检测平行光路平行半角和光偏角的装置和方法及检测系统与流程

本发明涉及光伏设备，尤其是涉及一种检测装置，以及检测接近式曝光机平行光路平行半角和光偏角的方法和检测系统。

背景技术：

1、相关技术中，对于一般激光器发散角测量问题，常规的测量方法有套孔法、刀口法以及焦长法等，对于接近式曝光机来说，由于其光路准直匀光后，平行光光斑面积较大，且能量呈均匀分布，针对激光器发散角测量方法无法直接应用至这种大面积均匀光路平行半角和光偏角校准检测。

技术实现思路

1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种检测装置，该装置可以直接检测接近式曝光机的平行光路平行半角和光偏角，提高接近式曝光机光路装配精度。

2、本发明的目的之二在于提出一种检测接近式曝光机的平行光路平行半角和光偏角的方法。

3、本发明的目的之三在于提出一种检测系统。

4、为了解决上述问题，本发明第一方面实施例提供一种检测装置，其特征在于，用于检测接近式曝光机的平行光路平行半角和光偏角，所述检测装置包括：壳体，所述壳体限定出容纳空间，所述壳体上具有输入孔，在检测时所述平行光路的光通过所述输入孔垂直摄入所述容纳空间；检测光路，所述检测光路位于所述容纳空间内，用于将所述输入孔垂直摄入的光垂直投射至检测区域；测量模块，所述测量模块位于所述检测区域，用于根据垂直投射至所述检测区域的光斑获得用于计算所述平行光路平行半角和光偏角的检测数据。

5、根据本发明实施例的检测装置，在用于检测接近式曝光机的平行光路平行半角和光偏角时，平行光路的光线通过检测装置壳体上的输入孔输入检测装置壳体内的检测光路中，检测光路将接近式曝光机的平行光路的光线垂直投射至检测区域，通过检测区域的测量模块可以直接获得垂直投射至检测区域的光斑的相关参数即用于计算平行光路平行半角和光偏角的检测数据，从而可以直接为计算接近式曝光机的平行光路平行半角和光偏角提供检测数据，为提高接近式曝光机光路装配精度提供数据支持。

6、在一些实施例中，所述壳体包括：上底板、下底板和挡光侧板，所述上底板、所述下底板和所述挡光侧板围成所述容纳空间，所述上底板与所述下底板平行设置，所述输入孔位于所述上底板，所述检测区域位于所述下底板。

7、在一些实施例中，所述壳体还包括：四个支撑柱，所述四个支撑柱的一端分别固定在所述下底板的四个边角处，所述上底板固定在所述四个支撑柱的另一端上，所述挡光侧板固定在所述四个支撑柱的侧面。

8、在一些实施例中，所述检测光路包括：多个安装架，所述多个安装架分别设置在所述上底板和下底板上；多个反射镜，所述多个反射镜分别对应设置在所述多个安装架上，以将所述输入孔摄入的光垂直投射至检测区域。

9、在一些实施例中，所述多个安装架包括第一安装架，所述第一安装架固定于所述下底板上并与所述输入孔相对应设置；所述多个反射镜包括第一反射镜，所述第一反射镜固定于所述第一安装架，用于将所述输入孔垂直入射的光线沿所述下底板的平行方向反射。

10、在一些实施例中，所述多个安装架还包括第二安装架，所述第二安装架固定于所述下底板并与所述第一安装架间隔设置；所述多个反射镜还包括第二反射镜，所述第二反射镜固定于所述第二安装架，用于将所述第一反射镜的反射光线朝向所述上底板反射。

11、在一些实施例中，所述多个安装架还包括第三安装架，所述第三安装架固定于所述上底板并与所述第二安装架相对设置；所述多个反射镜还包括第三反射镜，所述第三反射镜固定于所述第三安装架上，用于将所述第二反射镜的反射光线沿所述上底板的平行方向反射。

12、在一些实施例中，所述多个安装架还包括调整架，所述调整架可调节地安装于所述上底板上并与所述第三安装架间隔设置，所述输入孔位于所述调整架与所述第三安装架之间；所述多个反射镜还包括第四反射镜，所述第四反射镜固定于所述调整架上，用于将所述第三反射镜的反射光线反射至所述下底板上的检测区域。

13、在一些实施例中，所述多个安装架还包括调节件，所述调节件设置于所述上底板的外面并与所述调整架对应设置，用于调节所述调整架的角度。

14、在一些实施例中，所述测量模块包括：标记卡，所述标记卡位于所述检测区域，用于标记所述检测数据；观察窗口，所述观察窗口设置于所述壳体，用于读取所述标记卡上的所述检测数据。

15、本发明第二方面实施例提供一种检测接近式曝光机平行光路平行半角和光偏角的方法，其特征在于，包括：获取上述实施例所述的检测装置检测的用于计算所述平行光路的平行半角和光偏角的检测数据；根据所述检测数据和所述检测装置的结构参数获得所述平行光路平行半角和光偏角。

16、根据本发明实施例的检测接近式曝光机的平行光路平行半角和光偏角的方法，可以通过检测装置的测量模块中标记的实际光斑直径大小以及输入孔的直径和光线从输入孔到检测区域的总光程计算得到平行光路的平行半角；通过检测装置的测量模块中标记的实际光斑中心位置以及光线从输入孔到检测区域的总光程计算得到平行光路的光偏角。

17、在一些实施例中，所述检测数据包括所述平行光路的光线在所述检测装置的测量模块中标记的实际光斑直径大小；所述检测装置的结构参数包括输入孔的直径和光线从输入孔到检测区域的总光程；通过以下公式获得所述平行光路的平行半角：

18、

19、其中，α为所述平行半角，d为所述实际光斑直径大小，d为所述输入孔的直径，l为所述总光程。

20、在一些实施例中，所述检测数据包括所述平行光路的光线在所述检测装置的测量模块中测量的实际光斑中心位置；所述检测装置的结构参数包括光线从所述检测装置的输入孔到检测区域的总光程；通过以下公式获得所述平行光路的光偏角：

21、

22、其中，β为所述光偏角，d0为所述实际光斑中心位置，l为所述总光程。

23、本发明第三方面实施例提供一种检测系统，其特征在于，包括：检测装置；数据处理装置，所述数据处理装置用于执行上述实施例所述的检测平行光路平行半角和光偏角的方法。

24、根据本发明实施例的检测系统，在用于检测接近式曝光机的平行光路平行半角和光偏角时，通过检测装置获得用于平行光路平行半角和光偏角的检测数据；数据处理装置根据检测数据和检测装置的结构参数计算得到接近式曝光机的平行光路的平行半角和光偏角，为提高接近式曝光机光路装配精度提供数据支持。

25、本发明的附加方面和优点将在的下面的描述中部分给出，部分将从的下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

技术特征：

1.一种用于检测平行光路平行半角和光偏角的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述壳体包括：

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述壳体还包括：

4.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述检测光路包括：

5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，

10.根据权利要求1-9任一项所述的检测装置，其特征在于，所述测量模块包括：

11.一种检测平行光路平行半角和光偏角的方法，其特征在于，包括：

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，

13.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，

14.一种检测系统，其特征在于，包括：

技术总结
本发明公开了检测装置、检测平行半角和光偏角的方法及检测系统，其中，检测装置包括壳体、检测光路和测量模块，壳体限定出容纳空间，壳体上具有输入孔，在检测时平行光路的光通过输入孔垂直摄入容纳空间；检测光路位于容纳空间内，用于将输入孔垂直摄入的光垂直投射至检测区域；测量模块位于检测区域，用于根据垂直投射至检测区域的光斑获得用于计算平行光路平行半角和光偏角的检测数据。该检测装置可以直接用于检测接近式曝光机的平行光路的平行半角和光偏角，提高接近式曝光机光路装配精度。

技术研发人员：丁雯靖,程刚,杨保平
受保护的技术使用者：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/24