一种光罩数据比对方法、系统、设备及存储介质与流程

本公开实施例涉及半导体，具体涉及一种光罩数据比对方法、系统、设备及存储介质。

背景技术：

1、在形成用于光刻技术的mask(光罩或称掩模)时，需形成或设计测试结构(或ic)的布局。ic的布局以数据格式形成，例如，由半导体设备和半导体公司提出的图形数据系统(gds或gdsii)或开放图稿系统互换标准(oasis或oas)。目前在制作一张mask的过程中，需要对gds或oas格式的原数据图形进行boolean(整合)&fracture(拆分)操作，其中，boolean操作是将所有需求设计的图层(gds或oas格式的原数据图形)整合为同一层，fracture操作是将整合为同一层后形成的图形拆分为可被机器描写的图形大小，如矩形和三角形。

2、为了将需求图形更好地呈现在mask上，还需要让图形的边界更多地落在格点上，所以在fracture过程中难以避免的要对图形进行一定的shift(扭转)动作，shift动作具体是对图形的边界进行拖拽，使图形更多地落在格点上。

3、光罩厂在对原数据处理完毕后会回传数据至厂内，进行图形数据确认，即需要叠对数据；数据叠对后会输出xor(异或运算)结果，其中，叠对数据是将光罩厂处理后的图形与原始数据进行对比，例如一个正方形的数据，在相应运算后得到新的数据，将两个图形用一个软件同时打开进行比对。

4、传统的xor结果检查都是通过人眼去比对，由于斜线图形边界容易不在格点上，在光罩厂进行数据处理时为了使图形更多地落在格点上需要对图形进行拖拽，导致斜线更容易与原始数据有差异，因此在人眼比对斜线图形时，xor结果很大，即会出现很多不相同的地方；传统的检查方法困难点在于：(1)人眼无法做到一一查看，并且此类check(检查)过程浪费时间；(2)人眼确认还需要将xor结果用软件打开，会占用license(打开使用软件需要的资源)，占用时间长，不利于软件资源的快速释放和有效利用；(3)xor结果中往往包含大量的差异点，上万的差异点通过人眼很难做到每个差异点无遗漏的check；若此时有图形超出一个格点的差异，会有较大风险被遗漏，检查过程中若发生遗漏会影响光罩制作的准确性，导致后续制程中出现cd(criticlal dimension，图形关键尺寸)值不匹配甚至导致光罩制作不良。

技术实现思路

1、本公开实施例提供一种光罩数据比对方法、系统、设备及存储介质，以解决或缓解现有技术中的xor结果确认过程所造成的效率低、人力浪费、风险高和软件资源占用等问题，确保检查xor结果无遗漏，全面覆盖；减少对软件资源的占用，释放进程；及时拦截xor结果中不满足规则的部分，进一步确保光罩制作的准确性，以免影响后续整个晶圆上的制程并造成不良。

2、根据本公开的一个方面，提供一种光罩数据比对方法，包括：

3、s1将处理后的图形数据与原始数据进行对比，生成异或运算结果文件；

4、s2对异或运算结果文件进行预处理，形成预处理文件；

5、s3遍历预处理文件中差异图形的位置，输出不同图形类型对应的图形尺寸与格点关系；

6、s4设定每种产品类别对应的异或运算结果判定规则；

7、s5根据图形尺寸与格点的关系，基于产品类别对应的异或运算结果判定规则，获取判定结果。

8、在一种可能的实现方式中，的s2对异或运算结果文件进行预处理，形成预处理文件包括：

9、s20判断异或运算结果文件的数据量是否大于数据量阈值；

10、s21当异或运算结果文件的数据量大于数据量阈值，则对图形进行缩小处理；

11、s22当缩小处理后的图形的差异点满足设定要求，则将缩小处理后的图形清除；

12、s23将异或运算结果文件转化为图形数据系统文件；

13、s24将图形数据系统文件转化为十六进制文本。

14、在一种可能的实现方式中，的s3遍历预处理文件中差异图形的位置，输出不同图形类型对应的图形尺寸与格点关系包括：

15、s30根据图形数据系统的标准文件识别十六进制文本，获取图形类型和图形尺寸；

16、s31根据产品参数设定格点；

17、s32建立每个图形类型对应的图形尺寸与格点关系判别规则；

18、s33遍历差异图形的位置，根据图形类型对应的图形尺寸与格点关系判别规则，输出图形尺寸与格点关系。

19、在一种可能的实现方式中，的s30根据图形数据系统的标准文件识别十六进制文本，获取图形类型和图形尺寸包括：

20、s300识别十六进制文本，获取图形单位数据和坐标点位信息；

21、s301根据坐标点位信息判断图形类型；

22、s302针对不同的图形类型，分别根据图形单位数据和坐标点位信息计算图形尺寸。

23、在一种可能的实现方式中，的s31根据产品参数设定格点包括：

24、s310根据世代信息和图层信息设定格点。

25、在一种可能的实现方式中，的s33遍历差异图形的位置，根据图形类型对应的图形尺寸与格点关系判别规则，输出图形尺寸与格点关系包括：

26、s330分别判断每种类型的图形的尺寸是否大于一个格点；

27、s331当前类型的图形的尺寸大于一个格点时，则将图形尺寸大于一个格点的图形的坐标点位信息存入第一数据集合内；

28、s332当前类型的图形的尺寸不大于一个格点时，则将图形尺寸不大于一个格点的图形的坐标点位信息存入第二数据集合内。

29、在一种可能的实现方式中，的s301根据坐标点位信息判断图形类型包括：

30、s3010当坐标点位为四个，则判断图形类型为三角形；

31、s3011当坐标点位为五个，则判断图形类型为矩形。

32、在一种可能的实现方式中，的s302针对不同的图形类型，分别根据图形单位数据和坐标点位信息计算图形尺寸包括：

33、s3020针对三角形，利用勾股定理，根据图形单位数据和坐标点位信息计算三角形的各边长度；

34、s3021针对矩形，根据图形单位数据和坐标点位信息计算矩形的各边长度。

35、在一种可能的实现方式中，的s4设定每种产品类别对应的异或运算结果判定规则包括：

36、s40根据光罩标识确定产品类别，产品类别包括重复光罩、改版光罩和新版光罩；

37、s41重复光罩对应的异或运算结果判定规则为：针对所有数据，判断第一数据集合是否有值，当第一数据集合内有值时，输出判别错误，否则输出判别正确；

38、s42改版光罩对应的异或运算结果判定规则为：针对未改变的数据部分判断第一数据集合是否有值，当第一数据集合内有值时，输出判别错误，否则输出判别正确；针对改变的数据部分判断第一数据集合是否有值，当第一数据集合内有值时，输出判别正确，否则输出判别错误；

39、s43新版光罩对应的异或运算结果判定规则为：针对所有数据，判断第一数据集合是否有值，当第一数据集合内有值时，输出判别错误，否则输出判别正确。

40、根据本公开的一个方面，提供一种光罩数据比对系统，包括：

41、对比单元，用于将处理后的图形数据与原始数据进行对比，生成异或运算结果文件；

42、预处理单元，用于对异或运算结果文件进行预处理，形成预处理文件；

43、输出单元，用于遍历预处理文件中差异图形的位置，输出不同图形类型对应的图形尺寸与格点关系；

44、设定单元，用于设定每种产品类别对应的异或运算结果判定规则；

45、获取单元，用于根据图形尺寸与格点的关系，基于产品类别对应的异或运算结果判定规则，获取判定结果。

46、在一种可能的实现方式中，预处理单元包括：

47、判断模块，用于判断异或运算结果文件的数据量是否大于数据量阈值；

48、图形处理模块，用于当异或运算结果文件的数据量大于数据量阈值，则对图形进行缩小处理；

49、图形清楚模块，用于当缩小处理后的图形的差异点满足设定要求，则将缩小处理后的图形清除；

50、第一转化模块，用于将异或运算结果文件转化为图形数据系统文件；

51、第二转化模块，用于将图形数据系统文件转化为十六进制文本。

52、在一种可能的实现方式中，输出单元包括：

53、获取模块，用于根据图形数据系统的标准文件识别十六进制文本，获取图形类型和图形尺寸；

54、设定模块，用于根据产品参数设定格点；

55、建立模块，用于建立每个图形类型对应的图形尺寸与格点关系判别规则；

56、输出模块，用于遍历差异图形的位置，根据图形类型对应的图形尺寸与格点关系判别规则，输出图形尺寸与格点关系。

57、在一种可能的实现方式中，获取模块包括：

58、识别子模块，用于识别十六进制文本，获取图形单位数据和坐标点位信息；

59、第一判断子模块，用于根据坐标点位信息判断图形类型；

60、计算子模块，用于针对不同的图形类型，分别根据图形单位数据和坐标点位信息计算图形尺寸。

61、在一种可能的实现方式中，设定模块用于根据世代信息和图层信息设定格点。

62、在一种可能的实现方式中，输出模块包括：

63、第二判断子模块，分别判断每种类型的图形的尺寸是否大于一个格点；

64、第一存储子模块，用于在当前类型的图形的尺寸大于一个格点时，将图形尺寸大于一个格点的图形的坐标点位信息存入第一数据集合内；

65、第二存储子模块，用于在当前类型的图形的尺寸不大于一个格点时，将图形尺寸不大于一个格点的图形的坐标点位信息存入第二数据集合内。

66、在一种可能的实现方式中，第一判断子模块用于：

67、当坐标点位为四个，则判断图形类型为三角形；

68、当坐标点位为五个，则判断图形类型为矩形。

69、在一种可能的实现方式中，计算子模块用于：

70、针对三角形，利用勾股定理，根据图形单位数据和坐标点位信息计算三角形的各边长度；

71、针对矩形，根据图形单位数据和坐标点位信息计算矩形的各边长度。

72、在一种可能的实现方式中，设定单元包括：

73、类别确定模块，用于根据光罩标识确定产品类别，产品类别包括重复光罩、改版光罩和新版光罩；

74、重复光罩对应的异或运算结果判定规则为：针对所有数据，判断第一数据集合是否有值，当第一数据集合内有值时，输出判别错误，否则输出判别正确；

75、改版光罩对应的异或运算结果判定规则为：针对未改变的数据部分判断第一数据集合是否有值，当第一数据集合内有值时，输出判别错误，否则输出判别正确；针对改变的数据部分判断第一数据集合是否有值，当第一数据集合内有值时，输出判别正确，否则输出判别错误；

76、新版光罩对应的异或运算结果判定规则为：针对所有数据，判断第一数据集合是否有值，当第一数据集合内有值时，输出判别错误，否则输出判别正确。

77、根据本公开的一个方面，提供一种光罩数据比对设备，包括：

78、处理器以及存储器；

79、存储器用于存储计算机程序，处理器调用存储器存储的计算机程序，以执行上述任一项的光罩数据比对方法。

80、根据本公开的一个方面，提供一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质中存储有计算机程序，当计算机程序被处理器执行时，使得处理器能够执行上述任一项的光罩数据比对方法。

81、本公开的示例性实施例具有以下有益效果：本公开的示例性实施例，能够有效避免人工检查出现的漏看等错误，实现光罩转档文件与原数据零风险，保证光罩制作的准确性；避免在jdv(jobdeck view,转档数据检查)环节出现影响最终光罩制作的数据准确性，进而避免造成高额损失；将原来需要2-3h的xor结果叠对工作，减少到半小时以内，并且比人眼比对更加全面可靠，使得整体效率提升80％，解决了xor结果的叠对判别在jdv过程中占用时间长的问题。

82、本技术的一个或多个实施例的细节在下面的附图和描述中提出。本技术的其它特征和优点将从说明书附图变得明显。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。