98]这样，在该情况下最好如图19所示，使间隙G22的初始值小于间隙G21的初始值。而且，在最先驱动第一段电极62的情况下，只要使间隙G21的初始值小于间隙G22的初始值即可。
[0199]3.分析设备
[0200]图20是表示作为本发明的一个实施方式的分析设备的一例的测色器的概略构成的框图。
[0201]图20中，测色器200具备光源装置202、分光测定装置203、测色控制装置204。该测色器200从光源装置202向检查对象A射出例如白光，使作为由检查对象A反射的光的检查对象光射入到分光测定装置203。此后，利用分光测定装置203将检查对象光分光，实施测定分光了的各波长的光的光量的分光特性测定。换言之，使作为由检查对象A反射的光的检查对象光射入到作为光滤波器的标准具(etalon)lO，实施测定从标准具10中透过的透过光的光量的分光特性测定。此后，测色控制装置204基于所得的分光特性，进行检查对象A的测色处理，即，分析以何种程度含有哪个波长的颜色。
[0202]光源装置202具备光源210、多个透镜212(图1中仅记载了 I个)，向检查对象A射出白色光。另外，在多个透镜212中，包含准直透镜，光源装置202将从光源210中射出的白色光利用准直透镜设为平行光，从未图示的投射透镜向检查对象A射出。
[0203]分光测定装置203如图20所示，具备标准具10、作为受光部的受光部220、驱动电路230、控制电路部240。另外，分光测定装置203在与标准具10对置的位置，具备将由检查对象A反射的反射光(测定对象光)导向内部的未图不的入射光学透镜。
[0204]受光部220由多个光电交换元件构成，生成与受光量对应的电信号。此外，受光部220被与控制电路部240连接，将所生成的电信号作为受光信号向控制电路部240输出。
[0205]驱动电路230被与标准具10的第一电极60、第二电极70及控制电路部240连接。该驱动电路230基于从控制电路部240输入的驱动控制信号，向第一电极60及第二电极70之间施加驱动电压，使第二基板30移动至规定的变位位置。作为驱动电压，只要按照在第一电极60与第二电极70之间产生所需的电位差的方式施加即可，例如也可以对第一电极60施加规定的电压，将第二电极70设为接地电位。作为驱动电压，优选使用直流电压。
[0206]控制电路部240控制分光测定装置203的整体动作。该控制电路部240如图20所示，例如由CPU250、存储部260等构成。此外，CPU350基于存储于存储部260中的各种程序、各种数据，实施分光测定处理。存储部260例如具备存储器或硬盘等存储介质，将各种程序、各种数据等能够恰当地读出地存储。
[0207]这里，在存储部260中，作为程序，存储有电压调整部261、间隙测定部262、光量识别部263以及测定部264。而且，间隙测定部262也可以如上所述地省略。
[0208]另外，在存储部260中，存储有对为了调整第一间隙Gl的间隔而对静电致动器80、90施加的电压值、以及施加该电压值的时间加以关联的图8所示的电压表数据265。
[0209]测色控制装置204被与分光测定装置203及光源装置202连接，实施光源装置202的控制、基于利用分光测定装置203取得的分光特性的测色处理。作为该测色控制装置204，例如可以使用通用的个人计算机、携带信息终端，此外还可以使用测色专用计算机等。
[0210]此外，测色控制装置204如图20所示，具备光源控制部272、分光特性取得部270及测色处理部271等。
[0211]光源控制部272被与光源装置202连接。此外，光源控制部272例如基于使用者的设定输入，向光源装置202输出规定的控制信号，从光源装置202中射出规定的亮度的白色光。
[0212]分光特性取得部270被与分光测定装置203连接，取得从分光测定装置203输入的分光特性。
[0213]测色处理部271基于分光特性，实施测定检查对象A的色度的测色处理。例如，测色处理部271将从分光测定装置203取得的分光特性图表化，实施向未图示的打印机或显示器等输出装置输出等处理。
[0214]图21是表示分光测定装置203的分光测定动作的流程图。首先，控制电路部240的CPU250使电压调整部261、光量识别部263及测定部264起动。另外，CPU250作为初始状态，将测定次变数η初始化(设定为n = 0)(步骤SI)。而且，测定次变数η取O以上的整数的值。
[0215]之后，测定部264在初始状态下，S卩，在未对静电致动器80、90施加电压的状态下，测定透过标准具10的光的光量(步骤S2)。而且，该初始状态下的第一间隙Gl的大小例如也可以在分光测定装置的制造时预先测定，存储于存储部260中。此后，将在这里得到的初始状态的透过光的光量及第一间隙Gl大小向测色控制装置204输出。
[0216]然后，电压调整部261将存储于存储部260中的电压表数据265读入(步骤S3)。另外，电压调整部261在测定次变数η上加上“I”(步骤S4)。
[0217]之后，电压调整部261从电压表数据265中，取得与测定次变数η对应的第一、第二电极62、64的电压数据及电压施加期间数据(步骤S5)。此后，电压调整部261向驱动电路230输出驱动控制信号，实施依照电压表数据265的数据来驱动静电致动器80、90的处理(步骤S6)。
[0218]另外，测定部264在经过施加时间的时刻，实施分光测定处理(步骤S7)。即，测定部264利用光量识别部263测定透过光的光量。另外，测定部264进行向测色控制装置204输出将测定出的透过光的光量和透过光的波长加以关联了的分光测定结果的控制。而且，对于光量的测定，也可以将多次或所有次数的光量的数据预先存储于存储部260中，在取得多次的每一次光量的数据或所有的光量的数据后，集中测定各个光量。
[0219]之后，CPU250判断测定次变数η是否达到最大值N(步骤S8)，当判断为测定次变数η为N时，即结束一连串的分光测定动作。另一方面，在步骤S8中，测定次变数η小于N的情况下，回到步骤S4，实施在测定次变数η上加上“I”的处理，反复进行步骤S5?步骤S8的处理。
[0220]4.光设备
[0221]图22是表示作为本发明的一个实施方式的光设备的一例的波分多路复用通信系统的发射机的概略构成的框图。在波分多路复用(WDM: Wavelength Divis1nMultiplexing)通信中，如果利用波长不同的信号不会相互干涉的特性，在一条光纤内多路地使用波长不同的多个光信号，则可以不增设光纤线路地提高数据的传输量。
[0222]图22中，波分多路复用发射机300具有被射入来自光源301的光的光滤波器10，从光滤波器10中透过多个波长入0八1、\2、-_的光。对每个波长设置发射机311、312、313。来自发射机311、312、313的多个通道的光脉冲信号由波分多路复用装置321合并为I个而向一条光纤传输路331送出。
[0223]本发明也可以同样地应用于光码分复用(OCDM: Opti cal Code Divis1nMultiplexing)发射机中。O⑶M利用编码了的光脉冲信号的模式比对来识别通道，这是因为，构成光脉冲信号的光脉冲含有不同的波长的光成分。
[0224]以上虽然对几个实施方式进行了说明，然而对于本领域技术人员来说可以很容易地理解，可以进行在实质上不脱离本发明的新事项及效果的很多变形。这种变形例全都包含于本发明的范围中。例如，在说明书或附图中，至少一次可以将与更为广义或同义的不同用语一起记载的用语在说明书或附图的任何的部位置换为该不同的用语。
[0225]本发明中，并不限于仅在第一基板20中设置阶梯差的情况，可以在第一、第二基板20、30的至少一方中形成阶梯差。例如，在图1中，虽然将形成有阶梯差的第一基板20设为固定基板，然而也可以将第一基板20设为可动基板。将在图1的作为可动基板的第二基板30中设有阶梯差38的本发明的其他实施方式表示于图23中。如图23所示，图23中，第二基板30与第一基板20对置的第二对置面30A具有:形成有第二反射膜40的第一面30A1、俯视时配置于第一面30A1的周围而形成有第二电极70的第二面30A2。第一面30A1与第二面30A2并非同一面，在第一面30A1与第二面30A2之间具有阶梯差38，将第一面30A1—方设定于比第二面30A2更靠近第一基板20的位置。这样，在电压的未施加状态下的初始值下，成立第一间隙Gl〈第二间隙G2的关系。
[0226]这里，如果在图23中将第二基板30的与第二对置面30A相反一侧的面设为平坦面，则可以利用阶梯差38，将形成有第二反射膜50的区域设为厚壁部32。像这样，就可以维持第二反射膜50的平行度地使第二基板30可动。
[0227]而且，如上所述，可以将一对对置基板20、30中的形成有阶梯差的一方称作第一基板，在图23中也可以将第二基板30、第二反射膜50及第二电极70分别称作第一基板、第一反射膜及第一电极。另外，在图23的实施方式中，也可以在第二基板30侧，或者在第一、第二基板20、30双方形成与图19的阶梯差24相当的阶梯。此时，优选按照将形成有第二电极70的区域设为薄壁部34的方式，在第二基板30的与第二对置面30A相反一侧的面中也形成阶梯差。
[0228]图24表示在第一、第二基板20、30中分别设有图1及图23所示的阶梯22、38的本发明的另一个实施方式。即使如此，在电压的未施加状态下的初始值下，第一间隙GK第二间隙G2的关系也成立。在图24的实施方式中，也可以在第二基板30侧，或者在第一、第二基板20、30双方中形成与图19的阶梯差24相当的阶梯差。
【主权项】
1.一种光滤波器的驱动方法，其特征在于， 在包括第一反射部和第二反射部，控制上述第一反射部与上述第二反射部之间的第一间隔的光滤波器的驱动方法中，包括: 向第一电极与和上述第一电极对置的第二电极之间施加第一电压的步骤；以及向被配置于上述第一电极与上述第一反射部之间且和上述第二电极对置的第三电极与上述第二电极之间施加第二电压的步骤。2.根据权利要求1所述的光滤波器的驱动方法，其特征在于， 上述第一间隔比上述第一电极与上述第二电极之间的第二间隔窄。3.根据权利要求1所述的光滤波器的驱动方法，其特征在于， 在施加上述第一电压的期间施加上述第二电压。4.根据权利要求3所述的光滤波器的驱动方法，其特征在于， 上述第一电压是施加于上述第一电极与上述第二电极之间的电压中的最大电压。5.根据权利要求4所述的光滤波器的驱动方法，其特征在于， 在上述第一电压成为上述最大电压之后，施加上述第二电压。6.一种光滤波器，其特征在于，包括: 第一反射部； 第二反射部，其与上述第一反射部对置； 第一电极； 第二电极，其与上述第一电极对置； 第三电极，其被配置于上述第一电极与上述第一反射部之间，且与上述第二电极对置，其中，上述第一反射部与上述第二反射部之间的第一间隔比上述第一电极与上述第二电极之间的第二间隔窄。7.根据权利要求6所述的光滤波器，其特征在于，还包括: 第一基板，其被配置为经由上述第一反射部与上述第二反射部对置；以及 第二基板，其被配置为经由上述第二反射部与上述第一反射部对置。8.根据权利要求7所述的光滤波器，其特征在于， 上述第一反射部被配置在上述第一基板的第一面上， 上述第一电极以及上述第三电极被配置在上述第一基板的第二面上， 上述第一基板在上述第一面与第二面之间具有与上述第一面以及上述第二面交叉的第三面。9.根据权利要求7所述的光滤波器，其特征在于， 在上述第二基板中，与上述第二反射部重叠的区域的厚度比与上述第二电极重叠的区域的厚度厚。10.一种分析设备，其特征在于， 包括权利要求6至9中的任意一项所述的光滤波器。11.一种光设备，其特征在于， 包括权利要求6至9中的任意一项所述的光滤波器。
【专利摘要】本发明涉及光滤波器以及使用其的分析设备和光设备。该光滤波器具有：第一基板、第二基板、被设于第一基板的第一对置面中的第一反射膜、被设于第二基板的第二对置面中的第二反射膜、在俯视时在第一反射膜的周围的位置设于第一基板中的第一电极、被设于第二基板中而与第一电极对置的第二电极，在第一对置面及第二对置面的至少一方中形成阶梯部，将第一反射膜与第二反射膜之间的初始间隙制成比第一电极与第二电极之间的初始间隙小，精度优良地控制反射膜间的间隙。
【IPC分类】G02B6/293, G01J3/26, G02B26/00
【公开号】CN105511072
【申请号】CN201610034338
【发明人】佐野朗
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2016年4月20日
【申请日】2011年3月8日
【公告号】CN102207615A, CN102207615B, EP2367035A1, EP2367035B1, EP2977800A1, US8917449, US9134470, US20110222158, US20150070768, US20150346407