一种黑色光刻胶显影机供应装置的制作方法

本技术涉及供应装置，具体为一种黑色光刻胶显影机供应装置。

背景技术：

1、用化学显影液溶解由曝光造成的光刻胶的可溶解区域称为光刻胶显影，光刻胶显影的主要目的是把掩模版图形准确复制到光刻胶中，显影机是将晒制好的印版通过半自动和全自动的程序将显影、冲洗、涂胶、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷处理设备，黑色光刻胶显影机在使用的过程中需要为其供应显影液。

2、例如公告号为：cn210155512u（名为一种光刻胶匀胶显影机的供应装置），包括光阻瓶、缓存罐和喷嘴，光阻瓶通过第一输液管与缓存罐连通，缓存罐通过第二输液管与电动计量泵连接，所述电动计量泵与机台上的喷嘴连接，所述光阻瓶包括安装在内腔内的光阻袋和瓶端口，光阻袋与瓶端口的出液口连接，出液口上插接有第一输液管，第一输液管伸入光阻袋内吸取光阻液，第一输液管对应瓶端口设有一体连接的管盘，管盘贴合放置在瓶端口上端固定住第一输液管，管盘上端通过瓶盖与瓶端口连接挤压固定；瓶端口侧端设有进气管，进气管与外端输气管连接进入光阻瓶的内腔内挤压光阻袋；所述缓存罐上端连通有排气管，排气管内设有检测液体位置的液位传感器，排气管上设有气路单向阀并与气体过滤器连接，所述管盘与瓶端口之间贴合安装有密封垫，密封垫通过瓶盖挤压管盘与瓶端口贴合密封，所述瓶盖套接在第一输液管的管盘上端，瓶盖通过内螺纹与瓶端口的外螺纹旋转固定连接。

3、上述显影机供应装置在进行供应时只能通过流量计测定供应的流量，无法对显影液的供应量进行定量控制，导致供应过大影响显影效果的问题，为此，我们提供一种黑色光刻胶显影机供应装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种黑色光刻胶显影机供应装置，以解决上述背景技术中提出的现有的显影机供应装置在进行供应时只能通过流量计测定供应的流量，无法对显影液的供应量进行定量控制，导致供应过大影响显影效果的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种黑色光刻胶显影机供应装置，包括供应平台，供应平台的下端设置有安装下座，安装下座与供应平台一体成型设置，供应平台的上端设置有配电箱；

3、还包括：

4、输液泵，其设置在所述配电箱的前端位置上，配电箱的输出端与输液泵的输入端电性连接，且输液泵的一侧设置有定量罐，定量罐的一侧设置有支撑托架，支撑托架的上端设置有储液罐；

5、导流管，其设置在所述储液罐的下方外壁上，导流管与储液罐的内部连通设置，且导流管的起始端上设置有出液阀，导流管的两端分别与储液罐和定量罐连通设置；

6、输送管和供应管，其分别设置在所述输液泵的进液端和出液端位置上，输送管与储液罐连通设置，且供应管上设置有调节阀，调节阀的下方设置有流量计，调节阀和流量计均与供应管通过法兰密封连接；

7、液位显示器，其设置在所述支撑托架的前端位置上，且储液罐的内部设置有液位传感器，液位传感器与液位显示器的连接位置上设置有传感器接线。

8、优选的，所述定量罐的前端面上设置有透视镜，透视镜与定量罐机械密封连接。

9、优选的，所述透视镜的前端面上设置有刻度尺，刻度尺与透视镜一体成型设置。

10、优选的，所述供应管与供应平台的连接位置上设置有穿接孔，穿接孔与供应平台一体成型设置。

11、优选的，所述储液罐的出液位置上设置有出液滤网，出液滤网与储液罐一体成型设置。

12、优选的，所述储液罐的顶部设置有注液口，注液口与储液罐的内部连通设置。

13、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

14、1、本实用新型通过将供应管的终端连接到显影机的喷嘴上，然后先打开出液阀使得显影液通过导流管注入定量罐的内部，通过定量罐上的刻度尺对显影液进行定量制取，克服了现有的显影机供应装置在进行供应时只能通过流量计测定供应的流量，无法对显影液的供应量进行定量控制，导致供应过大影响显影效果的问题。

15、2、液位余量通过液位显示器直观呈现，液位不足时，通过注液口向储液罐补充显影液，接着通过输液泵将定量罐内部的显影液抽出，抽出后通过调节阀调节供应管供应显影液的流量，调节的流量数值被流量计测量，从而达到精确调节流量的目的。

技术特征：

1.一种黑色光刻胶显影机供应装置，包括供应平台（1），供应平台（1）的下端设置有安装下座（2），安装下座（2）与供应平台（1）一体成型设置，供应平台（1）的上端设置有配电箱（3）；

2.根据权利要求1所述的一种黑色光刻胶显影机供应装置，其特征在于：所述定量罐（9）的前端面上设置有透视镜（17），透视镜（17）与定量罐（9）机械密封连接。

3.根据权利要求2所述的一种黑色光刻胶显影机供应装置，其特征在于：所述透视镜（17）的前端面上设置有刻度尺（18），刻度尺（18）与透视镜（17）一体成型设置。

4.根据权利要求1所述的一种黑色光刻胶显影机供应装置，其特征在于：所述供应管（14）与供应平台（1）的连接位置上设置有穿接孔（21），穿接孔（21）与供应平台（1）一体成型设置。

5.根据权利要求1所述的一种黑色光刻胶显影机供应装置，其特征在于：所述储液罐（5）的出液位置上设置有出液滤网（16），出液滤网（16）与储液罐（5）一体成型设置。

6.根据权利要求1所述的一种黑色光刻胶显影机供应装置，其特征在于：所述储液罐（5）的顶部设置有注液口（6），注液口（6）与储液罐（5）的内部连通设置。

技术总结
本技术公开了一种黑色光刻胶显影机供应装置，涉及供应装置技术领域，为解决现有的显影机供应装置在进行供应时只能通过流量计测定供应的流量，无法对显影液的供应量进行定量控制，导致供应过大影响显影效果的问题。包括供应平台，供应平台的下端设置有安装下座，安装下座与供应平台一体成型设置，供应平台的上端设置有配电箱；还包括：输液泵，其设置在所述配电箱的前端位置上，配电箱的输出端与输液泵的输入端电性连接，且输液泵的一侧设置有定量罐，定量罐的一侧设置有支撑托架，支撑托架的上端设置有储液罐；导流管，其设置在所述储液罐的下方外壁上，导流管与储液罐的内部连通设置，且导流管的起始端上设置有出液阀。

技术研发人员：宗健,李红岩
受保护的技术使用者：江苏博砚电子科技股份有限公司
技术研发日：20230628
技术公布日：2024/1/15