出。
83.在本技术实施例中，动力部21设置为无刷电机，无刷电机的输出轴与转轴同轴连接。
84.优选地，第一收纳盒2中动力部21的输出旋转角度为α1至最大值αmax,其中，输出旋转角度为α1时，即为动力部21的初始角度，输出角度为αmax时，为动力部21的旋转x圈后的角度。动力部21能够将补偿版100上任一补偿台阶1输出值目标位置，一方面，该目标位置与第一收纳盒2的盒体20之间存在一个预定的固定距离，另一方面，对于任一补偿台阶1从第一收纳盒2的初始状态时到目标位置均存在一个固定旋转角度，因此，若需要将一个特定的补偿台阶1移动至目标位置时，动力部21输出相对应的预设旋转角度。即，例如，无刷电机的输出轴旋转720
°
，能够将第一个补偿台阶1移动至目标位置，无刷电机的输出轴继续旋转720
°
，能够将第二个补偿台阶1移动至目标位置，此时第一个补偿台阶1则继续向第二收纳盒3方向运动。
85.那么，在该目标位置确定后，确定所需的补偿台阶1所有移动到的位置后既能够方便动力部21进行控制。
86.当然，为了便于控制，能够将动力部21(无刷电机)旋转角度与无损电机的转速进行匹配换算，无刷电机启动一个时间t对应能够输出一个补偿台阶1到目标位置。例如，无刷电机启动100毫秒后，能够将第一个补偿台阶1移动至目标位置，无刷电机启动200毫秒后，能够将第二个补偿台阶1移动至目标位置，此时第一个补偿台阶1则继续向第二收纳盒3方向运动。
87.实施例二：
88.本技术实施例提供一种照明均匀性补偿方法，利用实施例一提供的照明均匀性补偿装置。
89.照明均匀性补偿方法包括以下步骤：
90.s100、获得照明视场内的照度数据。具体地，在扫描曝光机中，将该补偿装置放置在照明系统102的石英棒的出光端面处，通过硅片面的ess测量出曝光照明视场内的照度数据。
91.s200、根据照度数据拟合出照明视场内的积分均匀性曲线一，该积分均匀性曲线一如图7所示。根据图7可知，在其横坐标表示的范围内(位置范围内)，纵坐标表示的照度存在较大幅度的波动。
92.s300、将积分均匀性曲线分层四个区间。即沿图7的x轴方向在-40至40刻度下均分四份，每个区间对应的x轴刻度为20个单位。在本技术实施例中，四个区间从左到右依次设置为第一区间、第二区间、第三区间和第四区间。
93.s400、根据各区间内的照度和目标照度，确定各区间所需的补偿台阶。
94.例如，第一区间所需的补偿度与第一个补偿版100的第八个子台阶11相对应，第二区间所需的补偿度与第二个补偿版100的第十五个子台阶11相对应，第三区间所需补偿度与第三个补偿版100的第二个子台阶11相对应，第四区间所需补偿度与第四个补偿版100的第十二个子台阶11相对应。
95.s500、同时启动第一收纳盒2与第二收纳盒3，移动相应的补偿版100使补偿台阶1进入区间对应的视场。可以理解为，该步骤针对四个补偿版100要重复四次，即每个补偿版100均要进行一次位移。
96.即，通过第一组驱动机构200的第一收纳盒2和第二收纳盒3将第一个补偿版100的第八个子台阶11移动至第一区间对应的视场，第二组驱动机构200的第一收纳盒2和第二收纳盒3将第二个补偿版100的第十五个子台阶11移动至第二区间对应的视场，第三组驱动机构200的第一收纳盒2和第二收纳盒3将第三个补偿版100的第二个子台阶11移动至第三区间对应的视场，第四组驱动机构200的第一收纳盒2和第二收纳盒3将第四个补偿版100的第十二个子台阶11移动至第四区间对应的视场。
97.s600、完成照明均匀性补偿。照明均匀性补偿后的积分均匀性曲线二如图8所示，可以看到在x轴-40至40的刻度上照度基本保持水平，其波动幅度明显小于图7。
98.该方法基于照明均匀性补偿装置，通过对照度数据拟合出照明视场内的积分均匀性曲线，对积分均匀性曲线进行分区，并确定每个区间内所需的补偿台阶，之后横向移动相应补偿台阶到区间对应的照明视场位置，从而实现照明均匀性补偿，提升了装调效率，降低控制难度。
99.显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。