专利名称：万向光束调节器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光学测量技术，是一种万向光束调节器，主要用于光学测量中迅速、准确地调整和控制测量光束的位置和方向。
光学测量法作为一种高精度检测手段已被广泛应用于机械制造行业中。利用激光干涉仪、准直光管等精密光学仪器，配合适当的测量方法，即可实现对各种被测参数的检测。对任何一种光学测量方法，测量光束的空间位置和方向都是至关重要的。能否迅速、准确地调整和控制测量光束的空间位置和方向，在很大程度上决定了测量效率和其方法的实用性光束调整定位越迅速、简单、测量效率就越高，越能在生产实践中广泛应用。
鉴于已有技术中提出的上述问题，本实用新型的目的在于，提供一种万向光束调节器，能迅速而精确地调整和控制光束，使固定入射光形成任意空间光束的组合光束。有利于对各种被测参数的检测。
直角座标系中任经一直线有α、β、γ三个方向角，三个方向角之间的关系为Cos2α+Cos2β+Cos2γ＝1故在直角座标系中，已知直线的二个方向角就能唯一确定该直线的方向。根据直线的特性，直线方向确定后，已知直线上一点即可唯一确定该直线的空间位置。而这点可取为直线与某座标面的交点，它由两座标值唯一确定。
根据以上分析，如将光束看成一直线，则用两平面反射镜分别绕两垂直轴转动和沿该轴平动，即可将反射光束控制在空间任意位置。
本实用新型的技术方案是采用相互平行的三个反射镜，它们与垂直轴(或水平轴)的夹角为45度。如图1(光路图)所示，来自激光干涉仪的激光束被固定反射镜M1反射到光束控制镜M2、M3，从M3反射出来的光束可在空间任意位置处形成测量基准，空间测量光束又被角锥镜M4反射回M3，然后再经M3、M2、M1反射回激光干涉仪，测量角锥镜M的位移。
本实用新型的具体结构如图2所示，由固定反射镜(1)、运动架(2)、垂直轴运动控制器(3)、垂直轴运动反射镜(4)，水平轴运动反射镜(5)和水平轴运动控制器(6)等部份组成。反射镜(1)、(4)、(5)之间相互平行并与垂直轴01－01(或水平轴02－02)成45度夹角。固定镜(1)相对于入射光束固定，用于将定向水平入射、光反射成为定向垂直入射光提供给变向反射镜(4)、(5)；垂直轴运动控制器(3)相对于反射镜(1)固定安装，可提供01－01轴的转动和沿01－01轴的平动运动，其运动可用手动或步进电机控制；运动架(2)安装主在垂直轴运动控制(3)上，可在其控制下实现绕01－01轴的转动和沿01－01轴的平动运动；垂直轴运动反射镜(4)固定安装在运动架(3)上，控制其水平反射光在水平面内转动及上下平动；水平运动控制器(6)固定安装在运动架(2)上，随运动架运动，并可提供绕02－02轴的转动和沿02－02轴的平动运动；水平轴运动反射镜(5)安装在水平轴运动控制器(6)上，控制其反射光(测量光)在垂直面内转动及沿02－02轴平动。
本实用新型通过两个运动反射镜独立运动的组合，即可迅速而精确地将定向光束转换成任意空间光束。
及实施例图1为本实用新型光路示意图；图2为本实用新型结构示意图；图中1——固定反射镜(平面镜M1)2——运动架；3——垂直轴运动控制器；4——垂直轴运动反射镜(平面镜M2)5——水平轴运动反射镜(平面镜M3)6——水平轴运动控制器；M4——角锥镜。
权利要求1.一种万向光束调节器，其特征在于由固定反射镜(1)、运动架(2)、垂直轴运动控制器(3)、垂直轴运动反射镜(4)、水平轴运动反射镜(5)和水平轴运动控制器(6)组成，其反射镜(1)、(4)、(5)之间相互平行并与垂直轴01-01和水平轴02-02成45度夹角；固定反射镜(1)相对于入射光束固定；垂直轴运动控制器(3)相对于反射镜(1)固定安装，可提供01-01轴的转动和沿01-01轴的平动运动；运动架(2)安装在垂直轴运动控制器(3)上，可在其控制下实现绕01-01轴的转动和沿01-01轴的平动运动；垂直轴运动反射镜(4)固定安装在运动架(2)上；水平轴运动控制器(6)固定安装在运动架(2)上，可提供绕02-02轴转动和沿02-02轴的平动运动；水平轴运动反射镜(5)安装在水平轴运动控制器(6)上。
专利摘要本实用新型涉及光学测量技术，是一种万向光束调节器。由固定反射镜(1)、运动架(2)、垂直轴运动控制器(3)、垂直轴运动反射镜(4)、水平轴运动反射镜(5)和水平轴运动控制器(6)构成。运动反射镜(4)可绕垂直轴01-01转动并沿轴平动；运动反射镜(5)可绕水平轴02-02转动并沿轴平动。通过两个运动反射镜的四个相互独立运动的组合，可迅速而精确地将水平定向光束转换成任意位置和方向上的空间光束。
文档编号G02B26/00GK2166467SQ93217109
公开日1994年5月25日 申请日期1993年6月26日 优先权日1993年6月26日
发明者欧阳健飞 申请人:欧阳健飞