一种调平器的制作方法

本技术涉及光刻机，特别涉及一种调平器。

背景技术：

1、光刻机用的调平器是一种用于在光刻机的安装和装配阶段对其内部或外部的功能性部件进行调节和调平的装置。光刻机是半导体制造中至关重要的设备，用于将图案投影到半导体芯片上，从而制造微小的结构和电路。为了确保光刻机的正常运行以及产品质量，各个功能性部件需要在装配时保持准确的位置和平衡状态。调平器的作用就是实现这种精确的调节和调平。

2、具体来说，光刻机内部存在许多关键的部件，如光源、掩模、投影镜头等，它们需要在装配时被准确地放置和调整。调平器通过提供微小的、高度可控的调节能力，确保这些部件的位置和角度达到要求，从而保证成像的准确性和产品质量。光刻机的稳定性和精度与其支撑结构和连接组件的状态密切相关。调平器可以用来微调这些结构，以便在光刻过程中减少振动、位移等干扰，从而提高光刻的稳定性和重复性。

3、同时，光刻机内部的机构部件往往通过中继性组件相互连接。调平器可以对这些中继性组件进行微调，确保机构部件之间的传递和转换动作的精确性，进而保证整个光刻机的正常运行。

4、在现有技术中光刻机用的调平器通常是斜楔式调平器，斜楔式调平器是一种用于精确调节和平衡光刻机内部或外部功能性部件的装置，采用了日本仓敷化工(kurashikikako)公司开发的技术。这种调平器以其独特的设计和优势在光刻机制造领域得到广泛应用。具体来说，斜楔式调平器采用了斜楔的设计原理。斜楔是一种具有楔形横截面的构件，其一个侧面倾斜，可用于实现微小的高度调整。通过微调斜楔的倾斜角度，可以实现微米级别的高度调节，使得光刻机内部的部件能够达到精确的位置和平衡状态。这种斜楔式调平器具有极高的精度。由于斜楔的倾斜角度可以微调，因此可以实现非常精确的高度调节。这种高精度调节非常重要，特别是在微米级别结构的制造中，以确保光刻机的成像精度和产品质量。斜楔式调平器通过其独特的斜楔设计和高精度调节能力，在光刻机的制造过程中发挥着关键的作用。它们提供了一种高效、稳定且精确的方法，用于确保光刻机内部部件的准确对位和平衡，从而实现半导体制造中所需的高精度成像。

5、但是，经过发明人长期工作与研究发现，传统的斜楔式调平器中存在如下的技术问题亟需解决：

6、(1)载荷不均衡：传统的斜楔式调平器在载荷传递时，由于其斜楔结构的特性，导致在调平过程中载荷分布不均衡。这导致一侧受力较大，而另一侧受力较小，影响了调平的稳定性和准确性。

7、(2)对载荷承受能力的限制：斜楔式调平器在一些高载荷环境中会受到承受能力的限制。由于斜楔的结构特点，其在承受较大载荷时不够稳定，容易产生变形或失效。

8、(3)难以实现多轴调整：传统斜楔式调平器通常在一个平面内进行调整，难以同时实现多个方向的调整。这在需要多轴对位的场景中会受到限制，无法满足复杂对位的要求。

9、为此，提出一种调平器。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型实施例希望提供一种调平器，以解决或缓解现有技术中存在的技术问题，即载荷不均衡、对载荷承受能力限制和难以实现多轴调整，并对此至少提供一种有益的选择；

2、本实用新型实施例的技术方案是这样实现的：一种调平器，包括调平组件和支调组件；所述支调组件包括z轴向或x轴向的第二线性自由度，所述调平组件包括y轴向的第一线性自由度；所述支调组件调节于所述调平组件作线性位置调节；所述调平组件包括线性定心系统，所述线性定心系统沿所述第一线性自由度的旋转周的圆周方向均匀排布若干个载荷传递部；所述调平组件带动连接平台作高度调节。连接平台用于连接外部功能性设备。

3、在上述的实施方式中：这种调平器包括两个主要组件：调平组件和支调组件。调平组件具有沿y轴向的第一线性自由度，而支调组件则具有沿z轴向或x轴向的第二线性自由度。支调组件通过线性位置调节与调平组件相互作用。

4、其中在一种实施方式中：所述调平组件包括第一机架，第二机架沿所述第一机架的表面由低至高滑动配合或由高至低滑动配合；所述第一机架和所述第二机架之间的滑动面上开设有所述线性定心系统。第一机架和第二机架的外部对应可有高度指示表，便于工作人员进行调平。

5、在上述的实施方式中：调平器的调平组件包括第一机架和第二机架。第二机架沿着第一机架的表面滑动配合，可以由低至高或由高至低进行滑动。线性定心系统设置在第一机架和第二机架之间的滑动面上。

6、其中在一种实施方式中：所述线性定心系统包括第一花键面和第二花键面，所述第一花键面和所述第二花键面分别开设于所述第一机架和所述第二机架；所述载荷传递部优选为键齿，所述第一花键面和所述第二花键面均开设有所述键齿并依此相互滑动配合；还包括用于输出所述第一线性自由度的第一直线调节器，所述第一直线调节器配合连接于所述第一机架、所述所述第二机架所述第一花键面和所述第二花键面，旋转所述第一直线调节器控制所述第二机架沿所述第一机架升降调节；所述连接平台开设于所述第二机架上。

7、在上述的实施方式中：调平器的线性定心系统包括第一花键面和第二花键面。这两个花键面分别开设在第一机架和第二机架上。调平器中还包括用于输出第一线性自由度的第一直线调节器，该调节器连接到第一机架，并与第一花键面和第二花键面相互滑动配合。通过旋转第一直线调节器，可以控制第二机架沿第一机架升降，从而实现高度调节。连接平台开设在第二机架上，用于连接外部功能性设备。

8、其中在一种实施方式中：所述第一花键面和所述第二花键面均为弧形面，所述键齿以所述第一线性自由度的旋转轴为基准，依此环形阵列式开设于所述第一花键面和所述第二花键面上。

9、在上述的实施方式中：调平器的线性定心系统采用了弧形面的设计。第一花键面和第二花键面均为弧形的表面，以适应特定的调平需求。键齿按照第一线性自由度的旋转轴为基准，以环形阵列的形式开设在第一花键面和第二花键面上。

10、其中在一种实施方式中：所述第一花键面和所述第二花键面在所述第一线性自由度的旋转轴的铅垂面视角下呈椎形。

11、在上述的实施方式中：调平器的线性定心系统的第一花键面和第二花键面的设计呈现出椎形的外观，这种椎形设计在考虑了第一线性自由度的旋转轴的铅垂面视角下展现。

12、其中在一种实施方式中：所述键齿为矩形键齿或渐开线键齿。

13、在上述的实施方式中：调平器的键齿设计有两种选项：矩形键齿或渐开线键齿。其中，矩形键齿适用于载荷不强的环境，而渐开线键齿则适用于载荷较强的环境。

14、其中在一种实施方式中：所述第一直线调节器优选为第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的轴头通过轴承转动配合并支撑于所述第一机架的内部，所述第一螺纹杆的螺身螺纹转动配合于所述第二机架的内侧壁。

15、在上述的实施方式中：螺纹杆的螺纹部分则与第二机架的内侧壁进行螺纹转动配合。第一螺纹杆还在延伸到第二机架的部分开设有内六槽，以便工人进行调节。

16、其中在一种实施方式中：所述第一机架和所述第二机架之间的滑动面相较于水平面为倾斜滑动面，所述第二机架沿所述第一机架的表面以倾斜的形式由低至高滑动配合或由高至低滑动配合。

17、在上述的实施方式中：调平器的第一机架和第二机架之间的滑动面被设计为相对于水平面倾斜的滑动面。第二机架沿着第一机架的表面以倾斜的方式，可以由低至高或由高至低进行滑动配合。

18、其中在一种实施方式中：所述支调组件包括第一板体和沿所述第一板体表面滑动配合的第二板体；所述第二板体的外部固设于所述调平组件的所述第一机架；所述第一板体的外部螺纹转动配合有用于输出所述第二线性自由度的第二螺纹杆，所述第二螺纹杆的轴头抵顶于所述第二板体。

19、在上述的实施方式中：支调组件由两个部分组成：第一板体和第二板体。第二螺纹杆上同样设有内六槽，方便工人进行调节。

20、其中在一种实施方式中：所述支调组件的数量为两个，其中一个所述支调组件的所述第二板体不与所述调平组件的所述第一机架连接，而是与另一个所述支调组件的所述第一板体固定连接；两个所述支调组件各自的第二线性自由度分别为x轴向和z轴向。

21、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

22、一、载荷均衡和承载能力提升：通过线性定心系统的均衡载荷传递和支调组件的分散载荷设计，本实用新型的技术成功解决了传统技术中的载荷不均衡和承载能力限制问题。这提高了整体调平器的稳定性和可靠性。

23、二、高精度调整：本实用新型的技术通过线性定心系统和螺纹杆的设计，实现了高精度的调整。这对于一些需要精确对位的应用非常重要，确保了调平的精度和稳定性。

24、三、多轴调整能力：本实用新型的技术通过支调组件的布置，实现了x、y和z轴向的多轴调整能力。这使得调平器可以在不同方向上进行精确的线性自由度调整，适应复杂对位需求。

25、四、灵活性和适应性：本实用新型的技术通过多轴调整和支调组件的布置，增强了调平器的灵活性和适应性。它可以应对多样化的调平需求，包括不同方向的调整和各种形状的设备。