平面反射镜四维高精度调整台的制作方法

1.本实用新型涉及光学技术领域，尤其涉及平面反射镜四维高精度调整台。


背景技术：

2.在光学领域当中，在做实验的时候平面反射镜需要调整，尤其对大型平面镜这领域，目前市场上有的调整架的定位精度较低，无法满足高定位精度的使用要求，针对以上问题，我们设计了明平面反射镜四维高精度调整台。
3.为此，我们提出平面反射镜四维高精度调整台。


技术实现要素：

4.本实用新型主要是解决上述现有技术所存在的技术问题，提供平面反射镜四维高精度调整台。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案，平面反射镜四维高精度调整台，包括带零点定位座的滑鞍、升降装置、前后俯仰装置、水平回转装置、水平移动装置、俯仰底板、第一支撑侧轴承座、第一滚珠丝杠、第一滑块、螺母固定座、第一螺母、第一直线导轨、第一固定侧轴承座、第一联轴器、第一伺服电机、第一涡轮蜗杆减速器、左侧肋板、右侧肋板、支撑座、旋转轴、大齿轮、小齿轮、第二涡轮蜗杆减速器、第二伺服电机、旋转底板、第二支撑侧轴承座、连接板、凸轮随动器固定板、凸轮随动器、第一安装座、第三伺服电机、第一减速器、第二联轴器、第二固定侧轴承座、第二滚珠丝杠、第二螺母、滑动槽、第一过渡支架、第二滑块、第二直线导轨、移动滑鞍、回转支撑、过渡垫、第三支撑侧轴承座、第三直线导轨、第三滑块、基座、第二过渡支架、第三螺母、第三滚珠丝杠、第三固定侧轴承座、第三联轴器、第二安装座、第二减速器、第四伺服电机，平面反射镜通过零点定位器与带零点定位座的滑鞍连接在一起，带零点定位座的滑鞍固定在第一滑块上，第一直线导轨固定在俯仰底板上，第一滚珠丝杠通过第一支撑侧轴承座和第一固定侧轴承座固定在俯仰底板上，第一螺母通过螺母固定座与带零点定位座的滑鞍连接在一起，第一涡轮蜗杆减速器固定在俯仰底板上，第一涡轮蜗杆减速器的输出轴通过第一联轴器与第一滚珠丝杠的输入端连接；
6.所述第一涡轮蜗杆减速器的输入端与第一伺服电机连接，左侧肋板和右侧肋板的一端与俯仰底板连接在一起，旋转轴设置在支撑座上，支撑座与旋转底板连接在一起，大齿轮固定旋转轴上，小齿轮固定在第二涡轮蜗杆减速器的输出轴上，第二涡轮蜗杆减速器设置在旋转底板上，第二伺服电机与第二涡轮蜗杆减速器的输入轴连接；
7.所述回转支撑的旋转部分通过过渡垫与旋转底板连接在一起，回转支撑的本体固定在移动滑鞍上，凸轮随动器通过凸轮随动器固定板与旋转底板连接在一起，滑动槽底板设置在第一过渡支架上，第二螺母固定在第一过渡支架上，第二滚珠丝杠分别由第二支撑侧轴承座和第二固定侧轴承座固定在移动滑鞍上，第一减速器通过第一安装座固定在移动滑鞍上，同时第一减速器的输出轴通过第二联轴器与第二滚珠丝杠连接，第一减速器的输入端与第三伺服电机连接；
8.所述第二直线导轨固定在移动滑鞍上，第二滑块通过连接板与第一过渡支架固定在一起，第三直线导轨固定在基座上，移动滑鞍固定在第三滑块上，第三滚珠丝杠通过第三支撑侧轴承座和第三固定侧轴承座固定在基座上，第二减速器通过第二安装座固定在基座上，第二减速器的输出轴通过第三联轴器与第三滚珠丝杠连接在一起，第二减速器的输入端与第四伺服电机连接在一起。
9.进一步，所述左侧肋板和右侧肋板的另一端与旋转轴的两端连接在一起，并与旋转轴连成一个整体。
10.进一步，所述旋转轴通过深沟球轴承固定在支撑座上。
11.进一步，所述滑动槽两侧内壁与凸轮随动器配合，凸轮随动器可以沿着滑动槽的内壁滑动。
12.进一步，所述滑动槽底板通过螺栓固定在第一过渡支架上。
13.有益效果
14.本实用新型提供了平面反射镜四维高精度调整台。具备以下有益效果：
15.该平面反射镜四维高精度调整台，面反射镜四维高精度调整台主要升降装置、前后俯仰装置、水平回转装置，水平移动装置等四个自由度部分组成，大型平面镜安装面与升降装置通过零点定位器连接，实现上下位移的调整，升降装置固定在前后俯仰装置上，通过驱动前后俯仰装置，实现平面反射镜的前后俯仰角度的调整，前后俯仰装置固定在水平回转装置上，驱动水平回转装置，实现水平方向回转角度的调整，水平回转装置固定在水平移动装置上，驱动水平移动装置，实现水平位移的调整功能，各个自由度独立控制并各自定位精度高，从而具备四维高定位精度的调整功能。
附图说明
16.本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义。
17.图1为本实用新型的整体结构图；
18.图2为本实用新型的升降装置的结构图；
19.图3为本实用新型的前后俯仰装置的结构图；
20.图4为本实用新型的水平回转装置的结构图；
21.图5为本实用新型的水平移动装置的结构图。
22.图例说明：
23.1、带零点定位座的滑鞍；2、升降装置；21、俯仰底板；22、第一支撑侧轴承座；23、第一滚珠丝杠；24、第一滑块；25、螺母固定座；26、第一螺母；27、第一直线导轨；28、第一固定侧轴承座；29、第一联轴器；210、第一伺服电机；211、第一涡轮蜗杆减速器；3、前后俯仰装置；31、左侧肋板；32、右侧肋板；33、支撑座；34、旋转轴；35、大齿轮；36、小齿轮； 37、第二涡轮蜗杆减速器；38、第二伺服电机；39、旋转底板；4、水平回转装置；41、第二支撑侧轴承座；42、连接板；43、凸轮随动器固定板；44、凸轮随动器；45、第一安装座；46、第三伺服电机；47、第一减速器；48、第二联轴器；49、第二固定侧轴承座；410、第二滚珠丝杠；411、第二螺母； 412、滑动槽；413、第一过渡支架；414、第二滑块；415、第二直线导轨； 416、移动滑鞍；417、
回转支撑；418、过渡垫；5、水平移动装置；51、第三支撑侧轴承座；52、第三直线导轨；53、第三滑块；54、基座；55、第二过渡支架；56、第三螺母；57、第三滚珠丝杠；58、第三固定侧轴承座； 59、第三联轴器；510、第二安装座；511、第二减速器；512、第四伺服电机。
具体实施方式
24.平面反射镜四维高精度调整台，如图1-图5所示，包括带零点定位座的滑鞍1、升降装置2、前后俯仰装置3、水平回转装置4、水平移动装置5、俯仰底板21、第一支撑侧轴承座22、第一滚珠丝杠23、第一滑块24、螺母固定座25、第一螺母26、第一直线导轨27、第一固定侧轴承座28、第一联轴器29、第一伺服电机210、第一涡轮蜗杆减速器211、左侧肋板31、右侧肋板32、支撑座33、旋转轴34、大齿轮35、小齿轮36、第二涡轮蜗杆减速器37、第二伺服电机38、旋转底板39、第二支撑侧轴承座41、连接板 42、凸轮随动器固定板43、凸轮随动器44、第一安装座45、第三伺服电机46、第一减速器47、第二联轴器48、第二固定侧轴承座49、第二滚珠丝杠410、第二螺母411、滑动槽412、第一过渡支架413、第二滑块 414、第二直线导轨415、移动滑鞍416、回转支撑417、过渡垫418、第三支撑侧轴承座51、第三直线导轨52、第三滑块53、基座54、第二过渡支架55、第三螺母56、第三滚珠丝杠57、第三固定侧轴承座58、第三联轴器59、第二安装座510、第二减速器511、第四伺服电机512，平面反射镜通过零点定位器与带零点定位座的滑鞍1连接在一起，带零点定位座的滑鞍1 固定在第一滑块24上，第一直线导轨27固定在俯仰底板21上，通过第一直线导轨27和带零点定位座的滑鞍1的配合可以实现平面反射镜在俯仰底板21 上做上下移动功能，第一滚珠丝杠23通过第一支撑侧轴承座22和第一固定侧轴承座28固定在俯仰底板21上，第一螺母26通过螺母固定座25与带零点定位座的滑鞍1连接在一起，第一涡轮蜗杆减速器211固定在俯仰底板21 上，第一涡轮蜗杆减速器211的输出轴通过第一联轴器29与第一滚珠丝杠23 的输入端连接，第一涡轮蜗杆减速器211的输入端与第一伺服电机210连接，当第一伺服电机210旋转时通过第一涡轮蜗杆减速器211带动第一滚珠丝杠 23旋转，从而带零点定位座的滑鞍1跟着第一螺母26一起做上下移动，最终实现平面镜的升降功能。
25.左侧肋板31和右侧肋板32的一端与俯仰底板21连接在一起，左侧肋板 31和右侧肋板32的另一端与旋转轴34的两端连接在一起，并与旋转轴34连成一个整体，旋转轴34通过深沟球轴承固定在支撑座33上，支撑座33与旋转底板39连接在一起，因此整个升降装置2可以绕旋转轴34的中心做旋转运动，从而可以实现平面反射镜的前后俯仰角度调整功能，大齿轮35固定旋转轴34上，小齿轮36固定在第二涡轮蜗杆减速器37的输出轴上，第二涡轮蜗杆减速器37设置在旋转底板39上，第二伺服电机38与第二涡轮蜗杆减速器37的输入轴连接，当第二伺服电机38旋转时，带动小齿轮36旋转，小齿轮36带动大齿轮35旋转，从而间接整个反射镜系统绕旋转轴旋转,最终实现反射镜的前后俯仰角度调整功能，回转支撑417的旋转部分通过过渡垫418 与旋转底板39连接在一起，回转支撑417的本体固定在移动滑鞍416上，从而实现旋转底板39在移动滑鞍416上绕回转支撑中心回转。
26.凸轮随动器44通过凸轮随动器固定板43与旋转底板39连接在一起，滑动槽412两侧内壁与凸轮随动器44配合，凸轮随动器44可以沿着滑动槽412 的内壁滑动，滑动槽412底板通过螺栓固定在第一过渡支架413上，第二螺母411固定在第一过渡支架413上，第二滚珠丝杠410分别由第二支撑侧轴承座41和第二固定侧轴承座49固定在移动滑鞍416上，第一减
速器47通过第一安装座45固定在移动滑鞍416上，同时第一减速器47的输出轴通过第二联轴器48与第二滚珠丝杠410连接，第一减速器47的输入端与第三伺服电机46连接，当第三伺服电机46旋转时带动第二滚珠丝杠410旋转，从此第二螺母411带动滑动槽412沿着第二滚珠丝杠410轴方向移动，滑动槽412 推动凸轮随动器44移动，从而间接推动旋转底板39绕回转支撑中心做回转运动，最终实现平面反射镜的水平摆动角度的调整功能。其中，第二直线导轨415固定在移动滑鞍416上，第二滑块414通过连接板42与第一过渡支架 413固定在一起，从此第二滑块414跟着第二螺母411一起移动的同时，也起到了防止第二螺母411旋转，第三直线导轨52固定在基座54上，移动滑鞍 416固定在第三滑块53上，因此通过第三直线导轨52和第三滑块53的配合，移动滑鞍416可以在基座54上跟着滑鞍一起滑动，第三滚珠丝杠57通过第三支撑侧轴承座51和第三固定侧轴承座58固定在基座54上，第二减速器511 通过第二安装座510固定在基座54上，第二减速器511的输出轴通过第三联轴器59与第三滚珠丝杠57连接在一起，其第二减速器511的输入端与第四伺服电机512连接在一起，当第四伺服电机512旋转，带动第三螺母56运动，从而实现整个平面镜系统的水平移动功能。
27.面反射镜四维高精度调整台主要升降装置2、前后俯仰装置3、水平回转装置4，水平移动装置5等四个自由度部分组成，大型平面镜安装面与升降装置2通过零点定位器连接，实现上下位移的调整，升降装置2固定在前后俯仰装置3上，通过驱动前后俯仰装置3，实现平面反射镜的前后俯仰角度的调整，前后俯仰装置3固定在水平回转装置4上，驱动水平回转装置4，实现水平方向回转角度的调整，水平回转装置4固定在水平移动装置5上，驱动水平移动装置5，实现水平位移的调整功能，各个自由度独立控制并各自定位精度高，从而具备四维高定位精度的调整功能。
28.本实用新型实现了四个自由度的调整，本实用新型主要针对大型平面镜，重量约500kg，并且本实用新型的位移重复定位精度001mm，分辨率0001mm，本实用新型的角度重复定位精度10
″
，角度分辨率1
″
。
29.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。