一种狭小空间镜头切换机构的制作方法

本技术属于半导体行业检测设备光学结构设计领域，具体来说，涉及一种狭小空间镜头切换机构，尤其适用于检测设备中镜头位置精度要求非常高的情况。

背景技术：

1、在半导体检测设备光学结构设计中，常遇到镜头需要切换且镜头位置精度要求非常高的情况。目前常用的镜头切换方式有如下几种：(1)增加一块可移动的反射镜，反射镜移动到不同位置，切换不同的镜头。(2)镜头上增加移动机构，直接移动镜头，根据不同工况切换不同的镜头。

2、常用的镜头切换方式都是光学元件移动切换，每次切换由于运动机构的定位精度原因，光路可能发生变化，影响产品测试。此外，常用的镜头切换方式会占用很大的空间，影响其它光学结构的设计及整体光机的体积。

3、因此，设计一款占用空间小又能满足镜头位置精度的镜头切换机构对于半导体行业检测设备非常重要。目前，还没有一款适用于镜头位置精度要求非常高，且占用空间小的镜头切换机构。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是改善相关技术中需要移切换光学元件，而导致的镜头定位精度不够高、且占用空间较大的问题。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种狭小空间镜头切换机构，用于半导体行业检测设备，不仅镜头位置精度高，且占用空间小。

3、为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：

4、一种狭小空间镜头切换机构，其特征在于，包括镜座、镜头一、镜头二、反射镜、分光镜、切光件、与切光件连接的旋转组件、开设于镜座一侧的侧通孔、以及可供不同光路分别到达镜头一与镜头二的通道；所述通道包括通道一和通道二，所述通道一和通道二均由两段交叉连接的直通道组成，其中所述通道一的两段直通道分别连接侧通孔与分光镜、分光镜与镜头一，且分光镜位于所述两段直通道的交叉位置；所述通道二的两段直通道分别连接分光镜与反射镜、反射镜与镜头二，且反射镜位于所述两段直通道的交叉位置；所述切光件位于镜座中部，内部设置有倾斜放置的分光镜。

5、进一步的，所述反射镜位于镜座远离侧通孔一侧的中部，且倾斜放置；所述镜头一、镜头二位于镜座底部，且分别位于分光镜和反射镜下方。

6、进一步的，所述切光件为空心圆柱，所述切光件上设置有多个可实现通道一和通道二切换的通光孔。

7、进一步的，所述通光孔包括通光孔一、通光孔二和通光孔三，所述三个通光孔分布在切光件的同一高度，且通光孔一和通光孔二、通光孔二和通光孔三之间的径向角度均为90°。

8、优选的，所述反射镜、分光镜与水平线的倾斜角均为45°。

9、优选的，所述切光件的切光角度为90°。

10、优选的，所述切光件的通光孔处设置有滤波片。

11、优选的，所述旋转组件为电机或手动旋转组件。

12、本实用新型具有以下优点：本实用新型的狭小空间镜头切换机构，通过增加切光件和旋转组件，从而实现不移动光学元件且可以切换不同镜头，不仅镜头位置精度高，且占用空间小，可适用于狭小空间及镜头位置精度要求非常高且需要镜头切换的位置。

技术特征：

1.一种狭小空间镜头切换机构，其特征在于，包括镜座(1)、镜头一(2)、镜头二(3)、反射镜(4)、分光镜(5)、切光件(6)、与切光件(6)连接的旋转组件、开设于镜座(1)一侧的侧通孔(7)、以及可供不同光路分别到达镜头一(2)与镜头二(3)的通道；所述通道包括通道一(8)和通道二(9)，所述通道一(8)和通道二(9)均由两段交叉连接的直通道组成，其中所述通道一(8)的两段直通道分别连接侧通孔(7)与分光镜(5)、分光镜(5)与镜头一(2)，且分光镜(5)位于所述两段直通道的交叉位置；所述通道二(9)的两段直通道分别连接分光镜(5)与反射镜(4)、反射镜(4)与镜头二(3)，且反射镜(4)位于所述两段直通道的交叉位置；所述切光件(6)位于镜座(1)中部，内部设置有倾斜放置的分光镜(5)。

2.如权利要求1所述的一种狭小空间镜头切换机构，其特征在于，所述反射镜(4)位于镜座(1)远离侧通孔(7)一侧的中部，且倾斜放置；所述镜头一(2)、镜头二(3)位于镜座(1)底部，且分别位于分光镜(5)和反射镜(4)下方。

3.如权利要求1所述的一种狭小空间镜头切换机构，其特征在于，所述切光件(6)为空心圆柱，所述切光件(6)上设置有多个可实现通道一(8)和通道二(9)切换的通光孔(60)。

4.如权利要求3所述的一种狭小空间镜头切换机构，其特征在于，所述通光孔(60)包括通光孔一(601)、通光孔二(602)和通光孔三(603)，所述三个通光孔(60)分布在切光件(6)的同一高度，且通光孔一(601)和通光孔二(602)、通光孔二(602)和通光孔三(603)之间的径向角度均为90°。

5.如权利要求1-4任一项权利要求所述的一种狭小空间镜头切换机构，其特征在于，所述反射镜(4)、分光镜(5)与水平线的倾斜角均为45°。

6.如权利要求1-4任一项权利要求所述的一种狭小空间镜头切换机构，其特征在于，所述切光件(6)的切光角度为90°。

7.如权利要求1-4任一项权利要求所述的一种狭小空间镜头切换机构，其特征在于，所述切光件(6)的通光孔(60)处设置有滤波片。

8.如权利要求1-4任一项权利要求所述的一种狭小空间镜头切换机构，其特征在于，所述旋转组件为电机或手动旋转组件。

技术总结
本技术公开了一种狭小空间镜头切换机构，包括镜座、镜头一、镜头二、反射镜、分光镜、切光件、与切光件连接的旋转组件、开设于镜座一侧的侧通孔、以及可供不同光路分别到达镜头一与镜头二的通道；所述镜头一、镜头二分别位于分光镜和反射镜下方，所述切光件位于镜座中部，内部设置有倾斜放置的分光镜；所述切光件上设置有多个可实现通道一和通道二切换的通光孔。本技术的狭小空间镜头切换机构，可实现不移动光学元件且可以切换不同镜头，不仅镜头位置精度高，且占用空间小，可适用于狭小空间及镜头位置精度要求非常高且需要镜头切换的位置。

技术研发人员：温兴达,熊金磊,刘红星,请求不公布姓名
受保护的技术使用者：睿励科学仪器（上海）有限公司
技术研发日：20230825
技术公布日：2024/3/4