滤波器阵列及光检测系统的制作方法

文档序号:33084078发布日期:2023-01-31 21:25阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种滤波器阵列,其是在生成与特定的波长域中包含的n个波段的每个波段对应的图像数据的光检测装置中使用的滤波器阵列,n为2以上的整数,其中,具备多个光学滤波器,上述多个光学滤波器包括关于上述n个波段的每个波段的光透射率互不相同的多种光学滤波器,当设关于具有上述n个波段中的第i波段中包含的波长的光的上述多个光学滤波器的光透射率的平均值为μ
i
,设关于具有上述第i波段中包含的波长的上述光的上述多个光学滤波器的上述光透射率的标准偏差为σ
i
,其中i为1以上且n以下的整数,设m
i
=μ
i-σ
i
时,关于上述n个波段的每个波段,m
i
≥0.1。2.如权利要求1所述的滤波器阵列,其中,关于上述n个波段的每个波段,σ
i
≥0.05。3.如权利要求1或2所述的滤波器阵列,其中,关于上述n个波段的每个波段,μ
i
≥0.2。4.如权利要求1至3中任一项所述的滤波器阵列,其中,关于上述n个波段的每个波段,当设最大的m
i
为m
max
,设最小的m
i
为m
min
时,m
max
/m
min
≤3。5.如权利要求1至4中任一项所述的滤波器阵列,其中,上述多个光学滤波器中的至少1个光学滤波器包括:干涉层,具有第1表面及上述第1表面的相反侧的第2表面;以及反射层,设置在上述第1表面上,上述至少1个光学滤波器的透射波谱在上述特定的波长域具有多个极大值,上述反射层没有设置在上述第2表面上。6.如权利要求5所述的滤波器阵列,其中,上述反射层包含从由分布布拉格反射器及金属膜构成的组中选择的至少1个。7.如权利要求6所述的滤波器阵列,其中,上述分布布拉格反射器包括1组以上的第1折射率层及第2折射率层之组,上述第1折射率层的折射率比上述第2折射率层的折射率高。8.如权利要求7所述的滤波器阵列,其中,当设上述特定的波长域中包含的波长为λ,设上述第1折射率层的上述折射率为n
h
,设上述第2折射率层的上述折射率为n
l
时,上述第1折射率层的厚度为λ/(4n
h
),上述第2折射率层的厚度为λ/(4n
l
),上述干涉层的厚度大于λ/(2n
h
)。9.如权利要求6所述的滤波器阵列,其中,上述金属膜的厚度为1nm以上且100nm以下。10.如权利要求1至4中任一项所述的滤波器阵列,其中,上述光检测装置包括图像传感器,上述滤波器阵列配置为,使穿过上述多个光学滤波器后的光向上述图像传感器入射,上述多个光学滤波器中的至少1个光学滤波器是包括二维地排列的多个子滤波器的子滤波器阵列,
上述子滤波器阵列包括透射波长域互不相同的多种第1子滤波器、以及分别使具有上述n个波段中的对应的波段中包含的波长的n个光透射的1个以上的第2子滤波器或开口部,上述1个以上的第2子滤波器或上述开口部的面积在上述子滤波器阵列的整体的面积中所占的比例为4%以上。11.如权利要求10所述的滤波器阵列,其中,上述多种第1子滤波器包括红色滤波器、绿色滤波器及蓝色滤波器。12.一种光检测系统,其中,具备:权利要求1至11中任一项所述的滤波器阵列;以及图像传感器,配置在接受透射了上述多个光学滤波器的光的位置,对于具有上述特定的波长域中包含的波长的光具有灵敏度。13.如权利要求12所述的光检测系统,其中,还具备处理电路,该处理电路基于表示上述多个光学滤波器的上述光透射率的空间分布的数据、以及由上述图像传感器取得的压缩图像数据,生成上述图像数据。

技术总结
滤波器阵列是在生成与特定的波长域中包含的N个(N是2以上的整数)波段的每个波段对应的图像数据的光检测装置中使用的滤波器阵列,具备多个光学滤波器。上述多个光学滤波器包括关于上述N个波段的每个波段的光透射率互不相同的多种光学滤波器。当设关于具有上述N个波段中的第i波段(i是1以上N以下的整数)中包含的波长的光的上述多个光学滤波器的光透射率的平均值为μ


技术研发人员:八子基树 石川笃 久田和也
受保护的技术使用者:松下知识产权经营株式会社
技术研发日:2021.05.10
技术公布日:2023/1/30
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