光学发射/接收模块的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种光学发射/接收模块，具体地，涉及一种设置有用于减小漫射光的光学发射/接收模块。
【背景技术】
[0002]广泛使用的光纤通信系统主要包括发射器、与发射线相对应的光纤和接收器。
[0003]在光波导型发射器和光纤之间的连接点处，从电信号转换而来的光信号从发射器内的光波导输入到光纤。输入到光纤的光信号随后通过光纤发射。在光波导型接收器和光纤之间的连接点处，发射的光信号被输入到接收器的光波导。输入到光波导的光信号之后被输入到诸如光电二极管(PD)的光接收元件，在该光接收元件中光信号被转换为电信号。
[0004]在上述接收器和发射器被模块化为一个整体的光发射/接收模块中，多个光学器件被布置在模块内的光波导上。多个光学器件包括与光源相对应的激光二极管(LD)、与光接收元件相对应的ro等。
[0005]在具有这种配置的光发射/接收模块中，在从光源发射的光信号中，未被耦合到光波导中的光分量成为“漫射光”。漫射光在光波导的衬底外部或内部传播。具体地，在衬底内部传播的漫射光成为信号中增加噪声的原因，这是因为其重新进入光波导或进入与光波导连接的光接收元件。
[0006]针对该问题，已知以下专利文献1至专利文献3是用于消除如上所述产生的漫射光的方法。
[0007]图6是示出在专利文献1中描述的光调制器的截面的视图。在专利文献1中，光调制器被描述为形成在薄板102的上表面或下表面的光波导101，并且漫射光消除装置(图6中的光吸收部分103)被布置在薄板102内或接近薄板102。
[0008]图7是示出在专利文献2中描述的光1C(集成电路)的视图。在图7的光1C中，光波导101形成在衬底104的上表面，并且大致与光波导101平行的沟槽(三角形沟槽105)以大致与光波导101相对的方式形成在衬底104的下表面。构成沟槽(三角形沟槽105)的表面不与衬底104的下表面垂直或平行。专利文献3描述了一种设置有漫射光反射装置的光学器件，用于引导在形成有光波导的薄板外部的漫射光。
[0009]引用文献列表
[0010]专利文献
[0011][专利文献1]日本专利申请公开N0.2006-276518
[0012][专利文献2]日本专利申请公开N0.2001-264553
[0013][专利文献3]日本专利申请待审公开N0.2007-272121。
【发明内容】
[0014]发明要解决的技术问题
[0015]在用于发射的光源和用于接收的光接收元件被布置在光发射/接收模块的相同衬底上的情况下，在光源发光时产生的漫射光可能会在衬底内部传播之后进入光接收元件。然而，对于具有这种配置的光发射/接收模块，不能应用专利文献1至专利文献3的消除漫射光的技术，原因在于:
[0016]专利文献1中的漫射光消除装置(在图6中，光吸收单元103)主要沿光波导101布置。因此，在专利文献1中描述的漫射光消除装置仅可以有效地消除形成在光波导101上的薄板102中的漫射光、以及在与光波导101的纵向方向垂直的方向传输的漫射光。
[0017]专利文献2中的沟槽(图7中的三角形沟槽105)也沿光波导101布置，并且其反射漫射光分量中的与光波导101的纵向方向垂直传输的漫射光分量。因此，在专利文献2和专利文献3中描述的配置也仅可以有效地消除沿与光波导的纵向方向垂直的方向传输的漫射光。
[0018]由于这些原因，在具有上述配置的光发射/接收模块中，即使对其应用专利文献1至专利文献3中描述的配置，在光源发光时产生的漫射光仍然可能在衬底内部传播之后进入光接收元件。结果，在同时执行发射和接收的全双工操作的情况下，噪声可能被添加到由光接收元件接收到的信号中，因此，光接收元件的接收敏感度会劣化。
[0019]本发明的目的在于解决上述问题，并且相应地提供一种减小光接收元件的接收敏感度的劣化的光发射/接收模块。
[0020]解决问题的方案
[0021]本发明的一种光发射/接收模块包括:衬底；光接收元件，设置在所述衬底上；光源，设置在所述衬底上；光波导，形成在所述衬底上且具有转向点；滤光器，布置在所述光波导和所述光接收元件之间，其中:所述光波导的一端与所述光源光连接，并在所述转向点处与所述光接收元件光连接；以及漫射光消除部，设置在所述光接收元件和所述光波导的所述一端之间的所述衬底的一部分中。
[0022]发明的有益效果
[0023]本发明的光发射/接收模块可以减小光接收元件的接收敏感度的劣化。
【附图说明】
[0024]图1A是在本发明的第一示例性实施例中光发射/接收模块的顶视图。
[0025]图1B是在本发明的第一示例性实施例中光发射/接收模块的侧视图。
[0026]图2A是在本发明的第一示例性实施例中采用了另一种类型的漫射光消除部的光发射/接收模块的底视图。
[0027]图2B是在本发明的第一示例性实施例中采用了另一种类型的漫射光消除部的光发射/接收模块的侧视图。
[0028]图3A是在本发明的第一示例性实施例中采用了另一种类型的漫射光消除部的光发射/接收模块的底视图。
[0029]图3B是在本发明的第一示例性实施例中采用了另一种类型的漫射光消除部的光发射/接收模块的侧视图。
[0030]图4A是在本发明的第一示例性实施例中覆盖有光吸收材料的光发射/接收模块的示例的顶视图。
[0031]图4B是在本发明的第一示例性实施例中覆盖有光吸收材料的光发射/接收模块的示例的侧视图。
[0032]图5A是示出本发明的光发射/接收模块的示例的顶视图。
[0033]图5B是示出本发明的光发射/接收模块的示例的侧视图。
[0034]图6是示出在专利文献1中描述的光调制器的截面的视图。
[0035]图7是示出在专利文献2中描述的光1C的视图。
【具体实施方式】
[0036][第一不例性实施例]
[0037]在下文中，将使用附图描述本发明的示例性实施例。然而，示例性实施例不限制本发明的范围。
[0038][配置的描述]
[0039]图1A和图1B分别是本示例性实施例的光发射/接收模块200的顶视图和侧视图。第一示例性实施例的光发射/接收模块200包括衬底1、光波导2、光接收元件3、漫射光消除部5、光源6和滤光器7。
[0040]如图1A中所不，在衬底1上形成的光波导2具有转向点4a、一端4b和另一端4c。光接收元件3布置在衬底1上，并在转向点4a处与光波导2光连接。光接收元件3经由滤光器7在转向点4a处接收通过光波导2传输的光。光源6布置在衬底1上。光源6的一端4b与光波导2光连接。从光源6发射的光在一端4b处親合到光波导2中，并随后在光波导2中传播。在另一端4c，在光波导2中传播的发射光耦合到模块外部的光传输线路中，并随后在光传输线路中传输。滤光器7布置在光波导2的转向点4a和光接收元件3之间。滤光器7使从模块外部的光传输线路进入光波导2的光通过。另一方面，滤光器7对从光源6发射的光进行全反射。
[0041]对于光波导2，从滤光器7到另一端4c的部分被称为光波导2c，并且从一端4b到滤光器7的部分被称为光波导2d。通过滤光器7的入射光由光接收元件3接收。另一方面，被滤光器7全反射的发射光通过光波导2c传播，并随后在另一端4c处入射到模块外部的光传输线路等上。
[0042]此外，如图