化处理信号Κ/λο。
[0021] 图5是本发明所公开的信号归一化模块的结构示意图。如图5所示，该归一化模 块包括滤波器501、分压电路502、模拟运算电路503、峰值检测电路504、减法器电路505、积 分电路506。
[0022] 各个模块功能如下： a) 首先经过自动增益调整的输入信号巧虹经过滤波器501滤波后输入至分压电路 502 ； b) 分压电路502对输入的电压信号进行分压，保证输出信号校在模拟计算电路的输入 范围内； c) 模拟计算电路503为一个模拟除法器，其输出_ = 其中$是从502模块输入 的模拟信号，是从506模块输入的增益调整信号，巧的初始该值为0。参数k是输出电压的 倍数调节值，该值由电路结构决定。上电工作时因为很小近似于〇,模块503的增益非常 大，输出信号为饱和状态，而后通过后端电路的控制_逐渐增大，输出Κ/ΛΟ逐渐缩小， 最后当= 时完成调整，实现输出信号归一化； ：b d) 峰值检测电路504的主要功能是检测模拟计算电路503的输出信号幅值，并根据该 信号幅值和参考信号幅值的比较，改变增益控制信号1。
[0023] e)减法器电路505的正输入端为参考电压疗#，该信号由参考电压芯片提 供。减法器电路505的负输入端为峰值检测电路504的输出吻ea々。减法器输出信号 Vou t= Vref- Vpeak 〇
[0024] f)积分器电路506为反向积分器。当其输入信号0时，输出信号V2逐渐 增大，当其输入信号时，输出信号V 2逐渐减小； 当系统上电时。V2初始值为0。模块503的增益非常大，无论rpeA为多少，其输出信号 mo都非常大。经过峰值检测504模块后在减法器电路505上吻ea々远大于疗e/，此时 hyi=疗e/ -吻ea々为负值。积分器电路506对该值进行反向积分，使得增益控制信号￥2逐 渐增大。根据模拟计算电路503的输出吟夂-#计算可得输出信号增益控制信不断 h- 减小，直到心^^=疗e/ -吻ea々变为正值时，增益控制信号V2由于积分逐渐较小。输出信 号K//70逐渐增大。最终该输出信号K//70在-吻eaA =0附近做微小的徘徊， 此时通过计算可得險?: = M。所以对于不同幅值的输入电压输出信号的幅值最终都 h 将稳定在_?=%，归一化功能可以实现。 B:
[0025] 对本发明所公开的归一化方法和模块进行Pspice软件仿真，仿真后的模拟计算 电路、峰值检测电路、减法器电路及积分电路如图6至9所示。图6是本发明所涉及的信号 归一化模块的模拟计算电路的示意图，该模拟计算电路503使用AD734芯片实现。现输入 信号VPAG使用交流信号源模拟。图7是本发明所涉及的信号归一化模块的峰值检测电路 的示意图，峰值检测电路504使用运放LT1358以及整流二极管和电容、电阻来实现。图8 是本发明所涉及的信号归一化模块的减法器电路的示意图。图9是本发明所涉及的信号归 一化模块的积分电路的示意图，积分电路506使用积分器ACF2101，积分后的结果经过放大 后输入AD734的Xl端。针对不同输入信号，仿真结果如图10,图11所示。可见在输入信号 为峰峰值为0. 5V时，输出信号收敛于3. 5719V。当输入信号峰峰值为2V时，输出信号收敛 于3. 520V。输出信号基本相同，归一化功能实现。
[0026] 本说明书中所述的只是本发明的较佳具体实施例，以上实施例仅用以说明本发明 的技术方案而非对本发明的限制。凡本领域技术人员依本发明的构思通过逻辑分析、推理 或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在本发明的范围之内。
【主权项】
1. 一种光刻机用调焦调平信号的归一化方法，其特征在于，包括步骤： 步骤一、对经过自动调整的输入电压信号VPeA滤波后分压，形成一分压后输出电压信号V1； 步骤二、利用一增益调整信号v2对所述分压后输出电压信号Vi进行调整，以实现调整 后输出信号Vino的信号归一化；其中，所述增益调整信号V2根据所述输出信号Vino与一 参考信号YrM的比较而改变。2. 如权利要求1所述的归一化方法，其特征在于，所述利用一增益调整信号V2对所述 K 分压后输出电压信号I进行调整进一步包括：4 其中k是倍数调节值。3. 如权利要求1所述的归一化方法，其特征在于，所述增益调整信号V2根据所述输出 信号Vino与一参考信号YiM的比较而改变进一步包括：对所述输出信号Vino检测其峰值 电压Vpeak;对所述参考信号YrM和所述峰值电压Vpeak之差进行反向积分后输出所述增 益调整信号V2。4. 如权利要求1所述的归一化方法，其特征在于，所述增益调整信号V2从近似于0逐 渐增大。5.-种用于光刻机调焦调平系统的归一化装置，其特征在于，包括： 一滤波器，用于对一输入信号VPM滤波； 一分压电路，对所述滤波器的输出信号进行分压后形成分压后输出电压信号I; 一模拟运算电路，用于利用一增益调整信号v2对所述分压后输出电压信号Vi进行调 整，以实现调整后输出信号Vino的信号归一化； 一峰值检测电路，用于检测所述输出信号Vino的峰值电压Vpeak; 一减法器电路，用于获得一参考信号Vref和所述峰值电压Vpeak之差； 一积分电路，用于对所述减法器电路的输出信号反向积分并形成所述增益调整信号V2〇6. 如权利要求5所述的归一化装置，其特征在于，所述峰值检测电路由LT1358运放器、 整流二极管、电阻和电容组成。7. 如权利要求5所述的归一化装置，其特征在于，所述减法器电路由LT1358运放器及 差动放大器组成。8. 如权利要求5所述的归一化装置，其特征在于，所述积分电路通过ACF2101积分器实 现。9. 如权利要求5所述的归一化装置，其特征在于，所述模拟运算电路通过AD734芯片实 现。
【专利摘要】本发明公开一种光刻机用调焦调平信号的归一化方法，其特征在于，包括步骤：步骤一、对经过自动调整的输入电压信号滤波后分压，形成一分压后输出电压信号<i>V1</i>；步骤二、利用一增益调整信号<i>V2</i>对所述分压后输出电压信号<i>V1</i>进行调整，以实现调整后输出信号<i>Vino</i>的信号归一化；其中，所述增益调整信号<i>V2</i>根据所述输出信号<i>Vino</i>与一参考信号<i>Vref</i>的比较而改变。
【IPC分类】G05B19/042, G03F7/20
【公开号】CN105093837
【申请号】CN201410190738
【发明人】顾俊, 王海江, 程鹏
【申请人】上海微电子装备有限公司
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2014年5月7日