1.一种光源衰减监测方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述一种光源衰减监测方法，其特征在于，所述获取训练完备的光源衰减预测模型，包括：
3.根据权利要求2所述的一种光源衰减监测方法，其特征在于，所述根据预设的光源衰减样本数据，通过最小二乘法以及多项式回归算法对所述光源衰减样本数据进行拟合处理，得到拟合处理后的光源衰减样本数据，并基于所述拟合处理后的光源衰减样本数据，构建光源衰减预测模型，包括：
4.根据权利要求1所述的一种光源衰减监测方法，其特征在于，所述根据所述衰减预测值，确定光源设备的剩余使用时长，包括：
5.根据权利要求1所述的一种光源衰减监测方法，其特征在于，所述获取所述光源设备每次使用时的使用功耗，并基于所述使用功耗和预设的功耗阈值，发出预警信号，包括：
6.根据权利要求5所述的一种光源衰减监测方法，其特征在于，确定所述预设的功耗阈值，包括：
7.根据权利要求4所述的一种光源衰减监测方法，其特征在于，所述光源强度阈值为光刻最低要求光源强度。
8.一种光源衰减监测系统，其特征在于，包括：
9.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有多条指令，所述指令适用于由处理器加载并执行如权利要求1~7任意一项所述的方法。
10.一种电子设备，其特征在于，包括处理器、存储器、用户接口及网络接口，所述存储器用于存储指令，所述用户接口和所述网络接口用于给其他设备通信，所述处理器用于执行所述存储器中存储的指令，以使电子设备执行如权利要求1-7任意一项所述的方法。