一种切割机自清洁CCD模块的制作方法

本技术涉及ccd模块，特别涉及一种切割机自清洁ccd模块。

背景技术：

1、现有的晶圆切割设备ccd相机的工作环境存在大量的水气和粉尘，存在粉尘沾污ccd镜头表面，导致对焦不准、模糊的缺陷，造成了切割机工作效率低下、切偏等问题，亟待解决。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种切割机自清洁ccd模块，能够防止ccd镜头表面被粉尘沾污，还能对镜头表面的粉尘进行清理。

2、根据本实用新型的第一方面，提供一种切割机自清洁ccd模块，包括相机，包括镜头以及机身，所述镜头设置在所述机身的一端；灰尘屏蔽装置，设置在所述机身上，所述灰尘屏蔽装置包括控制模块以及屏蔽层发生模块，所述控制模块设置在所述机身上，所述屏蔽层发生模块设置在所述机身上且位于所述机身靠近所述镜头的一端，所述屏蔽层发生模块与所述镜头外周连接。

3、有益效果：一种切割机自清洁ccd模块包括相机以及灰尘屏蔽装置。相机包括镜头以及机身。镜头设置在机身的一端。灰尘屏蔽装置设置在机身上。灰尘屏蔽装置包括控制模块以及屏蔽层发生模块。控制模块设置在机身上。屏蔽层发生模块设置在机身上且位于机身靠近镜头的一端。屏蔽层发生模块与镜头外周连接。灰尘屏蔽装置能够将气流喷射在镜头的表面，形成屏蔽层，进而能够防止镜头表面被粉尘沾污。同时，高速的气流还能对镜头表面的粉尘进行清理。

4、根据本实用新型所述的一种切割机自清洁ccd模块，所述屏蔽层发生模块包括：导流罩，套设在所述镜头上；气源装置，与所述导流罩通过气管连接，所述气源装置与所述控制模块电连接。

5、根据本实用新型所述的一种切割机自清洁ccd模块，所述气源装置为空气压缩机。

6、根据本实用新型所述的一种切割机自清洁ccd模块，所述气源装置为离子风机。

7、根据本实用新型所述的一种切割机自清洁ccd模块，所述导流罩包括：基体，螺设在所述机身上；通气槽，开设在所述基体中，且与所述气管连接；导流槽，设置在所述基体上，所述导流槽为若干，若干所述导流槽沿所述镜头周向设置。

8、根据本实用新型所述的一种切割机自清洁ccd模块，若干所述导流槽分部在所述镜头半周。

9、根据本实用新型所述的一种切割机自清洁ccd模块，所述控制模块与ccd模块驱动电机电连接。

技术特征：

1.一种切割机自清洁ccd模块，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种切割机自清洁ccd模块，其特征在于，所述屏蔽层发生模块(22)包括：

3.根据权利要求2所述的一种切割机自清洁ccd模块，其特征在于，所述气源装置(222)为空气压缩机。

4.根据权利要求2所述的一种切割机自清洁ccd模块，其特征在于，所述气源装置(222)为离子风机。

5.根据权利要求2所述的一种切割机自清洁ccd模块，其特征在于，所述导流罩(221)包括：

6.根据权利要求5所述的一种切割机自清洁ccd模块，其特征在于，若干所述导流槽(221c)分部在所述镜头(11)半周。

7.根据权利要求1所述的一种切割机自清洁ccd模块，其特征在于，所述控制模块(21)与ccd模块驱动电机电连接。

技术总结
本技术公开了一种切割机自清洁CCD模块，涉及CCD模块技术领域，能够防止CCD镜头表面被粉尘沾污，还能对镜头表面的粉尘进行清理。一种切割机自清洁CCD模块包括相机以及灰尘屏蔽装置。相机包括镜头以及机身。镜头设置在机身的一端。灰尘屏蔽装置设置在机身上。灰尘屏蔽装置包括控制模块以及屏蔽层发生模块。控制模块设置在机身上。屏蔽层发生模块设置在机身上且位于机身靠近镜头的一端。屏蔽层发生模块与镜头外周连接。灰尘屏蔽装置能够将气流喷射在镜头的表面，形成屏蔽层，进而能够防止镜头表面被粉尘沾污。同时，高速的气流还能对镜头表面的粉尘进行清理。

技术研发人员：吴俊,周永健
受保护的技术使用者：珠海市中芯集成电路有限公司
技术研发日：20230307
技术公布日：2024/1/13