一种芯片显影装置的制作方法

文档序号:29319255发布日期:2022-03-19 22:24阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种芯片显影装置,其特征在于:包括机架(1)以及安装于机架(1)上端上的导轨(2),所述导轨(2)上滑动安装有多个芯片承载架(3),所述芯片承载架(3)沿导轨(2)均匀间隔分布,所述机架(1)上安装驱动芯片承载架(3)间歇滑动的驱动机构(4),所述驱动机构(4)包括多个驱动块(42)以及驱使驱动块(42)间歇移动的第一驱动源(41),所述驱动块(42)滑动安装于导轨(2)上,且相邻两芯片承载架(3)之间有一个驱动块(42);所述导轨(2)包括两第一导轨(21)和两第二导轨(22),所述第一导轨(21)和第二导轨(22)交错分布,所述机架(1)上安装有驱使第一导轨(21)上下移动的第二驱动源(20),所述第二导轨(22)固定安装于机架(1)上,两第一导轨(21)和两第二导轨(22)形成封闭的环状结构,第一导轨(21)和第二个导轨(2)的端部上下滑动接触,所述第一驱动源(41)停止驱使驱动块(42)移动时,所述第二驱动源(20)驱使第一导轨(21)向下移动;所述机架(1)下端安装有用于盛装显影液的容器(5),所述容器(5)位于其中一个第一导轨(21)的下方;所述芯片承载架(3)包括连接杆(31)以及可拆卸安装于连接杆(31)上的芯片承载框(32),所述连接杆(31)的一端与导轨(2)滑动连接,所述连接杆(31)的另一端垂直连接有支撑杆(312),所述支撑杆(312)与连接杆(31)连接的一端靠近驱动块(42)移动的方向,所述芯片承载框(32)内安装有两伸缩杆(8),所述伸缩杆(8)包括外杆(81)以及滑动安装于外杆(81)内的内杆(82),所述外杆(81)固定安装于芯片承载框(32)内,芯片(30)位于两外杆(81)之间,两内杆(82)远离外杆(81)的一端连接有限位杆(9),所述限位杆(9)上转动安装有用于与支撑杆(312)挂接的挂钩(91),所述挂钩(91)与支撑杆(312)滑动连接,所述内杆(82)远离限位杆(9)的一端和外杆(81)之间设置有相互吸引的磁铁,所述芯片(30)进入容器(5)内时,所述内杆(82)和外杆(81)通过磁铁相互吸引;所述机架(1)下端安装有用于回收芯片承载框(32)的回收机构(6),所述回收机构(6)包括回收框(61)以及用于输送回收框(61)的输送带(62),所述输送带(62)上安装有用于驱使回收框(61)间歇移动的第三驱动源(63),所述回收框(61)固定安装于输送带(62)上,所述第二驱动源(20)开启时,第一驱动源(41)和第三驱动源(63)处于关闭状态,所述第二驱动源(20)关闭时,第一驱动源(41)和第三驱动源(63)先后开启;所述回收框(61)内留有供芯片承载框(32)插入的回收腔(613),所述回收框(61)内设置有用于固定芯片承载框(32)的固定件。2.根据权利要求1所述的一种芯片显影装置,其特征在于:所述固定件为固定杆(7),所述回收框(61)内开设有用于容纳固定杆(7)的容纳槽(611),所述回收框(61)内安装有用于驱使部分固定杆(7)伸出容纳槽(611)外的压缩弹簧(612),所述固定杆(7)开设有倾斜向上的斜面(71),所述芯片承载框(32)的下端与斜面(71)滑动连接。3.根据权利要求2所述的一种芯片显影装置,其特征在于:所述回收框(61)内开设有用于供芯片承载框(32)转离固定杆(7)时容纳芯片承载框(32)的转动槽(614)。4.根据权利要求3所述的一种芯片显影装置,其特征在于:所述外杆(81)上开设有用于供芯片(30)滑入的滑槽(812)。5.根据权利要求1所述的一种芯片显影装置,其特征在于:所述驱动机构(4)还包括有用于与第一驱动源(41)连接的转盘(43),转盘(43)转动安装于机架(1)上,所述转盘(43)上固定连接有用于推动驱动块(42)的推杆(431)。
6.根据权利要求1所述的一种芯片显影装置,其特征在于:所述内杆(82)上固定连接有导杆(821),外杆(81)开设有用于供导杆(821)滑动的导槽(811),导槽(811)沿外杆(81)的长度方向延伸。7.根据权利要求1所述的一种芯片显影装置,其特征在于:所述机架(1)下方安装有用于承接芯片承载框(32)和芯片(30)的回收平台(10)。8.根据权利要求7所述的一种芯片显影装置,其特征在于:所述回收平台(10)上安装有弹性垫。

技术总结
本申请公开了一种芯片显影装置,涉及芯片加工的技术领域,改善了人工成本耗费比较大的问题,其包括机架以及安装于机架上端上的导轨,导轨上滑动安装有多个芯片承载架,机架上安装驱动芯片承载架间歇滑动的驱动机构,导轨包括两第一导轨和两第二导轨,机架上安装有驱使第一导轨上下移动的第二驱动源,机架下端安装有用于盛装显影液的容器,机架下端安装有回收机构,回收机构包括回收框以及用于输送回收框的输送带,输送带上安装有第三驱动源,第二驱动源开启时,第一驱动源和第三驱动源处于关闭状态,第二驱动源关闭时,第一驱动源和第三驱动源先后开启。本申请的芯片能够自动向下进入显影液时,导轨上被处理好的芯片也能向下移动被重新回收。动被重新回收。动被重新回收。


技术研发人员:吴文明 周钦
受保护的技术使用者:深圳市比创达电子科技有限公司
技术研发日:2022.01.14
技术公布日:2022/3/18
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