专利名称：光电倍增管及其制造方法
技术领域：
本发明涉及通过电子倍增检测入射到受光面板上的微弱光线的光电倍增管及其制造方法背景技术特开平5-290793号公报描述了在密闭容器内容纳电子倍增部的现有技术的光电倍增管。如
图18所示，该密封容器，在金属制的侧管100上端的整个外周上设置凸缘部101，令凸缘部101的下表面101a与受光面板102的上表面102a接触，通过将侧管100与受光面板102的上表面192a加压熔合连接，以期利用凸缘部101确保密封容器的气密性。
在进行这种熔合的过程中，必须将侧管100加热，但当侧管100的截面形状为方筒状时，凸缘部101的四个拐角部分的发热量大于其它部分的发热量。从而，在把凸缘部101熔合固定到受光面板102上时，各拐角部分的熔合固定状态与拐角部分之外的熔合固定状态有可能发生偏差，使光电倍增管的制造成品率变差。此外，当凸缘部因热而变形时，有时会难以确保密封容器恒定的气密状态。
发明的概述本发明的目的是提供一种提高制造时的成品率，而且确保侧管与受光面板一体化、提高密封容器的气密性的光电倍增管及其制造方法。
本发明的光电倍增管为一种具有利用入射到受光面板上的光线发出电子的光电面、在密封容器内具有使从光电面上发射出的电子倍增的电子倍增部，具有根据在电子倍增部倍增的电子发出输出信号的阳极的电子倍增管，其特征为，密封容器由经由芯柱销使电子倍增部及阳极固定的芯柱板，包围电子倍增部及阳极的同时、在一侧的开口端上固定有芯柱板的金属制侧管，以及在侧管的另一侧的开口端上熔合固定玻璃制的受光面板构成，侧管由多个框部形成多边形的筒状体，各框部具有呈弓形上翘的上端，将各框部的上端以埋设到受光面板的光电面侧的方式熔合固定。
在这种电子倍增管中，通过将上翘的多个框部的端部接合起来，侧管的上端形成多边形的同时，作为框部的接合部分的各拐角部处于高于其它部分的位置处。从而，侧管的上端被很深地埋设在受光面板内，改善侧管与受光面板的接合状态。进而，使侧管的上端埋设到受光面板内的结果，侧管与受光面板的熔合固定更加可靠，可以提高熔合部分的气密性。此外，可以提高制造时的成品率。
此外，在本发明的光电倍增管中，优选地，在侧管的上端侧设置埋设在受光面板的光电面侧的扎入部。以设在侧管上的扎入部扎入到玻璃制的受光面板上的方式埋入的结果，提高侧管与受光面板的适配性，确保高的气密性。而且，由于设在侧管上的扎入部不像凸缘部那样从侧管向侧方伸出，而是从侧管陡峭的伸出，所以，在使扎入部尽可能靠近受光面板的侧面埋入的情况下，可以把受光面板的有效利用面积提高到接近100％，使受光面板的空闲区域尽可能地接近于零。
进而，在本发明的光电子倍增管中，扎入部的前端部分优选地笔直地延伸。通过采用这种结构，容易将侧管的端部扎入到受光面板内，而且，由于扎入部设置在侧管的延长线上，可促使确保受光面板的有效利用面积。
进而，在本发明的光电倍增管中，扎入部的前端部分也可以向内侧或外侧弯曲。通过采用这种结构，可扩大埋设在受光面板内的扎入部的表面积，提高侧管和受光面板接合部分的气密性。
进而，在本发明的光电倍增管中，优选地，扎入部为其前端被削尖成刀刃状。通过采用这种结构，侧管的端部容易扎入受光面板中，在将侧管熔合固定在玻璃制的受光面板上时，可实现其组装性的提高和可靠性。
进而，在本发明的光电倍增管中，优选地，使侧管的下端侧的内端面与金属制的芯柱板的边缘面接触，将金属制的侧管与金属制的芯柱板焊接。在采用这种结构的情况下，在使侧管的下端的内壁面与芯柱板的边缘面接触的状态下，将侧管与芯柱板焊接固定，结果是，在光电子倍增管的下端没有凸缘伸出。从而，虽然难以进行电阻焊，但是可以缩小光电倍增管的外形尺寸，在将电子倍增管并排使用时，可以将侧管彼此之间紧密排列。从而，通过将金属制的芯柱板与金属制的侧管焊接组装成的光电倍增管，可以进行高密度的排列。
进而，本发明提供一种具有利用入射到受光面板上的光线发射出电子的光电面，在密封容器内具有使从该光电面发射出的电子倍增的电子倍增部、配备有根据由该电子倍增部倍增的电子发出输出信号的阳极的光电倍增管，该密封容器由经由芯柱销使该电子倍增部与该阳极固定的芯柱板，备有一端开口部和另一端开口部、把该电子倍增部及该阳极包围、并且将芯柱板固定在所述一端开口部上的金属制侧管，以及熔合固定到该侧管的所述另一端开口部上的玻璃制的受光面板构成，该侧管在用具有多个拐角部的截面为多边形的筒状体构成的同时，在所述另一端开口部的端面上，该拐角部端面比所述拐角部之外的端面突出，在所述另一端开口部被埋设到所述光电面侧的所述受光面板上的状态下，所述受光面板熔合固定到所述另一端开口部上。
在侧管的受光面板侧开口部端面上相当于各拐角部位置的端面位于比侧管的受光面板侧的开口部端面的另外的端面部分高的位置上，所以，一开始，受光面板由相当于拐角部的位置的突出的端面支承，从该支承位置开始熔融，可以在熔合工序的初期阶段确保受光面板与侧管的相对的位置关系。从而，即使在加热时，也能可靠地保持侧管的形状。
进而，本发明的光电倍增管的制造方法的特征为，在具有利用入射到受光面板上的光线发射出电子的光电面，在密封容器内具有使从光电面发射出的电子倍增的电子倍增部，具有根据由电子倍增部倍增的电子发出输出信号的阳极的光电倍增管中，具有使利用具有呈弓形上翘的上端的多个框部形成的多边形的筒状体的侧管的拐角部的上端与受光面板的背面接触的工序，以及将侧管加热使侧管的上端熔合到受光面板上的工序。
在这种制造方法中，利用由具有呈弓形上翘的上端的多个框部形成的多边形筒状体的侧管的结果，使得在组装侧管和受光面板时，侧管的拐角部的上端一开始触及受光面板。并且，在加热侧管时，从发热量大的拐角部开始受光面板的熔融，依次向框部的中央进行熔融。从而，在利用加热的侧管熔融受光面板的初期阶段，首先，由于拐角部的上端熔融固定到受光面板上，所以在加热时，能够可靠地保持侧管的形状。同时，由于拐角部的上端的熔合时比其它部分长，所以在拐角部的上端提高玻璃的适配性，其结果是，在拐角部的上端熔合强度也增加，在拐角部的上端，在受光面板上不容易产生龟裂。此外，可以提高光电倍增管制造时的成品率，而且，可使侧管与受光面板一体化提高密封容器的气密性。
此外，在本发明的光电倍增管的制造方法中，在侧管的上端侧设置埋设到受光面板的扎入部。在采用这种方法的情况下，容易将侧管的端部埋设到受光面板内，提高侧管与受光面的接合性，并且可以缩短作业时间。
此外，在本发明的光电倍增管的制造方法中，将侧管的下端配置在旋转台上，将受光面板压紧到侧管上。在这种情况下，把侧管载置到旋转台上的结果，可以降低熔合过程中侧管的加热不均匀。而且，把受光面板压紧到侧管上的结果，可以提高侧管与受光面板的适配性。
进而，本发明提供一种具有利用入射到受光面板发射出电子的光电面，在密封容器内具有使从该光电面发射出的电子倍增的电子倍增部，并具有根据用该电子倍增部倍增的电子发出输出信号的阳极的光电倍增管的制造方法，具有以下工序，竖立配置形状为具有上端开口部和下端开口部的截面为多边形的中空筒状体，在上端开口部的开口端面上，相当于中空筒状体的拐角部位置处的端面比相当于该拐角部位置以外的端面突出地形成侧管的工序，使该受光面板的光电面侧的面与该上端开口端的开口端面接触的工序，加热该侧管、使该受光面板的一部分熔融、一面该侧管的上端开口部埋设到该受光面板内一面把该受光面板熔合到该侧管的上端开口部的工序。
根据这种方法，由于在上述加热熔合初期阶段有效地保持侧管与受光面板的位置的同时，以将整个侧管的上端开口部埋设到受光面板内的方式进行受光面板与侧管的熔合，所以，侧管与受光面板可靠地固定，提高熔合部分的气密性。此外，可以提高制造时的成品率。
附图的简单说明图1是表示根据本发明的第一种实施方式的光电倍增管的透视图。
图2是沿图1的II-II线的剖面图。
图3是表示根据本发明的第一种实施方式的光电倍增管的侧管与芯柱板的接合状态的主要部分放大剖面图。
图4是表示适用于根据本发明的实施方式的光电倍增管的侧管的透视图。
图5是表示图4的侧管上端的主要部分放大剖面图。
图6是表示在根据本发明的实施方式的光电倍增管的制造方法中，侧管与受光面板的接合方法的正视图。
图7是表示在根据本发明的实施方式的光电倍增管的制造方法中，侧管与受光面板接合后的状态的透视图。
图8是图7中A剖面的主要部分放大图。
图9是图7中B剖面的主要部分放大图。
图10是表示在根据本发明的实施方式的光电倍增管的制造方法中，将由芯柱板、芯柱销、阳极、电子倍增器构成的组装体从侧管的开口端侧插入时的正视图。
图11是表示根据本发明的实施方式的光电倍增管组装完毕后的正视图。
图12是图11的主要部分的放大图。
图13是表示适用于本发明的光电倍增管的侧管的第一个变形例的主要部分放大剖面图。
图14是表示适用于本发明的光电倍增管的侧管的第二个变形例的主要部分放大剖面图。
图15是表示适用于本发明的光电倍增管的侧管的第三个变形例的主要部分放大剖面图。
图16是表示适用于本发明的光电倍增管的侧管的第四个变形例的主要部分放大剖面图。
图17是表示适用于本发明的光电倍增管的侧管的第五个变形例的主要部分放大剖面图。
图18是表示适用于现有技术的光电倍增管的侧管的主要部分的放大剖面图。
实施发明的优选方式下面和附图一起详细说明根据本发明的电子倍增管及其制造方法的优选实施方式。
图1及图2所示的光电倍增管1具有大致为正四边筒状金属制(例如科瓦铁镍钴合金金属制或不锈钢制)的侧管2，在该侧管2一侧的开口端A上熔合固定有玻璃制的受光面板3。在该受光面板3的内表面(背面)上形成把光变换成电子的光电面3a，该光电面3a通过使碱金属蒸气与预先蒸发到受光面板2上的锑进行反应而形成。此外，在侧管2的另一端开口端B上焊接固定有金属制(例如科瓦铁镍钴合金金属制或不锈钢制)的芯柱板4。这样，借助侧管2及受光面板3及芯柱板4构成高度为10mm左右的极薄的密封容器5。
此外，在芯柱板4的中央竖立设置金属制的排气管6。该排气管6用于在光电倍增管1的组装作业结束后利用真空泵(图中未示出)排气将密封容器5的内部抽成真空状态，并且也用作在形成光电面3a时将碱金属蒸气导入到密封容器5内的管。
科瓦铁镍钴合金金属制的多个芯柱销10贯穿芯柱板4设置。在芯柱板4上设置贯通各个芯柱销10用的销孔4a，在各销孔4a内填充作为气密性密封用的科瓦铁镍钴合金玻璃制的料片11。各芯柱销10经由料片11固定到芯柱板4上。
在密封容器5内配置电子倍增器7。该电子倍增器7利用芯柱销10支承在密封容器5内。电子倍增器7成块状叠层结构，将10个(10级)板状倍增管电极(dynode)8构成电子倍增器部9，各倍增管电极8电连接到芯柱销10的前端上。此外，在芯柱销10上连接有倍增管电极8，以及连接后面所述的阳极12。
在电子倍增器7上，并列地设置位于电子倍增部9的下方、固定到芯柱销10的上端的阳极12。此外，在电子倍增器7的最上一级，于光电面3a与电子倍增部9之间配置平板状的聚束电极板13。在该聚束电极板13上形成多个狭缝状的开口部13a，各开口部13a沿一个方向直线排列。同样地，在电子倍增部9的各倍增管电极8上形成与开口部13a相同数目的狭缝状电子倍增孔8a，各电子倍增孔8a沿一个方向呈直线式地沿垂直于纸面的方向排列配置多个。
通过使沿级方向排列各倍增管电极8的各电子倍增孔8a构成的各电子倍增路径L与聚束电极板13的各开口部13a一一对应，在电子倍增器7上形成多个通道。此外，设在电子倍增器7上的各阳极12，为了与规定数目的通道每一个相对应，设置8×8个，通过使各阳极12分别连接到各芯柱销10上，经由各芯柱销10，对每个通道将单独的输出提取到外部。
这样，电子倍增器7具有多个线性通道。同时通过连接到图中未示出的分压电路上的规定的芯柱销10，向电子倍增部9及阳极12上供应规定的电压，将光电面3a与聚束电极板13设定为等电位。各倍增管电极8及阳极12从上级开始依次设定为高电位。从而，入射到受光面板2上的光线由光电面3a变换成电子，该电子借助叠层在聚束电极板13与电子倍增器7的最上级的第一级倍增管电极形成的电子透镜的作用，入射到规定的通道内。在电子入射的通道中，电子一面通过倍增管电极8的电子倍增路径L，一面被各倍增管电极8多级倍增，入射到阳极12上，对于每个规定的通道，从各阳极12提出各自单独的输出。
此外，如图3所示，在气密焊接金属制芯柱板4与金属制的侧管2的过程中，使芯柱板4的外周缘4b的形状与侧管2的开口端B的内壁面2c的形状重合，从侧管2的开口端B插入芯柱板4，通过使侧管2的下端2a的内壁面2c与芯柱板4的外周面4b接触，在电子倍增管1的下端不会像凸缘那样向侧方伸出。在这种状态下，从瞄准外侧的正下方或接合部分对接合部分F照射激光束，对接合部分F进行激光焊接。
这样，由于在电子倍增管1的下端没有像凸缘那样的伸出，所以难以进行电阻焊，但可以缩小光电倍增管1的外形尺寸。从而，即使在将光电倍增管1相互邻接地并列使用时，也可以尽可能地缩小空闲区域，可以将侧管2彼此之间紧密排列。从而，在图3所示的金属制芯柱板4与金属制侧管2的形状和位置关系的情况下，通过进行激光焊接，可以使光电倍增管1薄型化并可进行高密度地配置。
这种激光焊接是熔接法的一个例子。在利用这种熔接法把侧管2焊接固定到芯柱板4上时，与电阻焊不同，由于不必向侧管2与芯柱板4的接合部分F上施加压力，所以在接合部F上不产生残留应力，在使用过程中，在接合部位不易产生龟裂，可显著提高耐久性及气密密封性。此外，在熔接法中，激光焊接和电子束焊接与电阻焊相比，可以把接合部分F的热量的发生抑制到很小。从而，在光电倍增管1的组装过程中，热量对配置在密封容器5中的各结构部件的影响极小。
这里，高度为7mm左右的侧管2如图4所示，利用由科瓦铁镍钴合金金属或不锈钢等构成的具有0.25mm壁厚的四个大致为四边形的框部80形成方形筒状体。在图4中，上侧表示开口端A，下侧表示开口端B。各框部80为备有一对纵边和一对横边的位于同一平面内的平板状构件，横边大致相互平行，弯曲成弓形。同时，邻接的框部80的纵边相互之间连接，构成拐角部81，利用横边的弓形，作为侧管2的整体，与受光面板3对向的拐角部81的上端81a比拐角部之外的横边的上端80a高。具体地说，当在侧管2的开口端B侧假想平面S时，构成框部80的纵边彼此的接合部的拐角部81以相对于假想平面S的高度为0.1mm左右的高度尺寸P向上弯曲。其结果是，各拐角部81的上端81a比各框部80的中央部的上端80a高。此外，为了把矩形的受光面板3的有效利用面积提高到最大限度，对拐角部81进行R为1.5mm的极小的圆弧形的边缘处理。
这种拐角部的上端部81a向上弯曲的侧管2可以通过将上面所述的四个框部80用激光焊接等接合，也可以通过将由科瓦铁镍钴合金金属等构成的一块平板加压成形制作。此外，在侧管2的壁厚为0.25mm左右的极薄的情况下，可以将平板加压成形为拱形，不必进行将各框部80弯曲成弓形等后续加工。
在这种拐角部上端81a上翘的侧管2的一侧的开口端A上，熔合固定有玻璃制受光面板3。如图5所示，在侧管2上，在框部80的受光面板3侧的前端部分(上端)80a上形成扎入部20。扎入部20在侧管2上端的整个外周上形成，并且经由位于该侧管2的外壁面2b侧的圆弧状部20a弯向内侧。同时，扎入部20的前端20b被削尖成刀刃状。在利用高频加热熔融受光面板的一部分时，扎入部20被埋设到熔融的受光面板内。从而，利用刀刃状的前端20b很容易将侧管2的上端扎入到受光面板3中，在把侧管2熔合固定到玻璃制的受光面板3上时，可以提高其组装作业的效率及可靠性。
下面对上述光电倍增管1的制造方法进行说明。
如图6所示，首先，将侧管2配置在利用马达等驱动装置以规定的速度旋转的陶瓷制的旋转台90的上表面90a上。这时，以拐角部81的下端从旋转台90的上表面90a上浮起的方式载置于旋转台90上。然后，把受光面板3的背面3f配置在侧管2上，受光面板3利用拐角部81的上端81a被进行四点支承。这时，成为利用加压夹具91从上方压紧受光面板3的受光面3d的中央部的状态。在这种状态下使高频加热装置92动作的同时，为了消除因侧管2的加热不均匀引起的熔合不均匀，使旋转台90低速旋转。这样，如图7所示，将侧管2与受光面板3制成一个整体。
这时，被加热的侧管2的扎入部20一面缓缓地将玻璃制的受光面板熔化一面扎入。其结果如图8所示，一面在受光面板3的下端缘形成隆起部3b，侧管2的扎入部20一面被埋入受光面板3内，确保受光面板3及侧管2的接合部分处的高气密性。
这种隆起部3b仅发生在扎入部20的附近，受光面板3的边缘面3c的一部分上，不会在整个受光面板3的边缘面3c上引起表面塌边。从而，不会对受光面3d的边缘形状造成恶劣影响，能够可靠地维持平滑的受光面板的形状。
此外，扎入部20不会像凸缘部那样从侧管2向侧方伸出，而是从侧管2陡峭地沿侧管2的轴向方向伸出。从而，当以尽可能靠近受光面板3的边缘面3c埋设扎入部20时，可以把受光面板3的有效利用面积提高到接近100％，将使受光面板3的空闲区域尽可能地接近于零。进而，由于扎入部20以向内侧弯曲的方式形成，所以，埋设到受光面板3内的扎入部20的表面面积增大，实现侧管与受光面板3的接合面积扩大化，提高密封容器5的气密性。此外，扎入部20通过压力加工以只有0.1mm左右的突出量H向内侧伸出。
在这种熔合固定过程中，侧管2的拐角部81的上端81a最初与受光面板3接触。同时，当侧管2被加热时，受光面板3的熔融从发热量大的拐角部81开始依次地向框部80的中央进行熔融。从而，在由侧管2引起的受光面板3的熔融初期，由于拐角部81的上端81a首先熔合到受光面板3上，所以，即使在加热时也能够可靠地保持侧管2的正方形形状。同时，由于拐角部81的上端81a的熔合时间比其它部分长，所以，如图9所示，尽管在受光面板3的下端缘形成塌边部3e，仍然提高在拐角部81的上端81a处与玻璃的适配性。从而，在拐角部，在受光面板3与侧管2的接合部分处确保高气密性的同时，在拐角部81的上端81a处，不易在受光面板3上产生裂纹。
这样，在使受光面板3与侧管2的一体化之后，如图10所示，经由芯柱销10将把阳极12及电子倍增器7组装到芯柱板4上的组合体K从侧管2的开口端B侧插入。同时，如图11所示，将芯柱板4与侧管2一体化。在这种情况下，如图12所示，各框部80的下端(下侧的横边)80b呈在长度方向的中央部朝向开口端B侧的弓形，在这种状态下，在气密性焊接金属制芯柱板4与金属制的侧管2的过程中，以框部80的下端80b不从芯柱板4的下面突出的方式进行激光焊接。通过按照框部80的下端80b的弯曲情况适当选择芯柱板4的厚度是可以达到这一点的。
这样，在组装之后，中间经由打开的排气管6(参照图10)，利用真空泵(图中未示出)保持密封容器5内部的真空状态。同时，从排气管6中装填碱金属蒸气，使受光面板3上形成光电面3a之后，将排气管6封闭(参照图11)。
根据本发明的光电倍增管及其制造方法，并不局限于前述实施方式，可以进行各种变更。例如，在图13所示的第一变形例中，设置在侧管2A的受光面板3侧的前端部分(上端)上、利用高频加热熔融埋设到受光面板3的光电面3a侧的扎入部30在侧管2A上端的整个外周设置，并且经由位于其内壁面2c侧的圆弧形部30a向外侧弯曲。并且，扎入部30的前端30b被削尖成刀刃状。从而，容易把侧管2A的上端扎入受光面板30，在把玻璃制受光面板3熔合固定到金属制的侧管2A上时，可提高其组装作业性能及可靠性。在这种情况下，一面在受光面板3的下端缘上形成隆起部3b，侧管2A的扎入部30一面被埋设到受光面板3内，确保受光面板3与侧管2A的接合部分处的高气密性。
进而，扎入部30向外侧弯曲地形成的结果，加大埋设到受光面板3内的扎入部30的表面面积，扩大侧管2A与受光面板3的接合面积，提高密封容器5的气密性。此外，扎入部30通过压力加工仅以0.1mm左右的突出量H向外侧伸出。
此外，在图14所示的第二种变形例中，可以将扎入部40沿侧管2B笔直地竖起。在这种情况下，扎入部40位于侧管2B的延长线上，成为只对侧管2B进行切头加工的最简单的形状。此外，为了扩大扎入部40的表面面积及与玻璃的适配性，也可以把扎入部40的前端制成圆形。
进而，在图15所示的第三种变形例中，扎入部50沿侧管2c笔直地延伸，前端50a削尖成双刃的刀尖状。从而，在侧管2c与受光面板3熔合固定时，可以极其容易地将侧管2c插入到受光面板3内。
进而在图16所示的第四种变形例中，扎入部60沿侧管2D笔直地延伸，削尖成单刃刀刃的形状。在这种情况下，为了扩大扎入部60的表面面积及提高与玻璃的适配性，在扎入部60上，在侧管2D的内壁面2c侧设置圆弧形部60a。同样地，在图17所示的第五种变形例中，扎入部70沿侧管2E笔直地延伸，削成单刃的刀刃状。这时，在扎入部70上，于侧管2E的外壁面2b侧设置圆弧形部70a。
此外，侧管2只要是其横截面的形状为三角形，长方形，六边形及八边形等多边形的筒体即可，作为扎入部的形状可以是球形也可以是箭头状。
进而，在上述实施方式中，侧管2由四个大致为四边形的平板状的框部80构成，各框部80具有纵边和横边，通过将相邻的框部的纵边彼此连接形成拐角部81，横边呈其长度方向的中央部朝向芯柱板4侧的开口部B突出弯曲成弓形的形状，在截面为四边形的筒状体形状的侧管2在受光面板3侧的开口部A的端面上，拐角部81的端面81a比拐角部以外的端面80a更加突出地形成，但只要能够确保在受光面板3侧开口部A的端面上拐角部与受光面板3相互之间的位置的固定关系，并不局限于这种框部的形状，例如，既可以在四边形的板材的一个横边的端部上成一整体地形成突起，也可以将四边形的板材的一个或两个横边制成平缓的V字形。
工业上的可利用性根据本发明的光电倍增管，广泛用于低照度领域的摄像装置，例如监测摄像机，夜视摄像机等。
权利要求
1.一种光电倍增管(1)，在具有利用入射到受光面板(3)上的光线发射出电子的光电面(3a)，在密封容器(5)内具有使从该光电面(3a)发射出的电子倍增的电子倍增部(9)，具有根据由该电子倍增部(9)倍增的电子发出输出信号的阳极(12)的电子倍增管(1)中，其特征为，该密封容器(5)由以下部分构成经由芯柱销(10)使该电子倍增部(9)及该阳极(12)固定的芯柱板(4)，包围该电子倍增部(9)及该阳极(12)、并且把该芯柱板(4)固定到一侧的开口端(B)上的金属制侧管(2)，熔合固定到该侧管(2)的另一侧的开口端(A)上的玻璃制的所述受光面板(3)，其中，所述侧管(2)由多个框部(80)形成多边形的筒状体，所述各框部(80)具有呈弓形上翘的上端(80a)，将所述各框部的所述上端(80a，81a)以埋设到所述受光面板(3)的所述光电面(3a)侧的方式熔合固定。
2.如权利要求1所述的光电倍增管，其特征为，在所述侧管(2)的上端侧(80a，81a)上设置埋设到所述受光面板(3)的所述光电面(3a)侧的扎入部(20，30，40，50，60，70)。
3.如权利要求2所述的光电倍增管，其特征为，所述扎入部(40，50，60，70)的前端部分笔直地延伸。
4.如权利要求2所述的光电倍增管，其特征为，所述扎入部(20，30)的前端部分向内侧或外侧弯曲。
5.如权利要求2～4中任何一个所述的光电倍增管，其特征为，所述扎入部(20，30，50，60，70)，其前端被削尖成刀刃状(20b，30b，50b，60b，70b)。
6.如权利要求1～4中任何一个所述的光电倍增管，其特征为，令所述侧管(2)的下端侧(B)的内壁面(2c)与金属制的所述芯柱板(4)的边缘面(4b)接触，将金属制的所述侧管(2)与金属制的所述芯柱板(4)焊接。
7.一种光电倍增管，在具有利用入射到受光面板(3)上的光线发射出电子的光电面(3a)，在密封容器(5)内具有使从该光电面(3a)发射出的电子倍增的电子倍增部(9)，具有根据由该电子倍增部(9)倍增的电子发出输出信号的阳极(12)的电子倍增管(1)中，其特征为，该密封容器(5)由以下部分构成经由芯柱销(10)使该电子倍增部(9)及该阳极(12)固定的芯柱板(4)，备有一端开口部(B)及另一端开口部(A)、包围所述电子倍增部(9)及所述阳极(12)，并且将所述芯柱板(4)固定到所述一端开口部(B)上的金属制侧管(2)，熔合固定到所述侧管(2)的所述另一端开口部(A)上的玻璃制所述受光面板(3)，其中，所述侧管(2)由具有多个拐角部(81)的截面为多边形的筒状体构成，并且在所述另一端开口部(A)的端面上，所述拐角部端部(81a)比所述拐角部以外的端面(80a)更加突出地形成，在所述另一端开口部(A)埋设到所述光电面(3a)侧的所述受光面板(3)内的状态下，所述受光面板(3)熔合固定到所述另一端开口部(A)上。
8.如权利要求7所述的光电倍增管，其特征为，所述侧管(2)由多个平板状框部(80)构成，各框部(80)分别具有纵边和横边，通过将相邻的框部的纵边彼此连接形成所述拐角部(81)，所述横边呈为其长度方向的中央部向所述一端开口部(B)呈弓形突出弯曲的形状。
9.如权利要求7所述的光电倍增管，其特征为，在所述侧管(2)的所述另一端开口部(A)的端面上形成扎入部(20，30，40，50，60，70) 。
10.如权利要求9所述的光电倍增管，其特征为，所述扎入部(40，50，60，70)的前端部分从所述侧管(2)呈直线延伸，相对于所述光电面(3a)垂直地形成。
11.如权利要求9所述的光电倍增管，其特征为，所述扎入部(20，30)的前端部分相对于所述光电面(3a)向偏离垂直方向的内侧或外侧弯曲。
12.如权利要求9所述的光电倍增管，其特征为，所述扎入部(20，30，50，60，70)，其前端形成锐利的刀刃状(20b，3 0b，50a，60a，70a)。
13.如权利要求7所述的光电倍增管，其特征为，所述芯柱板(4)为金属制，所述芯柱板(4)的边缘面(4b)与所述侧管(2)的一端开口部(B)附近的内壁面(2c)接触配置，将所述内壁面(2c)与所述芯柱板(4)的边缘面(4b)焊接。
14.一种电子倍增管(1)的制造方法，其特征为，具有在具有利用入射到受光面板(3)上的光线发射出电子的光电面(3a)，在密封容器(5)内具有使从所述光电面(3a)发射出来的电子倍增的电子倍增部(9)，具有根据用所述电子倍增部(9)倍增的电子发出输出信号的阳极(12)的光电倍增管(1)中，使利用具有呈弓形上翘的上端(80a，81a)的多个框部(80)形成多边形筒体的侧管(2)的拐角部(81)的上端(81a)与所述受光面板(3)的背面接触的工序，使所述侧管(2)加热，使所述侧管(2)的上端(80a，81a)熔合到所述受光面板(3)上的工序。
15.如权利要求14所述的光电倍增管的制造方法，其特征为，在所述侧管(2)的上端(80a，81a)侧设置埋设在所述受光面板(3)上的扎入部(20，30，40，50，60，70)。
16.如权利要求14或15所述的光电倍增管的制造方法，其特征为，将所述侧管(2)的下端(B)配置在旋转台(90)上，将所述受光面板(3)压紧到所述侧管(2)上。
17.一种光电倍增管(1)的制造方法，在具有利用入射到受光面板(3)上的光线发射出电子的光电面(3a)，在密封容器(5)内具有使从所述光电面(3a)发射出来的电子倍增的电子倍增部(9)，具有根据用所述电子倍增部(9)倍增的电子发出输出信号的阳极(12)的光电倍增管(1)的制造方法中，其特征为，具有竖立配置形状为具有上端开口部(A)及下端开口部(B)的截面为多边形的中空筒状体，在上端开口部(A)的开口端面上，相当于中空筒状体的拐角部(81)位置处的端面(81a)比相当于所述拐角部位置之外的端面(80a)突出地形成的侧管(2)的工序，使所述受光面板(3)的光电面(3a)一侧的面与所述上端开口部(A)的开口端面接触的工序，加热所述侧管(2)使所述受光面板(3)的一部分熔融、一面将所述侧管(2)的上端开口部(A)埋设到所述受光面板(3)内，一面将所述受光面板(3)熔合到所述侧管(2)的上端开口部上的工序。
18.如权利要求17所述的光电倍增管(1)的制造方法，其特征为，在所述熔合工序中，所述受光面板(3)由所述中空筒状体的相当于拐角部(81)的位置的突出的端面(81a)支承，从所述支承位置开始熔融，在该熔融工序的初期阶段确保所述受光面板(3)与所述侧管(2)的相对位置关系。
全文摘要
光电倍增管的密封容器由侧管(2)及受光面板和芯柱板构成。侧管通过将上翘的多个框部(80)组合而构成。侧管的受光面板的开口部端面上的相当于各拐角部(81)的位置的端面(81a)位于高于其它端面部分(80a)的位置处。在加热时，所述端面(81a)深深地埋入受光面板内，提高侧管(2)与受光面板的接合。此外，由于把侧管(2)的受光面板侧开口部全部埋设到受光面板内，从而，侧管(2)与受光面板的接合可靠，提高接合作业时的成品率。此外，由于提高侧管(2)与受光面板的整体性，从而提高密封容器的气密性。
文档编号H01J43/00GK1452782SQ00819511
公开日2003年10月29日 申请日期2000年5月8日 优先权日2000年5月8日
发明者下井英树, 增田祐司, 久嶋浩之 申请人:滨松光子学株式会社