本技术涉及微调设备，具体而言，涉及一种反射镜调节装置及运动台系统。
背景技术：
1、在半导体运动台系统中，一般会采用激光干涉仪对运动台进行三个方向位置的精密测量，垂向(即z轴，一般定义为投影物镜的光轴方向)的测量一般采用在运动台侧面安装45°反射镜，将激光干涉仪水平方向的光束反射到测量框架下的z向反射镜上，再经过反射沿原光路返回，参考光束直接水平入射到运动台侧面反射镜直接返回干涉仪。为了保证运动台运动行程，z向反射镜需要设计成具有足够长度的长条反射镜。由于在光路中测量光束的光程很长，测量光束照射在z向反射镜上需满足绝对垂直入射，才能够实现测量光束的原路返回。因此需要设计一种能够对反射镜rx和ry方向的姿态进行精确调整的结构。
技术实现思路
1、本实用新型的主要目的在于提供一种反射镜调节装置及运动台系统，该反射镜调节装置能够对反射镜的倾斜和俯仰角度进行调整。
2、为了实现上述目的，根据本实用新型的一方面，提供了一种反射镜调节装置，包括：安装件，用于连接反射镜；基座，被构造为与测量框架连接，基座与安装件连接；姿态调整结构，设置在安装件和基座之间，姿态调整结构相对于安装件沿预设方向可移动地设置，姿态调整结构的一端与基座上朝向安装件的表面抵接接触，以微调安装件和安装在其上的反射镜的倾斜度和俯仰角；预紧件，沿预设方向可移动地设置在安装件和基座上，预紧件用于保持姿态调整结构和基座之间的预紧力。
3、进一步地，姿态调整结构包括至少两个主调件和至少一个随调件，至少两个主调件和至少一个随调件间隔布置且不在一条直线上，安装件上设有至少两个第一连接孔和至少一个第二连接孔，至少两个第一连接孔与至少两个主调件一一对应设置，至少一个第二连接孔与至少一个随调件一一对应设置，主调件与第一连接孔螺纹连接，且主调件朝向基座的一端与基座的表面抵接，随调件与第二连接孔螺纹连接，且随调件朝向基座的一端与基座的表面抵接。
4、进一步地，基座包括两个调整座和一个固定座，一个调整座相对于固定座沿x方向布置，另一个调整座相对于固定座沿y方向布置，两个调整座和一个固定座形成三角形结构；调整座与主调件一一对应设置，固定座与随调件对应设置，主调件朝向基座的一端与调整座的表面抵接，随调件朝向基座的一端与固定座的表面抵接；和/或，主调件和随调件分别与基座的表面点接触。
5、进一步地，主调件和随调件上朝向基座的一端均设有凸球面；主调件的数量为两个，基座朝向安装件的一侧设有两个弧面凹槽，两个弧面凹槽分别与两个主调件的凸球面配合；或者，主调件的数量为两个，随调件的数量为一个，基座上朝向安装件的一侧设有三个弧面凹槽，两个主调件的凸球面和一个随调件的凸球面分别与对应的弧面凹槽配合。
6、进一步地，弧面凹槽的曲率半径为主调件的端部的球面半径的8倍～10倍。
7、进一步地，基座还包括固定板，调整座和固定座通过固定板形成一体式结构，固定板被构造为能够与测量框架连接；或者，调整座和固定座相互独立并构成基座，两个调整座和一个固定座能够分别与测量框架固定连接。
8、进一步地，反射镜调节装置还包括锁紧结构，锁紧结构包括连接板和至少两个锁紧螺钉，连接板上开设有至少两个间隔设置的安装通孔，安装件上开设有第一锁紧螺孔，基座上开设有第二锁紧螺孔，至少一个锁紧螺钉穿过一个安装通孔后与对应的第一锁紧螺孔螺纹连接，且至少有另一个锁紧螺钉穿过另一个对应的安装通孔后与第二锁紧螺孔螺纹连接。
9、进一步地，连接板上开设有形变槽，连接板能够通过压缩形变槽的方式释放应力；和/或，连接板为具有形变能力的柔性件。
10、进一步地，反射镜调节装置还包括与安装件连接的保护板，保护板具有插接段，插接段用于与反射镜插接，以防止反射镜掉落。
11、为了实现上述目的，根据本实用新型的另一方面，提供了一种运动台系统，包括反射镜、测量框架以及上述的反射镜调节装置，安装件与反射镜连接，基座与测量框架连接。
12、应用本实用新型的技术方案，姿态调整结构与安装件连接并与基座抵接，姿态调整结构相对于安装件可移动，只需要在预设方向(即z向)上调整姿态调整结构相对于安装件的位置，就可以调整安装件及安装在安装件上的反射镜的倾斜和俯仰角度，上述调节过程易操作；另外，预紧件可移动地设置在安装件和基座上，可以使姿态调整结构与基座始终保持抵接接触的状态，并保持姿态调整结构和基座之间的预紧力，确保调节后的反射镜的姿态处于稳定状态。
1.一种反射镜调节装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的反射镜调节装置，其特征在于，所述姿态调整结构包括至少两个主调件(18)和至少一个随调件(17)，至少两个所述主调件(18)和至少一个所述随调件(17)间隔布置且不在一条直线上，所述安装件(13)上设有至少两个第一连接孔和至少一个第二连接孔，至少两个所述第一连接孔与至少两个所述主调件(18)一一对应设置，至少一个所述第二连接孔与至少一个所述随调件(17)一一对应设置，所述主调件(18)与所述第一连接孔螺纹连接，且所述主调件(18)朝向所述基座(12)的一端与所述基座(12)的表面抵接，所述随调件(17)与所述第二连接孔螺纹连接，且所述随调件(17)朝向所述基座(12)的一端与所述基座(12)的表面抵接。
3.根据权利要求2所述的反射镜调节装置，其特征在于，所述基座(12)包括两个调整座(22)和一个固定座(21)，一个所述调整座(22)相对于所述固定座(21)沿x方向布置，另一个所述调整座(22)相对于所述固定座(21)沿y方向布置，两个所述调整座(22)和一个所述固定座(21)形成三角形结构；所述调整座(22)与所述主调件(18)一一对应设置，所述固定座(21)与所述随调件(17)对应设置，所述主调件(18)朝向所述基座(12)的一端与所述调整座(22)的表面抵接，所述随调件(17)朝向所述基座(12)的一端与所述固定座(21)的表面抵接；和/或，所述主调件(18)和所述随调件(17)分别与所述基座(12)的表面点接触。
4.根据权利要求2所述的反射镜调节装置，其特征在于，所述主调件(18)和所述随调件(17)上朝向所述基座(12)的一端均设有凸球面；
5.根据权利要求4所述的反射镜调节装置，其特征在于，所述弧面凹槽(221)的曲率半径为所述主调件(18)的端部的球面半径的8倍～10倍。
6.根据权利要求3所述的反射镜调节装置，其特征在于，所述基座(12)还包括固定板(24)，所述调整座(22)和所述固定座(21)通过所述固定板(24)形成一体式结构，所述固定板(24)被构造为能够与所述测量框架连接；或者，
7.根据权利要求1至5中任一项所述的反射镜调节装置，其特征在于，所述反射镜调节装置还包括锁紧结构，所述锁紧结构包括连接板(15)和至少两个锁紧螺钉(16)，所述连接板(15)上开设有至少两个间隔设置的安装通孔(151)，所述安装件(13)上开设有第一锁紧螺孔，所述基座(12)上开设有第二锁紧螺孔(23)，至少一个所述锁紧螺钉(16)穿过一个所述安装通孔(151)后与对应的所述第一锁紧螺孔螺纹连接，且至少有另一个所述锁紧螺钉(16)穿过另一个对应的所述安装通孔(151)后与所述第二锁紧螺孔(23)螺纹连接。
8.根据权利要求7所述的反射镜调节装置，其特征在于，所述连接板(15)上开设有形变槽(152)，所述连接板(15)能够通过压缩形变槽(152)的方式释放应力；和/或，所述连接板(15)为具有形变能力的柔性件。
9.根据权利要求1至5中任一项所述的反射镜调节装置，其特征在于，所述反射镜调节装置还包括与所述安装件(13)连接的保护板(14)，所述保护板(14)具有插接段，所述插接段用于与所述反射镜(11)插接，以防止所述反射镜(11)掉落。
10.一种运动台系统，其特征在于，包括反射镜(11)、测量框架以及如权利要求1至9中任一项所述的反射镜调节装置，所述安装件(13)与所述反射镜(11)连接，所述基座(12)与所述测量框架连接。