图案描绘装置的制作方法

本发明是关于一种扫描照射至被照射体上的聚焦光而描绘图案的图案描绘装置。

背景技术：

1、作为使用旋转多角镜的描绘装置，例如已知电子照片方式的图像形成装置，其是如日本特开2009-20489号公报揭示般，利用多角镜使来自激光二极体(ld)的射束反复偏向，并使偏向后的射束经由fθ透镜于感光体上扫描。日本特开2009-20489号公报所揭示的图像形成装置中，根据激光二极体(ld)的驱动电流的变化而预测包含激光二极体(ld)、旋转多角镜、及fθ透镜等的写入单元内的温度变化。而且，为了修正因温度变化而产生的fθ透镜的倍率误差(射束的主扫描方向的倍率误差)，而变更响应图像信号对激光二极体(ld)进行点亮控制时成为基准的写入用的时脉信号的频率。然而，于应描绘的图像的图案为用于电子元件的图案的情形时，即便如日本特开2009-20489号公报般，仅藉由时脉信号的频率变更来修正倍率误差，亦无法细致地应对高精度的倍率修正。

技术实现思路

1、本发明的第1态样是一种图案描绘装置，其是一面将来自光源的射束根据图案信息进行强度调变，一面将上述射束投射至基板上而于主扫描方向进行扫描，藉此于上述基板上形成图案者，且具备：扫描装置，其为了上述射束于上述主扫描方向上的扫描，将包含使来自上述光源的上述射束偏向的偏向构件的多个扫描单元以投射至上述基板上的上述射束的扫描轨迹相互错开的方式配置；及电光偏向装置，其能够为了将来自上述光源的上述射束分时供给至上述多个扫描单元的各者，而将来自上述光源的上述射束切换为偏向状态或非偏向状态，并且为了使上述射束的扫描轨迹于与上述主扫描方向交叉的副扫描方向移位，而调整上述射束的偏向角。

2、本发明的第2态样是一种图案描绘方法，其是一面将来自光源的射束根据图案信息进行强度调变，一面将上述射束投射至基板上而于主扫描方向进行扫描，藉此于上述基板上形成图案者，且包括如下步骤：以投射至上述基板上的上述射束的扫描轨迹相互错开的方式配置的多个扫描单元的各者使用偏向构件将来自上述光源的上述射束于上述主扫描方向进行扫描；及为了将来自上述光源的上述射束分时供给至上述多个扫描单元的各者，而将来自上述光源的上述射束切换为偏向状态或非偏向状态，并且使藉由上述多个扫描单元的各者而扫描的上述射束的扫描轨迹于与上述主扫描方向交叉的副扫描方向移位。

3、本发明的第3态样是一种图案描绘装置，其是将根据图案信息而调变的描绘射束投射至基板而于主扫描方向进行扫描，并且使上述基板与上述描绘射束于与上述主扫描方向交叉的副扫描方向相对移动，藉此于上述基板上形成图案者，且具备：扫描装置，其将包含扫描上述描绘射束的扫描构件的多个扫描单元以上述描绘射束所形成的扫描轨迹相互错开的方式配置；射束切换装置，其包含多个第1电子光学构件，该等第1电子光学构件用以将来自生成上述描绘射束的光源装置的射束选择性地供给至上述多个扫描单元的各者；及射束偏向装置，其包含第2电子光学构件，该第2电子光学构件以于上述主扫描方向扫描的上述描绘射束的扫描位置向上述副扫描方向位移的方式，使入射至上述多个扫描单元的各者的来自上述光源装置的上述射束向对应于上述副扫描方向的朝向偏向。

技术特征：

1.一种图案描绘装置，其是一面将来自光源装置的射束根据图案信息进行强度调变，一面将上述射束投射至基板上而于主扫描方向进行扫描，并且使上述基板移动于与上述主扫描方向交叉的副扫描方向，藉此于上述基板上形成图案者，且具备：

技术总结
本发明是一种图案描绘装置(EX)，其是一面将来自光源(LS)的射束(LB)根据图案信息进行强度调变，一面将射束(LB)投射至基板(P)上而于主扫描方向进行扫描，藉此于基板(P)上形成图案者，且具备：扫描装置(14)，其是为了使射束(LB)于主扫描方向上扫描，而将包含使来自光源(LS)的射束(LB)偏向的偏向构件(PM)的多个扫描单元(Un)，以投射至基板(P)上的射束(LB)的扫描轨迹相互错开的方式配置；及电光偏向装置(BDU)，其是为了将来自光源(LS)的射束(LB)分时供给至多个扫描单元(Un)的各者，而将来自光源(LS)的射束(LB)切换为偏向状态或非偏向状态，并且为了使射束(LB)的扫描轨迹于与主扫描方向交叉的副扫描方向移位，而可调整射束(LB)的偏向角。

技术研发人员：加藤正纪,中山修一
受保护的技术使用者：株式会社 尼康
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15