一种液晶器件、光学调制装置和系统的制作方法

文档序号:36365523发布日期:2023-12-14 06:52阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种液晶器件,其特征在于,包括:硅基背板、液晶层、透明盖板、超构表面结构以及包覆层,其中,

2.根据权利要求1所述的液晶器件,其特征在于,所述液晶器件为硅基液晶lcos器件。

3.根据权利要求1或2所述的液晶器件,其特征在于,所述透明盖板上靠近所述液晶层的一侧包括电极层。

4.根据权利要求3所述的液晶器件,其特征在于,所述电极层为氧化铟锡ito层。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的液晶器件,其特征在于,所述硅基背板包括驱动电路、反射层和钝化层,所述反射层和钝化层位于所述超构表面结构和所述驱动电路之间。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的液晶器件,其特征在于,所述超构表面结构包括多个元胞,所述多个元胞中的每个元胞包括多个微纳结构,所述多个微纳结构的表面积沿同一方向逐渐增加。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的液晶器件,其特征在于,所述液晶器件包括多个所述超构表面结构,其中,任意两个所述超构表面结构位于所述硅基背板的区域不同,且任意两个所述超构表面结构的元胞的周期不同。

8.根据权利要求7所述的液晶器件,其特征在于,任意两个所述超构表面结构的元胞内的微纳结构的数量不同。

9.根据权利要求7或8所述的液晶器件,其特征在于,任意两个所述超构表面结构的元胞内的微纳结构的尺寸不同,其中,所述微纳结构的尺寸大于或等于入射光波长的四分之一,且小于或等于所述入射光波长的二分之一。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的液晶器件,其特征在于,所述液晶器件还包括反射器件,其中:

11.根据权利要求6至10中任一项所述的液晶器件,其特征在于,所述微纳结构的形状包括矩形、圆柱形或椭圆柱形中的至少一个。

12.根据权利要求6至11中任一项所述的液晶器件,其特征在于,所述微纳结构的材料包括金、银、铝、硅、氮化镓或氧化钛中的至少一个。

13.一种光学调制装置,其特征在于,包括:

14.根据权利要求13所述的光学调制装置,其特征在于,所述光学调制装置应用于波长选择开关wss。

15.一种光学调制系统,其特征在于,包括:如权利要求13或14所述的光学调制装置。

16.一种液晶器件调制方法,其特征在于,包括:

17.根据权利要求16所述的方法,其特征在于,所述超构表面结构包括多个元胞,所述多个元胞中的每个元胞包括多个微纳结构,所述多个微纳结构的表面积沿同一方向逐渐增加。

18.根据权利要求16或17所述的方法,其特征在于,所述液晶器件包括多个所述超构表面结构,其中,任意两个所述超构表面结构位于所述硅基背板的不同区域,且任意两个所述超构表面结构的元胞的周期不同。

19.根据权利要求18所述的方法,其特征在于,任意两个所述超构表面结构的元胞内的微纳结构的数量不同。

20.根据权利要求18或19所述的方法,其特征在于,任意两个所述超构表面结构的元胞内的微纳结构的尺寸不同,其中,所述微纳结构的尺寸大于或等于所述入射光波长的四分之一,且小于或等于所述入射光波长的二分之一。


技术总结
本申请实施例提供了一种液晶器件、光学调制装置和系统,应用在波长选择开关、激光雷达、无人驾驶、激光显示等领域。该液晶器件包括硅基背板、液晶层、透明盖板、超构表面结构以及包覆层。其中,液晶层位于透明盖板和包覆层之间,包覆层位于超构表面结构和液晶层之间,超构表面结构位于包覆层与硅基背板之间。本申请所揭示的器件,通过制备超构表面结构以产生预倾角,并结合传统LCoS器件的液晶层调制范围,提升整体光束角度扫描范围,即实现液晶器件(例如,LCoS)的大角度偏转,同时保持低插损。

技术研发人员:李健雄,陈瑞山,宗良佳
受保护的技术使用者:华为技术有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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