技术特征：
1.一种光掩膜版的缺陷识别方法，其特征在于，包括：对目标光掩膜版进行图案扫描，得到目标光掩膜版上各个目标区域的信号强度；其中所述目标光掩膜版上的图案是对原光掩膜版上的图案中对应于曝光单元的不同行或不同列的图案以不同的曝光能量进行曝光而得到；基于各个目标区域的信号强度，得到目标光掩膜版的缺陷信息；基于目标光掩膜版的缺陷信息，得到原光掩模版的缺陷信息。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于各个目标区域的信号强度，得到目标光掩膜版的缺陷信息，包括：对于所述各目标区域中的任意一个目标区域；基于所述任意一个目标区域和与其相邻的至少一个目标区域的信号强度，从所述各个目标区域中，确定出目标光掩膜版的缺陷区域；将所述缺陷区域作为所述目标光掩膜版的缺陷信息。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于各个目标区域的信号强度，得到目标光掩膜版的缺陷信息，包括：将各目标区域划分为多个子区域；基于第一目标区域的各子区域的信号强度和与第一目标区域相邻的至少一个第二目标区域的各子区域的信号强度，从各目标区域的各子区域中，确定出目标光掩膜版的缺陷区域；其中所述第一目标区域为所述各目标区域中的任意一个区域；将所述缺陷区域作为所述目标光掩膜版的缺陷信息。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述各目标区域包括第一类区域；如果第一类区域中存在一子区域的信号强度大于与所述第一类区域相邻的一第二目标区域的对应子区域的信号强度、且所述子区域的信号强度和所述对应子区域的信号强度之差大于或等于第一强度阈值，则确定所述第一类区域中存在的所述子区域为目标光掩膜版的缺陷区域。5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述各目标区域包括第二类区域；如果第二类区域中存在一子区域的信号强度和与所述第二类区域相邻的两个或多个第二目标区域中每个第二目标区域的对应子区域的信号强度的差值的绝对值均大于或等于第二强度阈值，则确定所述第二类区域中存在的所述子区域为所述目标光掩膜版的缺陷区域。6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于目标光掩膜版的缺陷信息，得到原光掩模版的缺陷信息，包括：将目标光掩膜版的缺陷信息作为原光掩模版的缺陷信息。7.一种光掩膜版的缺陷识别装置，其特征在于，包括：第一获得单元，用于对目标光掩膜版进行图案扫描，得到目标光掩膜版上各个目标区域的信号强度；其中所述目标光掩膜版上的图案至少是对原光掩膜版上的图案中对应于曝光单元的不同行的图案以不同的曝光能量进行曝光而得到；所述目标光掩膜版上的各目标区域与所述曝光单元的各子单元对应，且所述目标光掩膜版上对应于曝光单元的不同行的目标区域的信号强度不同；第二获得单元，用于基于各个目标区域的信号强度，得到目标光掩膜版的缺陷信息；
第三获得单元，用于基于目标光掩膜版的缺陷信息，得到原光掩模版的缺陷信息。8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述第二获得单元，用于将各目标区域划分为多个子区域；基于第一目标区域的各子区域的信号强度和与第一目标区域相邻的至少一个第二目标区域的各子区域的信号强度，从各目标区域的各子区域中，确定出目标光掩膜版的缺陷区域；所述第一目标区域为所述各目标区域中的任意一个区域；将所述缺陷区域作为所述光掩膜版的缺陷信息。9.一种电子设备，其特征在于，包括：至少一个处理器；以及与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行权利要求1-6中任一项所述的方法。10.一种存储有计算机指令的非瞬时计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机指令用于使所述计算机执行根据权利要求1-6中任一项所述的方法。
技术总结
本申请公开了一种光掩膜版缺陷识别方法、装置、电子设备及存储介质，其中所述方法包括：对目标光掩膜版进行图案扫描，得到目标光掩膜版上各个目标区域的信号强度；其中所述目标光掩膜版上的图案是对原光掩膜版上的图案中对应于曝光单元的不同行或不同列的图案以不同的曝光能量进行曝光而得到；基于各个目标区域的信号强度，得到目标光掩膜版的缺陷信息；基于目标光掩膜版的缺陷信息，得到原光掩模版的缺陷信息。缺陷信息。缺陷信息。
技术研发人员：杨刘标
受保护的技术使用者：杭州富芯半导体有限公司
技术研发日：2022.12.12
技术公布日：2023/3/31