光波导母版的制备方法、光波导及增强现实设备与流程

文档序号:30516727发布日期:2022-06-25 03:33阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种光波导母版的制备方法,其特征在于,包括:提供至少一个第一母版,每个所述第一母版具有至少一个第一光栅;采用所述至少一个第一母版制备至少两个光栅器件,所述光栅器件具有与所述第一光栅互补的第二光栅;提供承载层,将所述至少两个光栅器件设置在所述承载层的预设位置,并使所述第二光栅背离所述承载层设置,得到第二母版;以及采用所述第二母版制备所述光波导母版,所述光波导母版具有至少两个第三光栅,所述第三光栅与所述第二光栅互补,且所述第三光栅与所述第一光栅具有相同的结构。2.根据权利要求1所述的光波导母版的制备方法,其特征在于,所述采用所述至少一个第一母版作制备至少两个光栅器件,包括:在每个所述第一母版具有所述第一光栅的表面形成第一胶层;提供第一基材层,并在所述第一基材层上形成第一附着层;将具有所述第一附着层的所述第一基材层压合于具有所述第一胶层的第一母版上,并使所述第一附着层贴合于所述第一胶层;对所述第一胶层进行固化得到第一光栅层,去除所述第一母版,得到中间态压印母版,所述第一光栅层远离所述第一附着层的表面具有所述第二光栅;以及切下所述中间态压印母版上具有所述第二光栅的部分得到所述光栅器件,其中,所述光栅器件包括依次层叠设置的所述第一基材层、所述第一附着层及所述第一光栅层。3.根据权利要求2所述的光波导母版的制备方法,其特征在于,所述在每个所述第一母版具有所述第一光栅的表面形成第一胶层,包括:在每个所述第一母版具有所述第一光栅的表面涂覆粘度为3cp至10000cp的光固化胶液,并进行烘烤后,形成所述第一胶层,其中,所述光固化胶液包括丙烯酸酯;所述对所述第一胶层进行固化得到第一光栅层,包括:采用波长为365nm的紫外光,固化能量为1000mj/cm2至3000mj/cm2,对所述第一胶层进行光固化,以得到第一光栅层;所述第一附着层包括聚二甲基硅氧烷、硅烷偶联剂中的至少一种。4.根据权利要求1所述的光波导母版的制备方法,其特征在于,所述提供承载层包括:提供衬底层,并在所述衬底层的表面形成第二胶层;提供第二基材层,并在对所述第二基材层的表面形成第二附着层;将具有所述第二附着层的所述第二基材层压合于具有所述第二胶层的衬底层上,并使所述第二附着层贴合于所述第二胶层;以及对所述第二胶层进行固化得到固化胶层,去除所述衬底层,得到所述承载层,所述承载层包括依次层叠设置的所述第二基材层、所述第二附着层及所述固化胶层。5.根据权利要求4所述的光波导母版的制备方法,其特征在于,所述至少两个光栅器件包括耦入光栅器件及耦出光栅器件,所述将所述至少两个光栅器件设置在所述承载层的预设位置,包括:将所述耦入光栅器件通过第一粘接层设置于所述承载层的第一子位置,以及将所述耦出光栅器件通过第二粘接层设置于所述承载层的第二子位置,其中所述耦入光栅器件与所述耦出光栅器件设置于所述承载层的同侧,所述预设位置包括所述第一子位置及所述第二子位置。
6.根据权利要求4所述的光波导母版的制备方法,其特征在于,所述至少两个光栅器件包括耦入光栅器件、转折光栅器件及耦出光栅器件,所述将所述至少两个光栅器件设置在所述承载层的预设位置,包括:将所述耦入光栅器件通过第一粘接层设置于所述承载层的第一子位置;将所述耦出光栅器件通过第二粘接层设置于所述承载层的第二子位置;以及将所述转折光栅器件通过第三粘接层设置于所述承载层的第三子位置,其中所述耦入光栅器件、转折光栅及所述耦出光栅器件设置于所述承载层的同侧,所述预设位置包括所述第一子位置、所述第二子位置及所述第三子位置。7.根据权利要求1所述的光波导母版的制备方法,其特征在于,所述采用所述第二母版制备所述光波导母版,包括:在所述第二母版具有所述第二光栅的表面上形成第三胶层;提供第三基材层,并在所述第三基材层上形成第三附着层;将具有所述第三附着层的所述第三基材层压合于具有所述第三胶层的第二母版上,并使所述第三附着层贴合于所述第三胶层;以及对所述第三胶层进行固化得到第二光栅层,去除所述第二母版,得到所述光波导母版,其中,所述光波导母版包括依次层叠设置的第三基材层、第三附着层及第二光栅层,所述第二光栅层远离所述第三附着层的表面具有所述第三光栅。8.根据权利要求1所述的光波导母版的制备方法,其特征在于,所述第一光栅包括第一耦入光栅及第一耦出光栅;所述第三光栅包括第三耦入光栅及第三耦出光栅,所述第一母版的数量为一个,所述第一母版包括间隔设置的所述第一耦入光栅及所述第一耦出光栅,所述光波导母版包括间隔设置的所述第三耦入光栅及所述第三耦出光栅,所述第三耦入光栅与所述第一耦入光栅具有相同的结构,所述第三耦出光栅与所述第一耦出光栅具有相同的结构,所述第一母版上的所述第一耦入光栅与所述第一耦出光栅的相对位置与所述光波导母版上的所述第三耦入光栅及所述第三耦出光栅的相对位置不同或者所述第一母版上的所述第一耦入光栅与所述第一耦出光栅的距离与所述光波导母版上的所述第三耦入光栅及所述第三耦出光栅的距离不同。9.根据权利要求1所述的光波导母版的制备方法,其特征在于,所述第一光栅包括第一耦入光栅及第一耦出光栅;所述第三光栅包括第三耦入光栅及第三耦出光栅,所述第一母版的数量为两个,其中一个所述第一母版具有所述第一耦入光栅,另一个所述第一母版具有所述第一耦出光栅;所述光波导母版包括间隔设置的所述第三耦入光栅及所述第三耦出光栅,所述第三耦入光栅与所述第一耦入光栅具有相同的结构,所述第三耦出光栅与所述第一耦出光栅具有相同的结构。10.根据权利要求1所述的光波导母版的制备方法,其特征在于,所述提供至少一个第一母版,包括:采用电子束曝光或全息激光曝光制备所述至少一个第一母版。11.一种光波导,其特征在于,所述光波导采用光波导母版进行制备,所述光波导母版为权利要求1-10任一项所述的方法制得的光波导母版,所述光波导具有与所述至少两个第三光栅互补的光栅。12.一种增强现实设备,其特征在于,包括:
显示器,所述显示器用于出射光信号,所述光信号包括图像信息;镜头,所述镜头设置于所述显示器的显示面侧,用于对所述光信号进行调制;以及权利要求11所述的光波导,所述光波导设置于所述镜头背离所述显示器的一侧,用于将经所述镜头调制后的所述光信号传输。

技术总结
本申请提供一种光波导母版的制备方法、光波导及增强现实设备。所述制备方法包括:提供至少一个第一母版,每个所述第一母版具有至少一个第一光栅;采用所述至少一个第一母版制备至少两个光栅器件,所述光栅器件具有与所述第一光栅互补的第二光栅;提供承载层,将所述至少两个光栅器件设置在所述承载层的预设位置,并使所述第二光栅背离所述承载层设置,得到第二母版;以及采用所述第二母版制备所述光波导母版,所述光波导母版具有至少两个第三光栅,所述第三光栅与所述第二光栅互补,且所述第三光栅与所述第一光栅具有相同的结构。所述制备方法可以缩短光波导母版制备时间,缩短开发时间,且工艺成本低。且工艺成本低。且工艺成本低。


技术研发人员:谭伟
受保护的技术使用者:OPPO广东移动通信有限公司
技术研发日:2022.03.31
技术公布日:2022/6/24
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