一种光刻胶涂覆装置的制作方法

1.本实用新型涉及光刻胶覆涂领域，尤其涉及一种光刻胶涂覆装置。


背景技术：

2.光刻胶又称光致抗蚀剂,由感光树脂、增感剂(见光谱增感染料)和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体，光刻胶可以通过光化学反应，经曝光、显影等光刻工序将所需要的微细图形从光罩(掩模版)转移到待加工基片上。依据使用场景，这里的待加工基片可以是集成电路材料，显示面板材料或者印刷电路板。
3.涂覆装置在实际使用过程中，当加工材料完成涂覆作业后，无法快速将吸盘内的空气进行排放，需要工作人员用力抽拉加工材料才能将加工材料从吸盘上取下，用力过度容易造成加工材料的损坏，从而降低了装置的实用性。
4.因此，有必要提供一种新的光刻胶涂覆装置解决上述技术问题。


技术实现要素：

5.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种可以吸附模板的光刻胶涂覆装置。
6.本实用新型提供的光刻胶涂覆装置包括：工作台，所述工作台的下端外表面连接有注胶筒；具有吸附固定功能的旋转机构，具有吸附固定功能的所述旋转机构与工作台连接。
7.优选的，具有吸附固定功能的所述旋转机构包括转动轴杆，所述工作台的上端外表面转动连接有转动轴杆，所述转动轴杆的上端通过转盘固定连接有吸盘，转盘的下端外表面固定连接有橡胶包圈，所述吸盘的外表面固定连接有与其连通的安装筒，安装筒开设有内螺纹，内螺纹螺纹连接有螺纹杆，安装筒内螺纹杆的一端固定连接有活塞，所述安装筒的外表面开设有两个对称设置的出气孔。
8.优选的，具有吸附固定功能的所述旋转机构还包括驱动电机，所述工作台的下端外表面通过保护外壳固定连接有用于驱动转动轴杆的驱动电机，驱动电机的输出端与转动轴杆的下端转动连接。
9.优选的，所述具有吸附固定功能的所述旋转机构还包括橡胶防护垫，所述吸盘的外表面固定连接有橡胶防护垫，橡胶防护垫上设有贯穿的通孔。
10.优选的，所述工作台连接有防飞溅机构。
11.优选的，所述防飞溅机构包括保护罩，所述工作台的上端外表面设有上下贯穿的通槽，通槽内活动连接有保护罩，所述吸盘位于保护罩内，保护罩的下端外表面固定连接有两个对称设置的卡杆，工作台设有的通槽内开设有滑槽和旋转固定槽，卡杆与滑槽滑动连接，当转动保护罩时，卡杆与旋转固定槽互相卡接，所述保护罩内可拆卸连接有海绵垫。
12.优选的，所述防飞溅机构还包括弹性固定环，所述工作台的上表面固定连接有多个弹性固定环，海绵垫的下端与弹性固定环互相卡接，所述保护罩的上端内部固定连接有多个安装座，安装座内通过阻尼橡胶垫阻尼转动连接有直角杆，直角杆的外表面固定连接
有弹簧，当转动直角杆至向下垂直时弹簧挤压海绵垫的上端外表面。
13.优选的，所述工作台的后端固定连接有用于收纳海绵垫的海绵收卷筒。
14.与相关技术相比较，本实用新型提供的光刻胶涂覆装置具有如下有益效果：
15.1、本实用新型提供一种光刻胶涂覆装置，在装置完成涂覆作业后，便于工作人员对吸盘内的空气进行快速排，通过转动螺纹杆将活塞移动，活塞与安装筒上的出气孔呈错位状，从而使得快空气可以顺着出气孔从吸盘内排出，从而便于工作人员拿取已经涂覆好光刻胶的加工材料，提高了涂覆装置的实用性。
16.2、本实用新型提供一种光刻胶涂覆装置，在涂覆装置作业过程中可以进行有效的防飞溅保护措施，将保护罩从工作台内抽出对吸盘形成环形保护圈，同时将海绵垫从海绵收卷筒内取出，放置在保护罩内，当加工材料上多余的光刻胶因转动的离心力被甩出的时候会直接落在海绵垫上，海绵垫会对光刻胶进行一定程度的吸附，方便工作人员后期进行清理，直接将海绵垫从保护罩内拆下即可，防止转动轴杆在旋转涂覆的过程中，光刻胶因转动的离心力被甩出工作台外，从而导致工作需要花费大量时间来清理废料的情况发生，提高了装置使用的有益性。
附图说明
17.图1为本实用新型提供的光刻胶涂覆装置的一种较佳实施例的结构示意图；
18.图2为图1所示的正视剖面的结构示意图；
19.图3为图1所示的防飞溅机构局部俯视剖面的结构示意图；
20.图4为图1所示的a处剖面放大的结构示意图；
21.图5为图2所示的b处放大的结构示意图。
22.图中标号：1、工作台；2、注胶筒；3、具有吸附固定功能的旋转机构；31、转动轴杆；32、驱动电机；33、橡胶包圈；34、吸盘；35、橡胶防护垫；36、安装筒；37、螺纹杆；38、活塞；39、出气孔；4、防飞溅机构；41、保护罩；42、卡杆；43、旋转固定槽；44、海绵垫；45、弹性固定环；46、直角杆；47、弹簧；5、海绵收卷筒。
具体实施方式
23.下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
24.请结合参阅图1至图5，一种光刻胶涂覆装置包括：工作台1，所述工作台1的下端外表面连接有注胶筒2；具有吸附固定功能的旋转机构3，具有吸附固定功能的所述旋转机构3与工作台1连接。
25.在具体实施过程中，如图1、图2和图4所示，具有吸附固定功能的所述旋转机构3包括转动轴杆31，所述工作台1的上端外表面转动连接有转动轴杆31，所述转动轴杆31的上端通过转盘固定连接有吸盘34，转盘的下端外表面固定连接有橡胶包圈33，所述吸盘34的外表面固定连接有与其连通的安装筒36，安装筒36开设有内螺纹，内螺纹螺纹连接有螺纹杆37，安装筒36内螺纹杆37的一端固定连接有活塞38，所述安装筒36的外表面开设有两个对称设置的出气孔39。
26.需要说明的是，将需要涂覆的加工材料放置在吸盘34上前，先转动螺纹杆37使得活塞38与出气孔39是错开状，之后在将加工材料放置到吸盘34上，再转动螺纹杆37使得活
塞38向吸盘34内旋转运动，将空气推进吸盘34内，使得吸盘34内呈负压状态，从而与加工材料的下表面进行吸附，固定加工材料的位置，防止加工材料在旋转涂覆的过程中出现被甩飞的情况，当加工材料完成涂覆作业后，再转动螺纹杆37将活塞38转出，使得出气孔39呈通气状态，以便吸盘34内的空气可以顺着出气孔39进行排放，加速空气流通，以便工作人员拿取加工材料，无需工作人员用力抽拉加工材料来进行取料，提高了装置的实用性。
27.参考图2所示，具有吸附固定功能的所述旋转机构3还包括驱动电机32，所述工作台1的下端外表面通过保护外壳固定连接有用于驱动转动轴杆31的驱动电机32，驱动电机32的输出端与转动轴杆31的下端转动连接。
28.需要说明的是，通过驱动电机32带动转动轴杆31进行低速和高速旋转产生离心力，从而使得光刻胶在加工材料的表面进行涂覆，确保光刻胶涂覆的均匀性。
29.参考图2和图4所示，所述具有吸附固定功能的所述旋转机构3还包括橡胶防护垫35，所述吸盘34的外表面固定连接有橡胶防护垫35，橡胶防护垫35上设有贯穿的通孔。
30.需要说明的是，通过设有的橡胶防护垫35，在放置加工材料时，可以对加工材料的下表面进行防护，避免加工材料因与吸盘34的接触面过度摩擦出现磨损的情况发生。
31.参考图2和图3所示，所述工作台1连接有防飞溅机构4，所述防飞溅机构4包括保护罩41，所述工作台1的上端外表面设有上下贯穿的通槽，通槽内活动连接有保护罩41，所述吸盘34位于保护罩41内，保护罩41的下端外表面固定连接有两个对称设置的卡杆42，工作台1设有的通槽内开设有滑槽和旋转固定槽43，卡杆42与滑槽滑动连接，当转动保护罩41时，卡杆42与旋转固定槽43互相卡接，所述保护罩41内可拆卸连接有海绵垫44。
32.需要说明的是，再装置进行旋转涂覆前，可以将保护罩41从工作台1设有的通槽内抽出，并转动保护罩41使得保护罩41上的卡杆42可与与工作台1内设有的旋转固定槽43卡接，固定保护罩41的使用位置，同时将海绵垫44与保护罩41进行组装，多余光刻胶从加工材料上被甩出落在海绵垫44上时，海绵垫44可以进行吸附，便于工作人员的后期清理，直接将有吸附的海绵垫44从保护罩41内拆下，更换新的海绵垫44进行使用即可，提高了装置使用的便捷性。
33.还需要说明的是，在进行放置和拿取加工材料时，可以将保护罩41滑进通槽内进行收纳，防止保护罩41立在工作台1上，从而影响了工作人拿放加工材料。
34.参考图2和图5所示，所述防飞溅机构4还包括弹性固定环45，所述工作台1的上表面固定连接有多个弹性固定环45，当放置海绵垫44时，海绵垫44的下端与弹性固定环45互相卡接，所述保护罩41的上端内部固定连接有多个安装座，安装座内通过阻尼橡胶垫阻尼转动连接有直角杆46，直角杆46的外表面固定连接有弹簧47，当转动直角杆46至向下垂直时弹簧47挤压海绵垫44的上端外表面。
35.需要说明的是，当保护罩41从通槽内提出使用，在对海绵垫44进行安装时，先将海绵垫44卷成环形，并顺着保护罩41的内壁放下放置，直到海绵垫44的下端放进弹性固定环45内被弹性固定环45卡接固定，同时将保护罩41内的直角杆46转动至垂直状态使得直角杆46上的弹簧47与海绵垫44的上端外表面接触，并通过弹簧47的弹力顶向海绵垫44，从而固定海绵垫44的使用位置，防止海绵垫44在使用期间出现倾斜倒塌，落在加工材料上，从而影响了光刻胶的涂覆作业，提高了装置的实用性。
36.还需要说明的是，弹性固定环45的顶端是倾斜倒角状，便于海绵垫44顺着弹性固
定环45滑进弹性固定环45与保护罩41之间的空隙内进行卡接。
37.参考图2所示，所述工作台1的后端固定连接有用于收纳海绵垫44的海绵收卷筒5。
38.需要说明的是，当装置进行涂覆作业前，便于工作人员现场拿取海绵垫44进行安装作业，同时便于存储大量更换用的海绵垫44。
39.本实用新型提供的光刻胶涂覆装置的工作原理如下：
40.首先，将需要涂覆的加工材料放置在吸盘34上，并通过转动螺纹杆37使得活塞38向吸盘34内转动，以便吸盘34内可以形成真空状态对加工材料进行吸附，从而固定加工材料的位置，之后再将保护罩41从通槽内抽出，并顺时针方向转动，使得保护罩41上的卡杆42与旋转固定槽43进行卡接固定保护罩41的使用位置，将海绵垫44从海绵收卷筒5内抽出展开，顺着保护罩41的内壁放进，直至海绵垫44的下端卡进弹性固定环45内固定，同时将保护罩41内的直角杆46转下使得弹簧47与海绵垫44的上端外表面接触，通过弹簧47的弹性弹簧47顶住海绵垫44，防止海绵垫44使用期间出现倾倒搭在加工材料上，之后在通过工作台1正面的控制开关启动装置作业，将光刻胶通过注胶筒2注入到加工材料的表面，同时驱动电机32作业，带动转动轴杆31旋转，使得加工材料因旋转的离心力将光刻胶均匀的涂覆在表面上，同时多余的光刻胶被甩出加工材料上，落在海绵垫44上，被海绵垫44进行吸收，当涂覆作业完成后，将海绵垫44从保护罩41内取出，保护罩41回到原位，再次转动螺纹杆37使得活塞38与出气孔39呈错开位，便于吸盘34内的空气可以顺着出气孔39进行快速排出，以便工作人员拿取涂覆好的加工材料，提高了涂覆装置的实用性。
41.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。