技术特征：
1.一种整片晶圆纳米压印光刻机，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部通过轴承转动连接有竖杆(5)，所述竖杆(5)的外壁上方固接有多个支杆(9)，所述支杆(9)的末端设有限位机构(6)；所述限位机构(6)包括承片台(601)、凹槽(602)、顶板(603)、弹簧一(604)、套环(605)、螺栓(606)和竖槽(607)；所述承片台(601)的内端与支杆(9)固定连接，所述承片台(601)的内壁加工有多个凹槽(602)，所述凹槽(602)的内部转动连接有多个顶板(603)，所述顶板(603)的转轴上安装有弹簧一(604)，所述承片台(601)的外壁套接有套环(605)，所述套环(605)的外端螺纹连接有螺栓(606)，所述螺栓(606)的内端通过竖槽(607)与承片台(601)的外壁滑动连接。2.根据权利要求1所述的一种整片晶圆纳米压印光刻机，其特征在于：所述底板(1)的顶部固接有机体(2)，所述机体(2)的顶部贯穿栓接有气缸(3)。3.根据权利要求2所述的一种整片晶圆纳米压印光刻机，其特征在于：所述气缸(3)的底部安装有压印头(4)，且压印头(4)与最后侧的承片台(601)纵向对应设置。4.根据权利要求1所述的一种整片晶圆纳米压印光刻机，其特征在于：所述承片台(601)呈环形等距分布。5.根据权利要求1所述的一种整片晶圆纳米压印光刻机，其特征在于：所述承片台(601)的内部设有顶出机构(7)；所述顶出机构(7)包括方槽(701)、转板(702)、顶杆(703)、弹簧二(704)、滚轮(705)和弧面凸块(706)；所述方槽(701)加工于承片台(601)的内壁底部，所述方槽(701)的内部转动连接有转板(702)，所述转板(702)的底部抵紧有顶杆(703)，所述顶杆(703)的外壁贯穿承片台(601)的底部并延伸至其内部，所述顶杆(703)的外壁套接安装有弹簧二(704)，所述顶杆(703)的底部安装有滚轮(705)，所述滚轮(705)的下方设有弧面凸块(706)，所述弧面凸块(706)固接于底板(1)的顶部。6.根据权利要求5所述的一种整片晶圆纳米压印光刻机，其特征在于：所述弧面凸块(706)位于滚轮(705)圆周运动的轨迹上。7.根据权利要求1所述的一种整片晶圆纳米压印光刻机，其特征在于：所述竖杆(5)的外侧设有传动机构(8)；所述传动机构(8)包括电机(801)、齿轮一(802)和齿轮二(803)；所述电机(801)安装于底板(1)的顶部，且电机(801)的输出端固接有齿轮一(802)，所述齿轮一(802)的外壁啮合连接有齿轮二(803)，所述齿轮二(803)固接于竖杆(5)的外壁。8.根据权利要求7所述的一种整片晶圆纳米压印光刻机，其特征在于：所述齿轮一(802)和齿轮二(803)的齿数比为1/10。
技术总结
本实用新型公开了一种整片晶圆纳米压印光刻机，包括底板，所述底板的顶部通过轴承转动连接有竖杆，所述竖杆的外壁上方固接有多个支杆，所述支杆的末端设有限位机构。该整片晶圆纳米压印光刻机，可对多个承片台内部晶圆实现轴向转动切换印压加工，进而大幅提升加工效率，且通过顶板与凹槽的转动连接，以及弹簧一的设置，使得顶板可同时向内转动，进而对不同尺寸的晶圆实现限位固定，提升加工稳定性，进而保证印压精度，加工后晶圆可在切换加工过程中自动顶出承片台，进而提升卸料便捷性，提升加工效率，竖杆可随着电机慢速转动，进而可实现电控间歇切换加工，自动化程度更高。自动化程度更高。自动化程度更高。
技术研发人员：孙立 胡金鑫 刘晖
受保护的技术使用者：青岛影创信息科技有限公司
技术研发日：2021.05.14
技术公布日：2021/11/14