感光性组合物及其制造方法、硬化物及其制造方法、显示元件以及聚酰亚胺与流程

本发明涉及一种感光性组合物及其制造方法、硬化物及其制造方法、显示元件以及聚合体。

背景技术：

1、作为制造显示器件所具有的层间绝缘膜或平坦化膜等硬化膜的方法，近年来，光刻法成为主流。在通过光刻法来制造显示器件的硬化膜的情况下，通常采用如下方法：将含有聚合体、感光性化合物及溶剂的感光性组合物涂布于基板上而形成涂膜后，介隔具有规定的开口图案的光掩模进行曝光，继而，与显影液接触而将曝光部或未曝光部溶解去除，由此形成经图案化的硬化膜的方法。另外，在使用有机电致发光(有机el(electroluminescence，el))元件的显示器件中，可利用隔离壁(也称为堤(bank))来划分显示区域，并在隔离壁间涂布有机发光物质来形成有机发光层。近年来，另外，隔离壁也可通过使用感光性组合物的光刻法来形成(例如，参照专利文献1或专利文献2)。

2、在专利文献1中公开了：利用与特定的溶剂、感光性酸产生剂及交联剂一起含有聚酰亚胺的感光性树脂组合物来形成半导体元件的层间绝缘膜或表面保护膜，所述聚酰亚胺包含源自特定的脂肪族四羧酸二酐的结构单元与源自二氨基聚硅氧烷的结构单元。另外，在专利文献2中公开了：利用与感光剂一起含有作为碱可溶性树脂的聚酰亚胺的感光性树脂组合物来形成有机el显示装置的平坦化层及像素分割层，所述聚酰亚胺包含源自具有硅原子的二胺的结构单元。

3、[现有技术文献]

4、[专利文献]

5、[专利文献1]国际公开第2007/052540号

6、[专利文献2]日本专利特开2021-39295号公报

技术实现思路

1、[发明所要解决的问题]

2、作为显示器件的新方式，近年来，提出了能够折叠的(foldable)移动电话或智能手机、平板终端。能够折叠的显示器件能紧凑地搬运，同时可确保宽的显示画面，便利性高，另一方面，应力容易集中于折曲部，在折曲部容易产生硬化膜的浮起或剥离。考虑到此种新方式的显示器件，作为显示器件所具有的硬化膜，要求可以较以往更严格的基准确保与基板的密接性。

3、另外，认为从硬化膜产生的逸气对显示器件的可靠性造成影响。特别是，有机el元件被要求更高精细，且需要尽可能减低从硬化膜产生的逸气。

4、本发明是鉴于所述课题而成，其目的之一在于提供一种可获得与基板的密接性高且逸气的产生少的硬化物的感光性组合物。

5、[解决问题的技术手段]

6、通过本发明，可提供以下的感光性组合物及其制造方法、硬化物及其制造方法、显示元件以及聚合体。

7、[1]一种感光性组合物，含有[a]聚酰亚胺、[b]感光性化合物及[c]溶剂，所述[a]聚酰亚胺中，相对于所述[a]聚酰亚胺所具有的源自四羧酸二酐的结构单元的总量，源自脂肪族四羧酸二酐的结构单元的比例为60摩尔％以上，相对于所述[a]聚酰亚胺所具有的源自二胺化合物的结构单元的总量，源自具有选自由酚性羟基、羧基、硫酚基及磺基所组成的群组中的至少一种基的特定二胺的结构单元的比例为30摩尔％以上，且相对于所述[a]聚酰亚胺所具有的源自四羧酸二酐的结构单元与源自二胺化合物的结构单元的总量，源自具有磺酰基的单量体的结构单元的比例未满25摩尔％。

8、[2]一种感光性组合物的制造方法，制造所述[1]的感光性组合物，且所述方法包括：聚合工序，使四羧酸二酐与二胺化合物在所述[c]溶剂中反应来获得含有所述[a]聚酰亚胺的溶液；以及混合工序，直接使用通过所述聚合工序而获得的含有所述[a]聚酰亚胺的聚合体溶液，将所述聚合体溶液与所述[b]感光性化合物混合。

9、[3]一种硬化物的制造方法，包括：使用所述[1]的感光性组合物来形成涂膜的工序；对所述涂膜的至少一部分照射放射线的工序；对放射线照射后的所述涂膜进行显影的工序；以及对经显影的所述涂膜进行加热的工序。

10、[4]一种硬化物，是使用所述[1]的感光性组合物而形成。

11、[5]一种显示元件，包括所述[4]的硬化物。

12、[6]一种聚酰亚胺，所述聚酰亚胺中，相对于所述聚酰亚胺所具有的源自四羧酸二酐的结构单元的总量，源自脂肪族四羧酸二酐的结构单元的比例为60摩尔％以上，相对于所述聚酰亚胺所具有的源自二胺化合物的结构单元的总量，源自具有酚性羟基的二胺的结构单元的比例为30摩尔％以上，相对于所述聚酰亚胺所具有的源自四羧酸二酐的结构单元与源自二胺化合物的结构单元的总量，源自具有磺酰基的单量体的结构单元的比例未满25摩尔％。

13、[发明的效果]

14、根据本发明的感光性组合物，可获得与基板的密接性高且逸气的产生少的硬化物。

技术特征：

1.一种感光性组合物，含有：

2.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，所述特定二胺具有选自由芴环结构、茚环结构、茚满环结构、内酯环结构、类固醇结构及卤化烷基结构所组成的群组中的至少一种部分结构。

3.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，所述特定二胺的分子量为300以上。

4.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，所述[a]聚酰亚胺还包含源自具有选自由芴环结构、茚环结构、茚满环结构、内酯环结构、类固醇结构及卤化烷基结构所组成的群组中的至少一种部分结构的二胺的结构单元，其中所述特定二胺除外。

5.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，所述[b]感光性化合物为醌二叠氮化合物。

6.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，所述[a]聚酰亚胺的酰亚胺化率为10％以上。

7.根据权利要求1所述的感光性组合物，含有单羧酸化合物。

8.根据权利要求7所述的感光性组合物，其中，单羧酸化合物的含有比例为0.001质量％以上且7.0质量％以下。

9.根据权利要求1所述的感光性组合物，其用于层间绝缘膜、平坦化膜或隔离壁形成用途。

10.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，所述[a]聚酰亚胺包含源自选自由1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐、1,2,3,4-环丁烷四羧酸二酐、1,3-二甲基-1,2,3,4-环丁烷四羧酸二酐、1,2,3,4-四甲基-1,2,3,4-环丁烷四羧酸二酐、2,3,5-三羧基环戊基乙酸二酐、5-(2,5-二氧代四氢呋喃-3-基)-3a,4,5,9b-四氢萘并[1,2-c]呋喃-1,3-二酮、5-(2,5-二氧代四氢呋喃-3-基)-8-甲基-3a,4,5,9b-四氢萘并[1,2-c]呋喃-1,3-二酮、2,4,6,8-四羧基双环[3.3.0]辛烷-2:4,6:8-二酐、环戊烷四羧酸二酐及环己烷四羧酸二酐所组成的群组中的至少一种的结构单元。

11.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，所述[c]溶剂包含选自由非质子性极性溶媒及酚性溶媒所组成的群组中的至少一种。

12.根据权利要求11所述的感光性组合物，其中，所述[c]溶剂还包含选自由醇类、酮类、酯类及醚类所组成的群组中的至少一种。

13.根据权利要求1所述的感光性组合物，还含有交联剂。

14.一种感光性组合物的制造方法，制造如权利要求1至13中任一项所述的感光性组合物，且所述方法包括：

15.根据权利要求14所述的感光性组合物的制造方法，其中，所述聚合工序为通过使用酸酐的化学酰亚胺化来制造所述[a]聚酰亚胺的工序。

16.一种硬化物的制造方法，包括：

17.一种硬化物，是使用如权利要求1至13中任一项所述的感光性组合物而形成。

18.根据权利要求17所述的硬化物，是层间绝缘膜、平坦化膜或隔离壁。

19.一种显示元件，包括如权利要求18所述的硬化物。

20.一种聚酰亚胺，所述聚酰亚胺中，

技术总结
本发明提供一种可获得与基板的密接性高且逸气的产生少的硬化物的感光性组合物及其制造方法、硬化物及其制造方法、显示元件以及聚酰亚胺。一种感光性组合物，含有[A]聚酰亚胺、[B]感光性化合物及[C]溶剂，[A]聚酰亚胺中，相对于源自四羧酸二酐的结构单元的总量，源自脂肪族四羧酸二酐的结构单元的比例为60摩尔％以上，相对于源自二胺化合物的结构单元的总量，源自具有选自由酚性羟基、羧基、硫酚基及磺基所组成的群组中的至少一种基的二胺的结构单元的比例为30摩尔％以上，且相对于源自四羧酸二酐的结构单元与源自二胺化合物的结构单元的总量，源自具有磺酰基的单量体的结构单元的比例未满25摩尔％。

技术研发人员：樫下幸志
受保护的技术使用者：JSR株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15