8] 其中，1 ;光源，2 ;第一传感单元，3 ;第H传感单元，4 ;扫描振镜，5 ;第二传感单元， 6 ;垂向执行器，7 ;玻璃基底，8 ;龙口架本体，9 ;龙口架导轨，10 ;工件台，11 ;大理石，12 ;减 震器，13 ;地基，14 ;第二传感单元零平面，15 ;第一传感单元零平面，16 ;第H传感单元上表 面，17 ;上玻璃基底上表面，18 ;上玻璃基底下表面，19 ;下玻璃基底上表面，20 ;水平方向零 位，21 ;第一调平点，22 ;目标点，23 ;第二调平点，24 :第立调平点。
【具体实施方式】
[0049] 下面将结合示意图对本发明的【具体实施方式】进行更详细的描述。根据下列描述和 权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均 使用非精准的比例，仅用W方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
[0050] 实施例一
[0051] 如图2所示，图2为本发明实施例1中龙口式设备的垂向控制装置的结构示意图， 所述龙口式设备包括：
[0052] 支撑装置，用于承载基底，基底为玻璃基底或藍宝石基底，在本实施例中，优选为 玻璃基底7 ;
[0053] 龙口架本体8和龙口架连接装置，所述龙口架本体8通过龙口架连接装置设于所 述支撑装置上；
[0054] 扫描振镜4,置于所述龙口架本体8上，扫描振镜4可W驱动光束按照预定轨迹扫 描，并具有3自由度（X, y, Z)运动,该3自由度运动包括垂向（Z方向）的1自由度运动和 水平方向的2自由度运动（X方向和y方向）；
[00巧]光源1，用于向所述扫描振镜4发射光束，扫描振镜4驱动所述光束按照预定轨迹 扫描，在本实施例中，光源1为激光器；
[0056] 第H传感单元3,置于所述支撑装置上，所述光束经过扫描振镜4照射至第H传感 单元3上形成光斑，第H传感单元3测量所述光斑大小和光强；
[0057] 第一传感单元2,置于所述龙口架本体8上，用于测量基底7和第H传感单元3的 表面高度，根据所述光斑大小和光强W及第H传感单元3的表面高度，确定所述扫描振镜4 的最佳焦点位置；
[0058] 第二传感单元2,置于所述龙口架本体8上，用于测量扫描振镜4的高度；
[0059] 垂向执行器6,位于所述扫描振镜4与龙口架本体8之间，用于支撑所述扫描振镜 4垂向移动，从而将扫描振镜4的最佳焦点调节到目标点。
[0060] 龙口架连接装置包括龙口架导轨9，龙口架本体8包括X方向的第一横梁和y方向 的第二横梁，所述第一横梁和第二横梁相互垂直，且均位于水平方向上并承载所述扫描振 镜4沿龙口架导轨9进行水平方向移动。第一传感单元2也可被称为非接触式高度测量传 感器，第二传感单元5也可被称为扫描振镜高度测量传感器，第H传感单元3为轮廓仪。其 中，第一传感单元2和第二传感单元5是垂向测量传感器，第一传感单元2为色差传感器、 位移传感器或调焦调平传感器，能够在不接触被测物体的前提下，返回被测物体上某一测 量面至少Z方向的数值；第二传感单元5为光栅尺、LVDTlXinear Vari油Ie Differential Transformer,即线性可变差动变压器）或干涉仪，用于测量扫描振镜4的高度，且与垂向执 行器6实现闭环控制来移动扫描振镜4,从而将扫描振镜4的最佳焦点移动到目标点；第H 传感单元3测量扫描振镜4出射的激光的光斑大小和光强。支撑装置包括工件台10、大理 石11、减震器12和地基13,所述玻璃基底7放置在工件台10上，工件台10可W只用来支撑 玻璃板7,无需进行垂向移动和水平方向移动，所述轮廓仪3、工件台10和龙口架导轨9均 置于大理石11上，所述大理石11通过减震器12与地基13连接。激光器置于地基13上，所 述激光器发射激光，经过扫描振镜4照射到玻璃基底7或轮廓仪3上表面，所述龙口式设备 用于玻璃基底7的激光封装，所述基底包括上玻璃基底和下玻璃基底，所述第一传感单元2 测量的基底表面高度为所述上玻璃基底下表面18的高度。
[0061] 此外，所述龙口式设备用于曝光装置，所述第一传感单元2测量的基底表面高度 为基底上表面局度。
[0062] 如图3所示，图3为本发明实施例一中垂向控制示意图，控制器首先发出控制命 令，垂向执行器6 (电机）根据控制命令对扫描振镜4移位，并将当前位置负反馈至控制器 从而形成控制环路。垂向设定值是根据第一传感单元2、第二传感单元5及第H传感单元 3测量获得的数据通过数学模型计算而来，该数学模型包括第一数学模型和第二数学模型， 垂向设定值和当前位置的差值输入控制器，最终实现当前位置跟踪垂向设定值，即其差值 、f , V-I-'/ 为令。
[0063] 如图4所示，图4为本发明实施例一提供的扫描振镜高度调整原理图，通过逐场测 量逐场调焦的方法将扫描振镜4的最佳焦点调到目标点，其垂向控制方法为：
[0064] 1.所述光源1发射的光束经过扫描振镜4照射至第H传感单元3上，所述第一传 感单元2测量第H传感单元上表面16的高度Z_BF ;
[0065] 2.所述垂向执行器6调节所述扫描振镜4的垂向位置，使得所述第H传感单元3 上的光斑最大光强最强，所述第二传感单元5测量所述扫描振镜4与龙口架本体8的相对 高度Z_galB化ef，确定扫描振镜4的最佳焦点位置；
[0066] 3.所述第一传感单元2测量基底表面上目标点高度Z_mes，即测量工件台10上支 撑的上玻璃基底下表面18上测量点的高度，也就是目标点22的高度，该目标点22并未在 图4中标出；
[0067] 4.计算将扫描振镜4最佳焦点调整到目标点22的第二传感单元5的垂向高度设 定值Z_s，
[0068] 计算公式如下：
[0069] Z-S = Z_galBRref+(Z-Ines-Z-BFO (1)
[0070] 上述公式（1)为第一数学模型；
[0071] 5.根据所述高度设定值将扫描振镜4的最佳焦点移动到所述的目标点22,即第二 传感单元5伺服闭环控制将扫描振镜4的最佳焦点移动到目标点22。
[00刮 实施例二
[0073] 在实施例二中，龙口式设备的垂向控制装置的结构示意图和垂向控制原理图也分 别如图2和图3所示，在实施例一中已经详细介绍了如图2所示的龙口式设备W及如图3 所示的垂向控制原理图，故在此不再赏述。
[0074] 如图5所示为本发明实施例二中扫描振镜高度调整示意图，在使用玻璃基底时， 上玻璃基底下表面常常会有一定的倾斜，与实施例一中未考虑该倾斜不同，在实施例二中， 考察了上玻璃基底下表面的倾斜对所述高度设定值的影响，通过逐场测量逐场调焦的方法 将扫描振镜4的最佳焦点调到目标点，其垂向控制方法为：
[00巧]1.所述光源1发射的光束经过扫描振镜4照射至第H传感单元3上，所述第一传 感单元2测量第H传感单元上表面16高度Z_BF ;
[0076] 2.所述垂向执行器6调节所述扫描振镜4的垂向位置，使得所述第H传感单元3 上的光斑最大光强最强，所述第二传感单元5测量所述扫描振镜4与龙口架本体8的相对 高度Z_galB化ef，确定扫描振镜4的最佳焦点位置；
[0077] 3.所述第一传感单元分别测量基底表面上多个调平点高度Zi, Z2-Z。，其中，n为 正整数，在本实施例中，第一传感单元2测量工件台10上支撑的上玻璃基底下表面18上第 一调平点21的高度，记为Zi,测量第二调平点23和第H调平点24的高度，记为Z2和Z3 ;
[0078] 4.利用记录的H个调平点的高度值计算上玻璃基底的整体高度和倾斜，所述高度 和倾斜需要设定H个未知量，不妨设为PZ、PWX和pwy，设上玻璃板下表面18的方程为：
[0079] Z = pz-pwy ? x+pwx ? y (2)
[0080] 设第一调平点21、第二调平点23和第H调平点24相对水平方向零位20的水平