一种ito和波片组合器件的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明专利涉及光学领域中的一种光学器件，尤其是一种ITO和波片组合器件。
【背景技术】
[0002] ITO薄膜是一种n型半导体材料，具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械 硬度和良好的化学稳定性。因此，它是液晶显示器（IXD)、等离子显示器（PDP)、电致发光显 示器（EL/0LED)、触摸屏（TouchPanel)、太阳能电池以及其他电子仪表的透明电极最常用 的薄膜材料。
[0003] 波片，能使两个在相互垂直方向上振动的场矢量产生一定的光程差或者相位差的 元件，波片能对振动方向相互垂直的两束线偏振光产生连续改变即可控制的相位差。
[0004] 因此，将ITO和波片组合为一器件，在医学、科研等领域有着广泛的应用，但在应 用中，对器件的整体透过波前畸变需要满足RMS〈0. 2A@632. 8nm，才能保证图像不失真。
【发明内容】
[0005] -种ITO和波片的组合器件，需要解决以下难点： 难点一：波片的延迟量需要在A/4±A/75@674-700nm;解决方法为加工成真零级波 片； 难点二：真零级波片的厚度只有0. 019mm，非常薄，操作易碎；解决方法为增加玻璃衬 底，加工工艺为，波片先加工成低级波片，玻璃衬底的双面抛光，同过胶水(或光胶）连接；然 后再将波片加工到真零级波片。
[0006]难点三：胶合（或光胶）真零级波片的承受的温度不宜高于100°C，一般镀制增透 膜在200°C左右；解决方法为采用进口镀膜机冷镀工艺，温度控制在100°C以内。
[0007] 难点四：IT0镀制温度很高，胶合(或光胶）真零级波片不能承受高温；解决方法为 新增加一片玻璃衬底，在新的玻璃衬底上镀制IT0,最后将ITO玻璃和胶合（或光胶）真零 级波片胶合(或者光胶)。
[0008] 难点五：如果通过胶合胶合零级ITO玻璃和胶合（或光胶）真零级波片，因为整体 的产品厚度小于1_，采用N0A61等紫外胶水容易变形，整体透过畸变满足不了小于0. 2入 的要求；解决方法为采用低应力的N0A89胶水连接。
[0009] 通过以上方案的实施，本发明最终一种ITO和波片的组合器件，包括IT0、两片玻 璃衬底和一片真零级波片，其中一片玻璃衬底的一面镀有ITO层；另一片玻璃衬底和真零 级波片连接，真零级波片的非连接面镀有一层增透膜；然后两片玻璃衬底连接成一个整体 结构，整体的透射波前畸变RMS〈0. 2A@632. 8nm。
[0010] 进一步的，真零级波片的延迟量满足A/4±A/75@674-700nm，增透膜的反射率满 足Rp，Rs〈0.5%@(674-700)nm,Rp，Rs〈0.9%@(440-674)nm,A0I=0-16。。
[0011] 进一步的，ITO表面的电阻率为28Q+110Q，ITO层的最大电功率为5sec的峰值 功率 6 瓦，连续功率 3 瓦。反射率满足Rp，Rs〈2. 0%@ (674-700)nm,Rp,Rs〈0. 5%@ (440-674) nm,A0I=0_16° 。
[0012] 更进一步的，整体反射率Rp，Rs<I. 5%@(674-700)nm，Rp，Rs< 2. 5%@(470-674) nm，Rp，Rs< 3%@ (440-470)nm，AOI=O。~16。。
【附图说明】
[0013] 图1为本发明的简易结构； 图2为本发明的完成结构。 具体实施例
[0014] 根据本
【发明内容】
，如图1，采用玻璃衬底12、14以及真零级波片16,具体工艺为先 将16加工成低级波片，玻璃衬底14双面抛光，然后胶合连接，再将低级波片加工成真零级 波片。如图2,在胶合真零级波片的表面26镀制一层增透膜，反射率要求为Rp，Rs〈0. 5%@ (674-700)nm,Rp，Rs〈0.9%@(440-674)nm,A0I=0-16° 。
[0015] 如图2,玻璃衬底12双面抛光，在表面21面镀制一层ITO膜，要求为ITO表面的 电阻率为28Q+IlOQ，反射率满足Rp，Rs〈2. 0%@(674-700)nm,Rp,Rs〈0. 5%@(440-674)nm, A0I=0-16° 。
[0016] 如图2,将玻璃衬底12和14的两个表面22和23通过N0A89胶水胶合，通过固化 并满足整体透射波前畸变RMS〈0. 2A@632. 8nm。试验分析光胶、N0A61胶水、N0A89胶水连 接的透射波前畸变如下表：
从表格看出，光胶或低应力N0A89胶水连接，测试的器件整体透射波前畸变最好，畸变RMS〈0. 2A@632. 8nm。
[0017] 以上，仅为本发明的较佳实施例，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本 技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在 本法的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求界定的保护范围为准。
【主权项】
1. 一种ITO和波片组合器件，包括ITO、两片玻璃衬底和一片真零级波片，其中一片 玻璃衬底的一面镀有ITO层；另一片玻璃衬底和真零级波片连接，真零级波片的非连接 面镀有一层增透膜；然后两片玻璃衬底连接成一个组合器件，器件的整体透射波前畸变 RMS〈0. 2A@632. 8nm。2. 根据权利要求1所述的一种ITO和波片组合的器件，其特征在于：真零级波片的延 迟量为A/4±A/75@674-700nm。3. 根据权利要求1所述的一种ITO和波片组合的器件，其特征在于：IT0表面的电 阻率为 28Q+110Q，反射率满足Rp，Rs〈2. 0%@(674-700)nm,Rp,Rs〈0. 5%@(440-674)nm, A0I=0-16° 。4. 根据权利要求I所述的一种ITO和波片组合器件，其特征在于：真零级波片的 增透膜波长为 440-700nm，满足Rp，Rs〈0. 5%@ (674-700)nm,Rp,Rs〈0. 9%@ (440-674)nm, A0I=0-16° 。5. 根据权利要求1所述的一种ITO和波片组合器件，其特征在于：整体反射率Rp， Rs< 1.5%@(674-700)nm，Rp，Rs< 2. 5%@(470-674)nm，Rp，Rs< 3%@(440-470)nm， A0I=0° ~16° 。6. 根据权利要求1所述的一种ITO和波片组合器件，其特征在于：IT0层的最大电功率 为5sec的峰值功率6瓦，连续功率3瓦。7. 根据权利要求1所述的一种ITO和波片组合器件，其特征在于：两片玻璃衬底的连 接方式为光胶或者N0A89胶水胶合，才能满足整体的透射波前畸变RMS〈0. 2A@632. 8nm。
【专利摘要】本发明公开了一种ITO和波片组合器件，包括ITO、两片玻璃衬底和一片真零级波片，其中一片玻璃衬底的一面镀有ITO层；另一片玻璃衬底和真零级波片连接，真零级波片的非连接面镀有一层增透膜；然后两片玻璃衬底连接成一个组合器件，器件的整体透射波前畸变RMS<0.2λ632.8nm。此加工工艺稳定，面型指标优异，加工效率高，适合大批量生产。
【IPC分类】G02B5/30, G02B1/11
【公开号】CN105223637
【申请号】CN201510678691
【发明人】朱一村, 吴季, 陈伟, 王昌运
【申请人】福建福晶科技股份有限公司
【公开日】2016年1月6日
【申请日】2015年10月20日