1.一种液晶器件,其特征在于,包括:硅基背板、液晶层、透明盖板、超构表面结构以及包覆层,其中,
2.根据权利要求1所述的液晶器件,其特征在于,所述液晶器件为硅基液晶lcos器件。
3.根据权利要求1或2所述的液晶器件,其特征在于,所述透明盖板上靠近所述液晶层的一侧包括电极层。
4.根据权利要求3所述的液晶器件,其特征在于,所述电极层为氧化铟锡ito层。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的液晶器件,其特征在于,所述硅基背板包括驱动电路、反射层和钝化层,所述反射层和钝化层位于所述超构表面结构和所述驱动电路之间。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的液晶器件,其特征在于,所述超构表面结构包括多个元胞,所述多个元胞中的每个元胞包括多个微纳结构,所述多个微纳结构的表面积沿同一方向逐渐增加。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的液晶器件,其特征在于,所述液晶器件包括多个所述超构表面结构,其中,任意两个所述超构表面结构位于所述硅基背板的区域不同,且任意两个所述超构表面结构的元胞的周期不同。
8.根据权利要求7所述的液晶器件,其特征在于,任意两个所述超构表面结构的元胞内的微纳结构的数量不同。
9.根据权利要求7或8所述的液晶器件,其特征在于,任意两个所述超构表面结构的元胞内的微纳结构的尺寸不同,其中,所述微纳结构的尺寸大于或等于入射光波长的四分之一,且小于或等于所述入射光波长的二分之一。
10.根据权利要求7至9中任一项所述的液晶器件,其特征在于,所述液晶器件还包括反射器件,其中:
11.根据权利要求6至10中任一项所述的液晶器件,其特征在于,所述微纳结构的形状包括矩形、圆柱形或椭圆柱形中的至少一个。
12.根据权利要求6至11中任一项所述的液晶器件,其特征在于,所述微纳结构的材料包括金、银、铝、硅、氮化镓或氧化钛中的至少一个。
13.一种光学调制装置,其特征在于,包括:
14.根据权利要求13所述的光学调制装置,其特征在于,所述光学调制装置应用于波长选择开关wss。
15.一种光学调制系统,其特征在于,包括:如权利要求13或14所述的光学调制装置。
16.一种液晶器件调制方法,其特征在于,包括:
17.根据权利要求16所述的方法,其特征在于,所述超构表面结构包括多个元胞,所述多个元胞中的每个元胞包括多个微纳结构,所述多个微纳结构的表面积沿同一方向逐渐增加。
18.根据权利要求16或17所述的方法,其特征在于,所述液晶器件包括多个所述超构表面结构,其中,任意两个所述超构表面结构位于所述硅基背板的不同区域,且任意两个所述超构表面结构的元胞的周期不同。
19.根据权利要求18所述的方法,其特征在于,任意两个所述超构表面结构的元胞内的微纳结构的数量不同。
20.根据权利要求18或19所述的方法,其特征在于,任意两个所述超构表面结构的元胞内的微纳结构的尺寸不同,其中,所述微纳结构的尺寸大于或等于所述入射光波长的四分之一,且小于或等于所述入射光波长的二分之一。