光模块和光纤组件的制作方法
【专利摘要】光模块和光纤组件。一种光模块，其包括上面形成有光波导的基板、以及光纤组件。该光纤组件包括光纤、透光性部件和镜部。该透光性部件包括在光波导的端部处结合至基板的端面的结合面，并且附接至光纤的末端。镜部形成在该透光性部件上，沿着与从光纤的末端发出的光的行进方向不同的方向对光进行反射，并将反射的光通过结合面会聚到光波导的端部。
【专利说明】
光模块和光纤组件
技术领域
[0001 ]此处描述的实施方式涉及光模块和光纤组件。
【背景技术】
[0002]使用银酸锂(LiNb03)等制造的马赫-曾德尔调制器(Mach-Zehnder modulator)(以下称为LN调制器)已知为用于光传输系统的调制器。LN调制器由于其优秀的高速特性和啁啾特性而广泛用于1GHz及以上的高速光发送系统。由于不但LN调制器而且其他部件都安装在配备有LN调制器的光传输器上，因此，优选的是使LN调制器微型化以实现高密度安装。
[0003]在LN调制器中，例如，形成在基板上的光波导和耦合至该光波导的输入/输出光纤设置成沿相同方向延伸。因此，形成了沿着光波导延伸方向布置光纤的空间。因而，沿着光波导的延伸方向增大了 LN调制器的尺寸。
[0004]为了抑制LN调制器尺寸的这种增大，提出了另一种LN调制器，其中，光波导和光纤布置为沿不同方向延伸。在该LN调制器中，光波导端部处基板的端面形成为倾斜表面，从沿着与光波导交叉的方向布置的光纤发出的光被基板的倾斜表面反射并进入光波导。
[0005]日本特开专利公开N0.2004-125854。
[0006]虽然使用从光纤发出的光被基板的倾斜表面反射并进入光波导的常规结构预期可以使设备小型化，但存在的问题是，沿着不同方向延伸的光波导和光纤难以彼此耦合。
[0007]具体而言，在常规结构中，由于从光纤发出的光被基板的倾斜表面反射，对基板的倾斜表面与光纤之间的位置关系进行调节的工作较为复杂。因此，在常规结构中，沿着不同方向延伸的光波导和光纤难以彼此耦合。
[0008]为了解决该问题并省略光纤相对于基板的倾斜表面的上述位置调节，开发了另一种LN调制器，其中在基板上不形成倾斜表面，从光纤发出的光被反射部件反射并进入光波导。在这种LN调制器中，由于反射部件布置在与基板分离的位置处，因此从光纤的末端到光波导的光路比光波导的端部处基板的端面形成为倾斜表面的结构的光路更长。在该情况下，由于从光纤的末端到光波导的光路较长而出现光损失。抑制光损失的一种可能方法是采用如下结构:在反射部件与光波导之间设置例如准直透镜的聚光透镜。在该结构中，被反射部件反射的光进入聚光透镜，并被聚光透镜聚集到光波导的端部中。
[0009]然而，在反射部件与光波导之间设置有聚光透镜的结构中，形成了用于布置聚光透镜以及反射部件的空间。结果，抑制了设备的小型化。
[0010]因而，本发明的一个实施方式的一个方面的目的是提供一种光模块和光纤组件，其中沿着不同方向延伸的光波导和光纤能够容易地彼此耦合并且有助于设备的小型化。
【发明内容】
[0011 ]根据一个实施方式的一个方面，提供了一种光模块，包括:基板，其上形成有光波导；以及光纤组件，该光纤组件包括:光纤;透光性(translucent)部件，其包括在所述光波导的端部处结合至所述基板的端面的结合面，所述透光性部件附接至所述光纤的末端;镜部，沿着与从所述光纤的末端发出的光的行进方向不同的方向对光进行反射，并通过所述结合面将反射的光会聚(collect)到所述光波导的所述端部，所述镜部形成在所述透光性部件上。
【附图说明】
[0012]图1是例示根据本示例的光模块的构造的俯视图；
[0013]图2是例示根据本示例的光纤组件与光波导之间的示例性连接的放大俯视图；
[0014]图3是根据本示例的用于解释光模块如何容纳在光收发器中的说明图；
[0015]图4是例示根据第一变型例的光纤组件与光波导之间的示例性连接的放大俯视图；
[0016]图5是例示根据第二变型例的光纤组件与光波导之间的示例性连接的放大俯视图；
[0017]图6是例示根据第三变型例的光纤组件与光波导之间的示例性连接的放大俯视图；
【具体实施方式】
[0018]将参照附图描述本发明的优选实施方式。本申请中公开的光模块和光纤组件不限于下面的示例。
[0019]首先，描述根据本申请中公开的一个示例的光模块的构造。图1是例示根据本示例的光模块的构造的俯视图。如图1所示，光模块10按如下方式形成:电极13设置在形成于基板11上的光波导12附近。基板11由LiNbO3形成，也称为LN基板。光波导12按如下方式形成:形成例如由Ti制成的金属膜并使其经受热扩散或构图，并使其经受在苯甲酸中的质子交换。光波导12形成了马赫-曾德尔干涉仪，而电极13设置在马赫-曾德尔平行波导上。
[0020]由于在电极13中利用了z轴方向的电场导致的折射率发生变化，因此电极13直接布置在光波导12上方。电极13例如是按如下方式形成的共面电极:在光波导12上对信号电极和接地电极进行构图。光模块10包括位于基板11与电极13之间的缓冲层，以防止传播通过光波导12的光被上述信号电极和接地电极吸收。缓冲层例如由S12等形成。
[0021]在光模块10中，连接器16经由中继基板15设置在封装14上。例如基板11之类的部件容纳在封装14中。连接器16使得用于对传播通过光波导12的光进行调制的电信号输入到电极13。
[0022]如图1所示，光模块10包括布置在基板11的前级侧的光纤组件100。光纤组件100将光纤101耦合至基板11上的光波导12。光纤101从光源接收光输入。下面将描述光纤组件100的构造。
[0023]在光模块10中，如图1所示，在基板11的后级侧布置有准直透镜12、反射部件18、偏振束合成器19、聚光透镜20、透镜支架21、套圈(ferrule)22和光纤23。准直透镜17对从基板11上的光波导12输出的多个输出光束进行准直。
[0024]反射部件18对准直透镜17准直后的该多个输出光束沿着与该多个输出光束的行进方向不同的方向进行反射。例如，反射部件18沿着与光波导12的延伸方向交叉的方向对该多个输出光束进行反射。
[0025]偏振束合成器19对反射部件18反射的该多个输出光束中的一个进行旋转，并对反射部件18反射的该多个输出光束进行合成。
[0026]聚光透镜20将通过偏振束合成器19得到的偏振多路复用光聚集到光纤23中。透镜支架21将聚光透镜20固定到封装14。套圈22将光纤23固定到透镜支架21。
[0027]光纤23将聚光透镜20会聚的偏振多路复用光发送到设置在后级侧的设备。
[0028]在光模块丨O中，来自光源的光输入到光纤组件100 ο输入光纤组件100的光输入到形成马赫-曾德尔干涉仪的光波导12。同时，在光模块1中，例如RF信号的电信号从输入侧输入到连接器16。输入到连接器16的电信号传播通过中继基板15并输入到电极13。此时，形成马赫-曾德尔干涉仪的一对光波导12的折射率被电场改变。因而，改变了光波导12之间的相位差。结果，由于马赫-曾德尔干涉仪而经受相位调制的多个光束输出作为来自光波导12的输出光束。从光波导12输出的该多个输出光束通过准直透镜17和反射部件18输入到偏置合成器19，被偏振束合成器19偏振多路复用并合成。通过偏振束合成器19得到的偏置多路复用光被聚光透镜20会聚到光纤23中。
[0029]接下来，参照图2描述图1中例示的光纤组件100的构造。图2是例示根据本示例的光纤组件与光波导之间的示例性连接的放大俯视图。
[0030]如图2所示，光纤组件100包括光纤101、套圈102和镜部103。
[0031]光纤101在基板11上沿着与光波导12的延伸方向交叉的方向布置。例如，光纤101在基板11上沿着与光波导12的延伸方向垂直的方向布置。光纤101接收来自光源(未不出)的光的输入，并从光纤101的末端发出光。
[0032]套圈102附接至光纤1I的末端。套圈102由透光性材料形成，并透射从光纤1I的末端发出的光。套圈102包括在光波导12的端部12a结合至基板11的端面Ila的结合面102a。套圈102包括相对于从光纤101的末端发出的光的行进方向倾斜的倾斜面102b。该套圈102对应于透光性部件的一个例子。
[0033]镜部103形成在套圈102上，沿着朝向光波导12的端部12a的方向对从光纤101的末端发出的光进行反射，并将反射光通过结合面102a会聚到光波导12的端部12a中。具体而言，镜部103包括凸起103a和曲面103b。凸起103a形成在套圈102的倾斜面102b上，并由与套圈102相同的透光性材料形成。曲面103b形成在凸起103a上。利用曲面103b处的全反射，镜部103沿着朝向光波导12的端部12a的方向对从光纤101的末端发出的光进行反射，并将反射光通过结合面102a会聚到光波导12的端部12a中。
[0034]此外，镜部103通过结合面102a将反射光会聚到光波导12的端部12a，使得反射光的直径在结合面102a处与光波导12的模场直径接近或者一致(match)。具体而言，镜部103的曲面103b的曲率使得反射光能够通过结合面102a会聚到光波导12的端部12a，使得反射光在结合面102a处与光波导12的模场直径接近或者一致。
[0035]接下来，将参照图3描述光模块10如何容纳到光收发器M中。图3是根据本示例的用于解释光模块如何容纳在光收发器中的说明图。
[0036]在图3所示的光模块1中，光纤组件100沿着朝向光波导12的端部12a的方向对从光纤101的末端发出的光进行反射，并将反射光通过套圈102的结合面102a会聚到光波导12的端部12a中。同时，在常规的光模块中，从光纤101的末端发出的光被例如镜的反射部件反射，反射光被例如准直透镜的聚光透镜会聚到光波导12的端部12a中。因此，在常规的光模块中，在光纤101与光波导12之间形成了用于沿着光波导12的延伸方向布置反射部件和聚光透镜的空间，并且由于这种空间的存在而增大了光模块的尺寸。结果，光模块不能容纳到光接收器M的内部空间S中。
[0037]另一方面，在根据本示例的光模块10中，光纤组件100沿着朝向光波导12的端部12a的方向对来自光纤101的末端的光进行反射，并将反射光通过套圈102的结合面102a会聚到光波导12的端部12a中。因而，减小了用于沿着光波导12的延伸方向布置反射部件和聚光透镜的空间，避免了光模块10沿着光波导12的延伸方向的尺寸增大。结果，光模块10容纳到图3中例示的光收发器M的内部空间S中。
[0038]如上所述，在光模块10中，光纤组件100沿着朝向光波导12的端部12a的方向对来自光纤101的末端的光进行反射，并将反射光通过套圈102的结合面102a会聚到光波导12的端部12a中。因此，避免了光模块10沿着光波导12的延伸方向的尺寸增大。此外，在套圈102的结合面102a结合至基板11的端面Ila的同时，光模块10的用户可以调节沿着不同方向延伸的光波导12与光纤101之间的位置关系。结果，沿不同方向延伸的光波导12与光纤101能够容易地彼此耦合，并且能够使设备小型化。
[0039]此外，在光模块10中，镜部103通过结合面102a将反射光会聚到光波导12的端部12a，使得反射光在套圈102的结合面102a处与光波导12的模场直径接近或者一致。因而，抑制了进入光波导12的光的泄露。结果，沿不同方向延伸的光波导12与光纤101能够容易地彼此耦合，并且抑制了在光波导12处的光损失。
[0040]第一变型例
[0041]接下来，将描述第一变型例。除了单独形成套圈102以外，根据第一变型例的光模块具有与根据上述示例的光模块相同的构造。因此，在第一变型例中，与上述示例相同的部件用相同的附图标记表示，并省略对这些部件的详细说明。
[0042]图4是例示根据第一变型例的光纤组件与光波导之间的示例性连接的放大俯视图。在图4所示的光纤组件100中，套圈102形成为可分离为附接至光纤101的末端的第一套圈112和包含结合面102a的第二套圈122，且在第二套圈122上形成有镜部103。第一套圈112的分离面112a和第二套圈122的分离面122a以可滑动的方式彼此接触。通过相对于第二套圈122的分离面122a滑动第一套圈112的分离面112a，来相对于第二套圈122的位置对第一套圈112的位置进行调节。第一套圈112和第二套圈122分别对应于第一透光性部件的例子和第二透光性部件的例子。
[0043]在分离面112a与分离面122a相接触时，当第一套圈112的位置相对于第二套圈122的位置调节至预定位置时，镜部103将反射光通过结合面102a会聚到光波导12的端部12a。为此，该预定位置例如是如下的位置:使得镜部103能够将从光纤101的末端发出的光沿着朝向光波导12的端部12a的方向反射。
[0044]如上所述，在根据第一变型例的光模块10中，套圈102形成为可分离为附接至光纤101的末端的第一套圈112和包含结合面102a的第二套圈122，且在第二套圈122上形成有镜部103。在分离面112a与分离面122a相接触时，当第一套圈112的位置相对于第二套圈122的位置调整至预定位置时，镜部103将反射光通过结合面102a会聚到光波导12的端部12a。因此，即使结合面102a上的光会聚位置与光波导12的端部12a之间的位置关系由于套圈102的制造误差而有所偏离，也可以使结合面102a上的光会聚位置与光波导12的端部12a的位置一致。结果，沿不同方向延伸的光波导12与光纤101能够容易地彼此耦合，并且抑制了在光波导12处的光损失。
[0045]第二变型例
[0046]接下来，将描述第二变型例。除了套圈102的分离面等倾斜以外，根据第二变型例的光模块具有与根据上述第一变型例的光模块10相同的构造。因此，在第二变型例中，与上述第一变型例相同的部件用相同的附图标记表示，并省略对这些部件的详细说明。
[0047]图5是例示根据第二变型例的光纤组件与光波导之间的示例性连接的放大俯视图。在图5所示的光纤组件100中，第一套圈112的分离面112a和第二套圈122的分离面122a倾斜成不与光纤101的光轴垂直。基板11在光波导12的端部12a处的端面Ila和第二套圈122的结合面102a也倾斜成不与光波导12的光轴垂直。
[0048]在该情况下，将光纤101的光轴与分离面112a的法线之间的角度以及通过分离面122a进入第二套圈122的光的入射角选择为满足斯涅尔定律(Snell’s law)。具体而言，假设光纤101的光轴与分离面112a的法线之间的角为Q1，假设通过分离面122a进入第二套圈122的光的入射角为θ2。假设光纤1I的折射率为m，假设第二套圈的折射率为112。在该情况下，将01和02选择为满足下式(I)。
[0049]ni.sin0i = n2.sin02...(I)
[0050]此外，通过结合面102a进入光波导12的光的入射角以及光波导12的光轴与基板11的端面Ila的法线之间的角选择为满足斯涅尔定律。具体而言，假设通过结合面102a进入光波导12的光的入射角为θ3，并且假设光波导12的光轴与基板11的端面Ila的法线之间的角为θ4。假设第二套圈122的折射率为n2，假设光波导12的折射率为n3。在该情况下，将θ3和04选择为满足下式(2)。
[0051 ] Π2.sin03 = n3.sin04...(2)
[0052]如上所述，在根据第二变型例的光模块10中，套圈102的分离面112a、122a和结合面102a是倾斜的。因此，避免了在套圈102的分离面112a、122a和结合面102a反射的光进入光纤101中。结果，能够抑制在由于沿着不同方向延伸的光波导12与光纤101的结合处的反射引起的光的衰减。
[0053]第三变型例
[0054]接下来，将描述第三变型例。除了基板11的端面IIa经由缓冲部件(cush1nmember)结合至套圈102的结合面102a以外，根据第三变型例的光模块具有与根据上述第二变型例的光模块1相同的构造。因此，在第三变型例中，与上述第二变型例相同的部件用相同的附图标记表示，并省略对这些部件的详细说明。
[0055]套圈102例如由塑料等形成，以便于成型。因此，套圈102的热膨胀系数大于基板11的热膨胀系数。套圈102的结合面102a在光波导12的端部12a结合至基板11的端面11a。因此，在外部温度发生变化的情况下，在套圈102的结合面102a中可能产生应力，结合面102a可能由于所产生的应力而从基板11的端面Ila剥离。
[0056]为此，根据第三变型例，基板11的端面Ila经由缓冲部件结合至套圈102的结合面102a，以防止套圈102的结合面102a从基板11的端面11 a剥离。
[0057]图6是例示根据第三变型例的光纤组件与光波导之间的示例性连接的放大俯视图。在图6所示的光纤组件100中，在光波导12的端部12a处基板11的端面Ila经由缓冲部件150结合至套圈102的结合面102a。缓冲部件150的热膨胀系数处于从基板11的热膨胀系数到套圈102的热膨胀系数的数值范围。例如，假设套圈102的热膨胀系数大于基板11的热膨胀系数。在该情况下，从比基板11的热膨胀系数更大且比套圈102的热膨胀系数更小的数值范围中选择缓冲部件150的热膨胀系数。结果，减小了由于热膨胀系数的不同引起的应力，并抑制了套圈102的结合面102a的剥离。
[0058]参照如下情形进行了上述说明:利用曲面103b处的全反射，镜部103沿着朝向光波导12的端部12a的方向对光进行反射，并通过结合面102a将反射的光会聚到光波导12的端部12a中。然而，曲面103b可以处理为镜面。在该情况下，利用曲面103b处的镜反射，镜部103沿着朝向光波导12的端部12a的方向对光进行反射，并通过结合面102a将反射的光会聚到光波导12的端部12a中。
[0059]在以上说明中，描述了各自示例和变型例的各个构造和操作。然而，上述示例的光模块10和根据各个变型例的光模块10还可以设置有具有其他变型例的特征的其他部件。此夕卜，可以采用示例和变型例的任意形式的组合。换言之，可以将示例和变型例中的两个、三个或者更多个进行组合。例如，根据该示例的光模块10中，在光波导12的端部12a处基板11的端面Ila可以经由缓冲部件150结合至套圈102的结合面102a。此外，单个光模块可以设置有上述示例和第一至第三变型例中描述的所有部件，只要这些部件彼此兼容即可。
[0060]根据本申请中公开的光模块的一个方面，实现了如下效果:沿着不同方向延伸的光波导和光纤可以容易地彼此耦合，并且能够实现设备的小型化。
【主权项】
1.一种光模块，所述光模块包括: 基板，所述基板上形成有光波导；以及 光纤组件，所述光纤组件包括: 光纤； 透光性部件，所述透光性部件包括在所述光波导的端部处结合至所述基板的端面的结合面，所述透光性部件附接至所述光纤的末端；以及 镜部，所述镜部沿着与从所述光纤的所述末端发出的光的行进方向不同的方向对所述光进行反射，并通过所述结合面将反射的光会聚到所述光波导的所述端部，所述镜部形成在所述透光性部件上。2.根据权利要求1所述的光模块，其中 与所述光的所述行进方向不同的方向是朝向所述光波导的所述端部的方向。3.根据权利要求1或2所述的光模块，其中 所述透光性部件还包括倾斜面，所述倾斜面相对于从所述光纤的所述末端发出的所述光的所述行进方向倾斜， 所述镜部包括形成在所述倾斜面上并由与所述透光性部件的材料相同的材料形成的凸起、以及形成在所述凸起上的曲面，并且 利用所述曲面处的全反射，所述镜部沿着与从所述光纤的所述末端发出的所述光的所述行进方向不同的方向对所述光进行反射，并通过所述结合面将反射的光会聚到所述光波导的所述端部。4.根据权利要求1或2所述的光模块，其中 所述透光性部件还包括倾斜面，所述倾斜面相对于从所述光纤的所述末端发出的所述光的所述行进方向倾斜， 所述镜部包括形成在所述倾斜面上并由与所述透光性部件的材料相同的材料形成的凸起、以及形成在所述凸起上并处理成镜面的曲面，并且 利用所述曲面处的镜面反射，所述镜部沿着与来自所述光纤的所述末端的所述光的所述行进方向不同的方向对所述光进行反射，并通过所述结合面将反射的光会聚到所述光波导的所述端部。5.根据权利要求1所述的光模块，其中 所述镜部通过所述结合面将所述反射的光会聚到所述光波导的所述端部，使得所述反射的光在所述结合面处与所述光波导的模场直径接近或者一致。6.根据权利要求1所述的光模块，其中 所述透光性部件被形成为能分离为附接至所述光纤的所述末端的第一透光性部件和包括所述结合面的第二透光性部件，所述镜部形成在所述第二透光性部件上，并且 当在所述第一透光性部件的分离面与所述第二透光性部件的分离面相接触的状态下、将所述第一透光性部件的位置相对于所述第二透光性部件的位置调整为预定位置时，所述镜部通过所述结合面将所述反射的光会聚到所述光波导的所述端部。7.根据权利要求6所述的光模块，其中 所述第一透光性部件的分离面和所述第二透光性部件的分离面倾斜成不与所述光纤的光轴垂直。8.根据权利要求6或7所述的光模块，其中 所述基板在所述光波导的所述端部处的所述端面和所述第二透光性部件的所述结合面倾斜成不与所述光波导的光轴垂直。9.根据权利要求1所述的光模块，其中 所述基板在所述光波导的所述端部处的所述端面经由缓冲部件结合至所述透光性部件的所述结合面，并且 所述缓冲部件的热膨胀系数处于从所述基板的热膨胀系数到所述透光性部件的热膨胀系数的数值范围。10.一种光纤组件，所述光纤组件包括: 光纤； 透光性部件，所述透光性部件包括在光波导的端部处结合至基板的端面的结合面，所述透光性部件附接至所述光纤的末端；以及 镜部，所述镜部沿着与从所述光纤的末端发出的光的行进方向不同的方向对所述光进行反射，并通过所述结合面将反射的光会聚到所述光波导的所述端部，所述镜部形成在所述透光性部件上。11.根据权利要求10所述的光纤组件，其中 与所述光的所述行进方向不同的方向是朝向所述光波导的所述端部的方向。12.根据权利要求10或11所述的光纤组件，其中 所述透光性部件还包括倾斜面，所述倾斜面相对于从所述光纤的所述末端发出的所述光的所述行进方向倾斜， 所述镜部包括形成在所述倾斜面上并由与所述透光性部件的材料相同的材料形成的凸起、以及形成在所述凸起上的曲面，并且 利用所述曲面处的全反射，所述镜部沿着与从所述光纤的所述末端发出的所述光的所述行进方向不同的方向对所述光进行反射，并通过所述结合面将反射的光会聚到所述光波导的所述端部。13.根据权利要求10或11所述的光纤组件，其中 所述透光性部件还包括倾斜面，所述倾斜面相对于从所述光纤的所述末端发出的所述光的所述行进方向倾斜， 所述镜部包括形成在所述倾斜面上并由与所述透光性部件的材料相同的材料形成的凸起、以及形成在所述凸起上并处理成镜面的曲面，并且 利用所述曲面处的镜面反射，所述镜部沿着与来自所述光纤的所述末端的所述光的所述行进方向不同的方向对所述光进行反射，并通过所述结合面将反射的光会聚到所述光波导的所述端部。14.根据权利要求10所述的光纤组件，其中 所述镜部通过所述结合面将所述反射的光会聚到所述光波导的所述端部，使得所述反射的光在所述结合面处与所述光波导的模场直径接近或者一致。15.根据权利要求10所述的光纤组件，其中 所述透光性部件被形成为能分离为附接至所述光纤的所述末端的第一透光性部件和包括所述结合面的第二透光性部件，所述镜部形成在所述第二透光性部件上，并且 当在所述第一透光性部件的分离面与所述第二透光性部件的分离面相接触的状态下、将所述第一透光性部件的位置相对于所述第二透光性部件的位置调整为预定位置时，所述镜部通过所述结合面将所述反射的光会聚到所述光波导的所述端部。16.根据权利要求15所述的光纤组件，其中 所述第一透光性部件的分离面和所述第二透光性部件的分离面倾斜成不与所述光纤的光轴垂直。17.根据权利要求15或16所述的光纤组件，其中 所述基板在所述光波导的所述端部处的所述端面和所述第二透光性部件的所述结合面倾斜成不与所述光波导的光轴垂直。18.根据权利要求10所述的光纤组件，其中 所述基板在所述光波导的所述端部处的所述端面经由缓冲部件结合至所述透光性部件的所述结合面，并且 所述缓冲部件的热膨胀系数处于从所述基板的热膨胀系数到所述透光性部件的热膨胀系数的数值范围。
【文档编号】G02B6/26GK106066510SQ201610196913
【公开日】2016年11月2日
【申请日】2016年3月31日 公开号201610196913.4, CN 106066510 A, CN 106066510A, CN 201610196913, CN-A-106066510, CN106066510 A, CN106066510A, CN201610196913, CN201610196913.4
【发明人】土居正治, 石井晃, 久保辉洋, 久保田嘉伸
【申请人】富士通光器件株式会社