一种可调焦的高功率聚焦透镜的制作方法_2

文档序号:8942040阅读:来源:国知局
机805、X向丝杠副、两个第四导轨804和两个第四滑块807 ;
[0019]移动透镜溜板802的中部加工有与透光通孔7011贯通的通光孔8011,透光通孔7011与通光孔8011同轴设置,导轨驱动电机805和两个第四导轨804安装在过渡透镜溜板602的另一侧面上,第四滑块807滑动安装在第四导轨804上,导轨驱动电机805的输出端与X向丝杠副的丝杠808连接,X向丝杠副的丝母809与其中一个第四滑块807连接,移动透镜溜板802的一侧面安装在两个第四滑块807上,移动透镜溜板802的另一侧面与透镜移动组件102连接。其它与【具体实施方式】五相同。
[0020]工作过程
[0021]结合图1-图10说明,在安装过程中,先将X向位置调整组件、Y轴位置调整组件与Z向位置调整组件连接,再将四倍频透镜座安装在X向位置调整组件和Y轴位置调整组件上,实现透镜LRU (可替换单元)组件与X向位置调整组件、Y轴位置调整组件的连接,最后在四倍频透镜压盖上安装透镜屏蔽片组件。安装完毕后,依次控制X向位置调整组件、Y轴位置调整组件与Z向位置调整组件上各自的驱动组件实现X方向、Y方向和Z方向上的平移,将激光束精确定位在聚焦靶点上。
【主权项】
1.一种可调焦的高功率聚焦透镜,其特征在于:它包括透镜屏蔽片组件(101)、透镜替换单元组件(102)、X向位置调整组件(603)、Y向位置调整组件(601)和Z向位置调整组件(104); 透镜屏蔽片组件(101)安装在透镜替换单元组件(102)上,透镜替换单元组件(102)安装在X向位置调整组件(603)上,所述X向位置调整组件(603)用于驱动透镜驱动组件(102)在X方向上移动,X向位置调整组件(603)安装在Y向位置调整组件(601)上,Y向位置调整组件(601)用于驱动X向位置调整组件(603)在Y方向移动,Y向位置调整组件(601)安装在Z向位置调整组件(104)上,Z向位置调整组件(104)用于驱动Y向位置调整组件(601)在Z方向移动。2.根据权利要求1所述的一种可调焦的高功率聚焦透镜,其特征在于:所述Z向位置调整组件(104)包括透镜调焦镜筒(201)、透镜壳体(204)和驱动组件(403);驱动组件(403)包括电机(504)、电机座(503)、Z向丝杠副和支撑板(501); 透镜壳体(204)为筒式壳体,透镜调焦镜筒(201)、驱动组件(403)均布置在透镜壳体(204)内,电机(504)安装在电机座(503)上,电机座(503)安装在透镜壳体(204)上,支撑板(501)安装在透镜壳体(204)上,Z向丝杠副的丝杠(506)通过轴承座(505)安装在支撑板(501)上,电机(503)的输出端连接Z向丝杠副的丝杠(506),Z向丝杠副的丝母(507)与透镜调焦镜筒(201)连接,Y向位置调整组件¢01)安装在透镜调焦镜筒(201)的端面上。3.根据权利要求2所述的一种可调焦的高功率聚焦透镜,其特征在于:驱动组件(403)还包括下直线导轨(4013)、上导轨基座(404)、下导轨基座(405)、下滑块基座(4023)、两个上直线导轨(4012)和两个上滑块基座(4021); 下滑块基座(4023)安装在透镜调焦镜筒(201)的下部,下直线导轨(4013)安装在下滑块基座(4023)的下部,下导轨基座(405)安装在透镜壳体(204)上,下直线导轨(4013)滑动布置在下导轨基座(405)上;上导轨基座(404)安装在透镜调焦镜筒(201)的上部,上导轨基座(404)上沿透镜调焦镜筒(201)的轴向并列安装有两个上直线导轨(4012),两个上滑块基座(4021)分别与丝杠副的丝母(507)连接,上直线导轨(4012)滑动布置在上滑块基座(4021)上。4.根据权利要求3所述的一种可调焦的高功率聚焦透镜,其特征在于:所述驱动组件(403)还包括联轴器(502),电机(504)的输出端通过联轴器(502)与Z向丝杠副的丝杠(506)连接。5.根据权利要求2、3或4所述的一种可调焦的高功率聚焦透镜,其特征在于:Y向位置调整组件(601)包括Y向导轨驱动组件、过渡透镜溜板(602)和过渡导轨基板(701),Y向导轨驱动组件包括驱动电机(705)、Υ向丝杠副、两个第三导轨(704)和两个第三滑块(707); 过渡导轨基板(701)和透镜过渡溜板¢02)的中部加工有同轴设置的透光通孔(7011),过渡导轨基板(701)的一侧面安装在透镜调焦镜筒(201)上,导轨基板(701)的另一侧面安装有驱动电机(705)和两个第三导轨(704);第三滑块(707)滑动安装在第三导轨(704)上,驱动电机(705)的输出端与Y向丝杠副的丝杠(708)连接,Y向丝杠副的丝母(709)与其中一个第三滑块(707)连接,过渡透镜溜板(602)的一侧面安装在两个第三滑块(707)上,X向位置调整组件(603)安装在过渡透镜溜板¢02)的另一侧面上。6.根据权利要求5所述的一种可调焦的高功率聚焦透镜,其特征在于:X向位置调整组件(603)包括X向导轨驱动组件和移动透镜溜板(802),X向导轨驱动组件包括导轨驱动电机(805)、X向丝杠副、两个第四导轨(804)和两个第四滑块(807); 移动透镜溜板(802)的中部加工有与透光通孔(7011)贯通的通光孔(8011),透光通孔(7011)与通光孔(8011)同轴设置,导轨驱动电机(805)和两个第四导轨(804)安装在过渡透镜溜板(602)的另一侧面上,第四滑块(807)滑动安装在第四导轨(804)上,导轨驱动电机(805)的输出端与X向丝杠副的丝杠(808)连接,X向丝杠副的丝母(809)与其中一个第四滑块(807)连接,移动透镜溜板(802)的一侧面安装在两个第四滑块(807)上,移动透镜溜板(802)的另一侧面与透镜移动组件(102)连接。
【专利摘要】一种可调焦的高功率聚焦透镜,它涉及一种聚焦透镜,以解决现有高功率激光的大口径聚焦透镜不能精确移动,无法实现精确聚焦及多束高能激光聚焦到空间某一微小截面内存在困难的问题,它包括透镜屏蔽片组件、透镜替换单元组件、X向位置调整组件、Y向位置调整组件和Z向位置调整组件;透镜屏蔽片组件安装在透镜替换单元组件上,透镜替换单元组件安装在X向位置调整组件上,所述X向位置调整组件用于驱动透镜驱动组件在X方向上移动,X向位置调整组件安装在Y向位置调整组件上,Y向位置调整组件用于驱动X向位置调整组件在Y方向移动,Y向位置调整组件安装在Z向位置调整组件上。本发明用于聚焦透镜调焦。
【IPC分类】G02B7/04, G02B7/02
【公开号】CN105158870
【申请号】CN201510658500
【发明人】张鹏, 于福利, 白清顺, 刘保麟, 卢礼华
【申请人】哈尔滨工业大学
【公开日】2015年12月16日
【申请日】2015年10月12日
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