光刻机中的光束检测装置的制作方法

本申请涉及半导体制造领域，具体涉及一种光刻机中的光束检测装置。

背景技术：

1、现有的光刻机设备中，在光刻机作业的过程中，如果楼下光束的位置发生变动，需要对变动后的光束的位置进行检测，但是现有的光束位置检测方法，通常是需要楼上拆开光束管路，在楼上光束管道的出口处增加光束检测工具，根据光束检测工具上的位置进行校准，但是这种方法，需要将光束管路拆开，并安装光束检测工具，然后再将光束管路复原，从而导致作业时间较长，不利于快速检测。

技术实现思路

1、鉴于此，本申请提供一种光刻机中的光束检测装置，以解决现有的检测光束位置效率低的问题。

2、本申请提供一种光刻机中的光束检测装置，包括检测结构，所述检测结构活动连接于光路管路内，所述光路管路具有相对设置的入口和出口，所述检测结构具有通孔、反射镜和检测槽，所述反射镜与所述通孔在第一方向上不重叠，所述检测槽暴露所述反射镜，光束射入所述反射镜时与所述反射镜之间的夹角为45；当所述光刻机正常生产时，驱动所述通孔与所述入口以及所述出口对应设置，光束经所述通孔穿过所述检测结构；当所述光刻机检测所述光束时，驱动所述反射镜与所述入口以及所述出口对应设置，以使经所述入口射入的所述光束照射至所述反射镜，并经所述反射镜反射至所述检测槽，以检测所述光束的位置。

3、其中，所述通孔位于所述反射镜与所述检测槽的槽口之间，所述检测槽与所述通孔连通，并暴露所述反射镜。

4、其中，所述光路管路内设置有与所述检测结构相匹配的滑槽，以驱动所述检测结构在所述光路管路内移动。

5、其中，所述光路管路内设置有间隔设置的滑槽，所述检测结构设置有与所述滑槽相匹配的凸起部，以驱动所述检测结构在所述光路管路内移动。

6、其中，所述光路管路内设置有间隔设置的滑槽，所述检测结构设置有与所述滑槽相匹配的滚轮，以驱动所述检测结构在所述光路管路内移动。

7、其中，所述通孔的直径均大于或等于所述入口以及所述出口的直径。

8、其中，所述反射镜在所述光路管路内的正投影的宽度大于所述通孔的直径。

9、其中，所述光路管路背离所述检测结构的一侧设置有按钮，所述按钮与所述检测结构连接，以驱动所述检测结构在所述光路管路内移动。

10、其中，与所述检测槽对应设置的部分所述光路管路上设置有量测器。

11、其中，所述反射镜位于所述通孔与所述检测槽的槽口之间。

12、本申请提供一种光刻机中的光束检测装置，包括检测结构，检测结构活动连接于光路管路内，光路管路具有相对设置的入口和出口，检测结构具有通孔、反射镜和检测槽，反射镜与通孔在第一方向上不重叠，检测槽暴露反射镜，光束射入反射镜时与反射镜之间的夹角为45；当光刻机正常生产时，驱动通孔与入口以及出口对应设置，光束经通孔穿过检测结构；当光刻机检测光束时，驱动反射镜与入口以及出口对应设置，以使经入口射入的光束照射至反射镜，并经反射镜反射至检测槽，以检测光束的位置，以提高光束的检测效率。

技术特征：

1.一种光刻机中的光束检测装置，其特征在于，包括检测结构，所述检测结构活动连接于光路管路内，所述光路管路具有相对设置的入口和出口，所述检测结构具有通孔、反射镜和检测槽，所述反射镜与所述通孔在第一方向上不重叠，所述检测槽暴露所述反射镜，光束射入所述反射镜时与所述反射镜之间的夹角为45°；当所述光刻机正常生产时，驱动所述通孔与所述入口以及所述出口对应设置，光束经所述通孔穿过所述检测结构；当所述光刻机检测所述光束时，驱动所述反射镜与所述入口以及所述出口对应设置，以使经所述入口射入的所述光束照射至所述反射镜，并经所述反射镜反射至所述检测槽，以检测所述光束的位置。

2.根据权利要求1所述的光刻机中的光束检测装置，其特征在于，所述通孔位于所述反射镜与所述检测槽的槽口之间，所述检测槽与所述通孔连通，并暴露所述反射镜。

3.根据权利要求1所述的光刻机中的光束检测装置，其特征在于，所述光路管路内设置有与所述检测结构相匹配的滑槽，以驱动所述检测结构在所述光路管路内移动。

4.根据权利要求1所述的光刻机中的光束检测装置，其特征在于，所述光路管路内设置有间隔设置的滑槽，所述检测结构设置有与所述滑槽相匹配的凸起部，以驱动所述检测结构在所述光路管路内移动。

5.根据权利要求1所述的光刻机中的光束检测装置，其特征在于，所述光路管路内设置有间隔设置的滑槽，所述检测结构设置有与所述滑槽相匹配的滚轮，以驱动所述检测结构在所述光路管路内移动。

6.根据权利要求1所述的光刻机中的光束检测装置，其特征在于，所述通孔的直径均大于或等于所述入口以及所述出口的直径。

7.根据权利要求1所述的光刻机中的光束检测装置，其特征在于，所述反射镜在所述光路管路内的正投影的宽度大于所述通孔的直径。

8.根据权利要求1所述的光刻机中的光束检测装置，其特征在于，所述光路管路背离所述检测结构的一侧设置有按钮，所述按钮与所述检测结构连接，以驱动所述检测结构在所述光路管路内移动。

9.根据权利要求1所述的光刻机中的光束检测装置，其特征在于，与所述检测槽对应设置的部分所述光路管路上设置有量测器。

10.根据权利要求1所述的光刻机中的光束检测装置，其特征在于，所述反射镜位于所述通孔与所述检测槽的槽口之间。

技术总结
本申请提供一种光刻机中的光束检测装置，包括检测结构，检测结构活动连接于光路管路内，光路管路具有相对设置的入口和出口，检测结构具有通孔、反射镜和检测槽，反射镜与通孔在第一方向上不重叠，检测槽暴露反射镜，光束射入反射镜时与反射镜之间的夹角为45；当光刻机正常生产时，驱动通孔与入口以及出口对应设置，光束经通孔穿过检测结构；当光刻机检测光束时，驱动反射镜与入口以及出口对应设置，以使经入口射入的光束照射至反射镜，并经反射镜反射至检测槽，以检测光束的位置，以提高光束位置的检测效率。

技术研发人员：宋佳杰
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：20230427
技术公布日：2024/1/15