一种光刻机的送料装置的制作方法

1.本实用新型涉及光刻机技术领域，具体为一种光刻机的送料装置。


背景技术：

2.光刻机最核心的部件之一是紫外光源，硅片的光刻也是主要通过紫外光实现，由于紫外光容易对人体造成损害，光刻机外通常设有防护板和防护柜，光刻的过程通常在防护柜内进行；
3.一般的光刻机通常在每次检测前都需要打开柜门以放入原料，再关上柜门进行光刻操作，在光刻操作完成后需要重新打开柜门，取出已光刻好的硅片，再将待光刻的原料放入，并重复以上操作，操作麻烦，送料费时费力，不便于快速进行送料使用。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种光刻机的送料装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种光刻机的送料装置，包括u型板，所述u型板的两侧臂上方靠近左端处对称设有竖板，两个所述竖板顶部之间设有光刻机，两个所述竖板之间靠近两侧端处均设有防护板，所述u型板两侧臂上方靠近右端处设有固定板，所述固定板呈u型结构，所述固定板上表面中心位置嵌设有上料斗，所述固定板与竖板之间还对称设有引导板，所述u型板两侧臂之间靠近两端处均设有转辊，所述转辊中心轴线处均设有转轴，所述转辊之间套设有输送带，所述u型板外壁上设有电机，所述电机的输出轴与其中一个所述转轴转动连接。
7.优选的，所述u型板下表面靠近四个拐角处均设有支撑柱，所述支撑柱通过螺栓与u型板固定连接。
8.优选的，所述竖板通过螺栓与u型板固定连接，其中一个所述竖板上嵌设有透明窗，所述透明窗与竖板粘接固定，所述光刻机通过螺栓与竖板固定连接，所述防护板通过螺栓与竖板固定连接，所述防护板宽度小于竖板的高度。
9.优选的，所述固定板通过螺栓与u型板固定连接，所述上料斗与固定板通过螺栓固定连接，所述上料斗底部设有接引板，所述接引板呈倾斜状，所述接引板底部与输送带相贴合。
10.优选的，所述转辊通过转轴与u型板转动连接，所述转辊与转轴为一体成型结构，所述输送带的宽度与u型板两侧臂之间的宽度相适配，所述输送带内壁与转辊外壁紧密贴合。
11.优选的，所述引导板呈弧形板状，所述引导板末端插入两个竖板之间，所述引导板外壁上还设有连接板，所述连接板通过螺栓与竖板固定连接。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.1.本实用新型u型板上安装竖板，竖板两侧配有防护板，竖板之间进行防护，安装
对应的光刻机，防护板防止紫外光对外界环境或人体造成损伤，固定板与上料斗的配合，便于持续进行防入需要光刻的原料，在进接引板的配合下将原料输送至输送带上，在电机的配合下，进行稳定输送光刻使用。
14.2.本实用新型竖板上安装透明窗，便于使用者透过透明窗观察内部的原料光刻的状态，引导板的配合，便于将需要光刻的原料集中在输送带中间位置，有助于与光刻机中心轴位置对应，便于更好的进行光刻使用，防护板底部与输送带有一段距离，便于原料的进出使用。
附图说明
15.图1为本实用新型的光刻机的送料装置整体结构示意图；
16.图2为本实用新型的光刻机的送料装置部分结构示意图；
17.图3为本实用新型的u型板框架结构示意图；
18.图4为本实用新型的输送带与电机组合结构示意图；
19.图5为本实用新型的竖板与光刻机组合结构示意图。
20.图中各个标号意义为：
21.1、u型板；10、支撑柱；
22.2、竖板；20、透明窗；21、防护板；
23.3、光刻机；
24.4、固定板；40、上料斗；41、接引板；
25.5、输送带；50、转辊；500、转轴；
26.6、电机；
27.7、引导板；70、连接板。
具体实施方式
28.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
29.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
30.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“若干”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
31.请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：
32.一种光刻机的送料装置，包括u型板1，u型板1的两侧臂上方靠近左端处对称设有
竖板2，两个竖板2顶部之间设有光刻机3，两个竖板2之间靠近两侧端处均设有防护板21，u型板1两侧臂上方靠近右端处设有固定板4，固定板4呈u型结构，固定板4上表面中心位置嵌设有上料斗40，固定板4与竖板2之间还对称设有引导板7，u型板1两侧臂之间靠近两端处均设有转辊50，转辊50中心轴线处均设有转轴500，转辊50之间套设有输送带5，u型板1外壁上设有电机6，电机6的输出轴与其中一个转轴500转动连接。
33.本实施例中，u型板1下表面靠近四个拐角处均设有支撑柱10，支撑柱10通过螺栓与u型板1固定连接，支撑柱10安装，便于托起整个装置。
34.进一步的，竖板2通过螺栓与u型板1固定连接，其中一个竖板2上嵌设有透明窗20，透明窗20与竖板2粘接固定，光刻机3通过螺栓与竖板2固定连接，防护板21通过螺栓与竖板2固定连接，防护板21宽度小于竖板2的高度，透明窗20采用钢化玻璃制作，具有透光防护作用，便于使用者透过透明窗20观察到内部原料光刻状态，防护板21的配合，防止内部光刻时，部分紫外光源外泄，对人体或周围环境造成损伤。
35.具体的，固定板4通过螺栓与u型板1固定连接，上料斗40与固定板4通过螺栓固定连接，上料斗40底部设有接引板41，接引板41呈倾斜状，接引板41底部与输送带5相贴合，接引板41的安装，便于上料斗40中的原料稳定的进入到输送带5上，便于进行光刻输送使用。
36.其次，转辊50通过转轴500与u型板1转动连接，转辊50与转轴500为一体成型结构，输送带5的宽度与u型板1两侧臂之间的宽度相适配，输送带5内壁与转辊50外壁紧密贴合，转轴500的配合下，便于转辊50灵活的转动连接，在电机6的配合下，有助于使用者手动控制输送带5转动运输使用。
37.除此之外，引导板7呈弧形板状，引导板7末端插入两个竖板2之间，引导板7外壁上还设有连接板70，连接板70通过螺栓与竖板2固定连接，引导板7安装，便于将上料斗40中的原料集中在输送带5中间位置，方便光刻机3进行光刻操作，在连接板70的配合下，稳定的与竖板2固定连接，增加连接的稳定性。
38.本实施例的光刻机的送料装置在使用时，使用者手动将透明窗20粘接在竖板2上，然后将光刻机3安装在竖板2上，防护板21固定在竖板2两侧，对光刻机3端部进行防护，减少紫外光源对人体造成的伤害，电机6与u型板1固定，上料斗40安装在固定板4上，接引板41连接上料斗40与输送带5，便于将上料斗40中的原料稳定排放至输送带5上，在引导板7的配合下，稳定将原料集中在中间位置进行光刻使用。
39.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。