透镜可移动的光刻机的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种透镜可移动的光刻机，包括成45°角放置的第一分光镜；所述第一分光镜的水平光出射方向放置有与所述第一分光镜垂直的第一折射镜；所述第一分光镜的垂直光出射方向放置有与所述第一分光镜平行的第二折射镜，所述第二折射镜的光出射方向放置有观测目镜；所述第一折射镜的光出射方向放置有准直装置；所述准直装置的光出射方向放置有第三折射镜；所述第三折射镜的对称方向放置有第四折射镜；所述第三折射镜的光出射方向放置有凹面折射镜；所述凹面折射镜的焦点之处放置有凸面折射镜；所述第四折射镜固定在所述移动装置之上。使用本发明所述的装置，只移动折射镜，移动路程短，则所需的操作空间减小，有利于减小光刻机的体积。
【专利说明】
透镜可移动的光刻机
技术领域
[0001]本发明涉及半导体制造技术，具体涉及一种透镜可移动的光刻机。
【背景技术】
[0002]光刻是半导体制造的重要流程之一，具体是利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。
[0003]由于光刻要在整个晶圆(wafer)上进行，而一个晶圆包括多个晶粒(die)，所以光刻技术要重复多次，保证在每个晶粒上都刻蚀了所需要的图案。如何进行此种重复过程，在现有技术中，一般有两种方法，一是光刻镜头固定，移动放置晶圆的工作台，依次刻蚀每个晶粒，二是移动光刻镜头，而放置晶圆的工作台固定。此两种方法的缺点是移动距离大，则操作所需要的空间大。
【发明内容】
[0004]针对现有技术的不足，本发明公开了一种透镜可移动的光刻机。
[0005]本发明的技术方案如下:
[0006]—种透镜可移动的光刻机，包括成45°角放置的第一分光镜;所述第一分光镜的水平光出射方向放置有与所述第一分光镜垂直的第一折射镜;所述第一分光镜的垂直光出射方向放置有与所述第一分光镜平行的第二折射镜，所述第二折射镜的光出射方向放置有观测目镜;所述第一折射镜的光出射方向放置有准直装置;所述准直装置的光出射方向放置有第三折射镜;所述第三折射镜的对称方向放置有第四折射镜;所述第三折射镜的光出射方向放置有凹面折射镜;所述凹面折射镜的焦点之处放置有凸面折射镜;所述第四折射镜固定在所述移动装置之上。
[0007]本发明的有益技术效果是:
[0008]使用本发明所述的装置，可以移动固定在移动装置上的第四折射镜的位置，即可移动光刻机所发出的光线的位置，依次对一个晶圆上的所有晶粒进行光刻流程。只移动折射镜，移动路程短，则所需的操作空间减小，有利于减小光刻机的体积。
【附图说明】
[0009]图1是本发明的光路图。
【具体实施方式】
[0010]图1是本发明的光路图。如图1所示，包括成45°角放置的第一分光镜I。第一分光镜I的水平光出射方向放置有与第一分光镜I垂直的第一折射镜2。第一分光镜2的垂直光出射方向放置有与第一分光镜2平行的第二折射镜9，第二折射镜9的光出射方向放置有观测目镜10。第一折射镜2的光出射方向放置有准直装置3。准直装置3的光出射方向放置有第三折射镜4 ο第三折射镜4的对称方向放置有第四折射镜7 ο第三折射镜4的光出射方向放置有凹面折射镜6。凹面折射镜6的焦点之处放置有凸面折射镜5。第四折射镜7固定在移动装置8之上。
[0011]本发明的工作原理为:
[0012]步骤1、光刻所用的光垂直向下入射，直至达到第一分光镜I;
[0013]步骤2、第一分光光路沿水平方向发射，直至其到达第一折射镜2;同时第二分光光路沿垂直方向发射，直至其到达第二折射镜9;
[0014]步骤3、第一分光光路经过第一折射镜2折射，沿垂直方向发射，直至其到达准直装置3，进行准直过程；同时，第二分光光路经过第二折射镜9折射，到达观测目镜10被观测者所观测；
[0015]步骤4、第一分光光路在被准直之后，到达第三折射镜4，被第三折射镜4折射，沿水平方向发射，直至其到达凹面折射镜6;
[0016]步骤5、第一分光光路被凹面折射镜6折射之后，到达凹面折射镜6的焦点之处的凸面折射镜5，又被折射回凹面折射镜6;
[0017]步骤6、第一分光光路第二次被凹面折射镜6折射后，到达第四折射镜7，被第四折射镜7折射之后，沿垂直方向打入位于工作台上的晶圆；
[0018]步骤7、运行移动装置8，固定在移动装置8之上的第四折射镜7的随之移动，则第一分光光路的出射位置随之移动，依次对晶圆上的每个晶粒进行光刻。
[0019]以上所述的仅是本发明的优选实施方式，本发明不限于以上实施例。可以理解，本领域技术人员在不脱离本发明的精神和构思的前提下直接导出或联想到的其他改进和变化，均应认为包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种透镜可移动的光刻机，其特征在于，包括成45°角放置的第一分光镜(I);所述第一分光镜(I)的水平光出射方向放置有与所述第一分光镜(I)垂直的第一折射镜(2);所述第一分光镜(2)的垂直光出射方向放置有与所述第一分光镜(2)平行的第二折射镜(9)，所述第二折射镜(9)的光出射方向放置有观测目镜(10);所述第一折射镜(2)的光出射方向放置有准直装置(3);所述准直装置(3)的光出射方向放置有第三折射镜(4);所述第三折射镜(4)的对称方向放置有第四折射镜(7);所述第三折射镜(4)的光出射方向放置有凹面折射镜(6);所述凹面折射镜(6)的焦点之处放置有凸面折射镜(5);所述第四折射镜(7)固定在所述移动装置(8)之上。
【文档编号】G03F7/20GK105929641SQ201610552553
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2016年7月13日
【发明人】吕耀安
【申请人】无锡宏纳科技有限公司