专利名称：三代像增强器的制作方法
技术领域：
本发明涉及电真空技术领域，尤其涉及一种夜视系统中像增强器的制作方法。
背景技术：
三代像增强器是当前夜视系统中优先选用的核心成像器件。该产品质量直接决定着夜视系统的整体性能，通过特种制作方法提高该产品的质量已经成为众多研究者们关注的焦点问题。
目前常用的三代像增强器的制作方法是定期将荧光屏组件通过加载闸门室送入超高真空室中，进行密闭去气和电子轰击清洗后送入装配超高真空室；定期将GaAs(砷化镓)光电阴极组件通过加载闸门室送入超高真空室中进行密闭预去气；然后将光电阴极组件送入相临的超高真空室进行批量最终清洗和敏化处理，形成光电阴极后送入装配超高真空室；在装配超高真空室中将光电阴极和荧光屏组件进行组装处理后送入密封超高真空室，进行批量密封焊接处理，形成真空管；最后将加工好的真空管送入卸载闸门室，并从该闸门室批量卸载。
上述方法有效排除了GaAs光电阴极形成室内气压的下降和波动，有利于光电阴极与荧光屏组件的组装。但是，该方法存在以下缺点1、该方法对超高真空室中的大气压强要求非常低，要低于10-11帕斯卡才可以正常工作，因此，真空室除气过程所需的时间长，导致产品生产效率低；
2、采用该方法，真空室中的空气不易排除彻底，当提高室内温度时，剩余的氧分子，含氧气体及水蒸气与光电阴极表面会发生化学反应，容易产生不合格产品。据统计，采用该方法，产品合格率通常只有30％。
发明内容
本发明的目的是提供一种既可以提高生产效率又可以提高产品合格率的三代像增强器的制作方法。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的本发明所提供的三代像增强器的制作方法，是将各个工作室用惰性气体置换空气，当各个工作室内的大气压强不高于预定值后，进行像增强器的生产加工。
该方法包括如下步骤A、将工作室中的各个超高真空室和卸载闸门室用惰性气体置换空气，并使所述超高真空室和卸载闸门室中的大气压强均不高于所述预定值；B、将荧光屏组件送入工作室中的荧光屏组件加载闸门室，然后向该闸门室中通入惰性气体置换空气；当该闸门室中的大气压强不高于所述预定值后，打开闸门，将所述荧光屏组件送入与该闸门室相邻的超高真空室进行密闭除气和电子轰击清洗处理；然后将所述荧光屏组件送入组装真空室；C、将光电阴极组件送入工作室中的光电阴极组件加载闸门室，然后向该闸门室中通入惰性气体置换空气；当该闸门室中的大气压强不高于所述预定值后，打开闸门，将所述光电阴极组件送入与该闸门室相邻的超高真空室进行密闭预除气处理，然后将光电阴极组件送入相临的超高真空室进行批量最终清洗和敏化处理形成光电阴极，最后将所述光电阴极送入所述组装真空室；D、将所述组装真空室中的荧光屏组件和光电阴极进行组装处理后送入密封超高真空室，进行批量密封焊接处理，形成真空管；E、将所述真空管送入卸载闸门室，并从该闸门室批量卸载。
由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明的核心思想是在生产装置启动前，荧光屏组件最终清洗，光电阴极组件最终清洗和形成，以及真空管壳的组装，都是在用惰性气体(氩气，氦气等)完全置换了室内气体的情况下进行的。
本发明的有益效果在于1.采用惰性气体置换各个工作室中的空气，工作室中的大气压强不高于10-8帕斯卡时便可以正常工作，真空室的除气过程大大缩短，从而提高了产品生产效率；2.真空室除气彻底，大大减少氧分子、水蒸气的含量，三代像增强器的生产加工过程中发生化学反应的几率大大降低，因此，产品合格率将大大提高。
图1为实现本发明所述方法的生产装置。
该生产装置共有12个工作室，其中1.荧光屏组件加载闸门室，2、3、5、6、7、8.超高真空室，4.光电阴极组件加载闸门室，9.卸载闸门室。
具体实施例方式
为对本发明有进一步的了解，下面将结合附图对本发明所述的方法进行详细的说明。
本发明所述方法的具体实现方式包括以下步骤
步骤1在生产像增强器产品前，将工作室中的超高真空室2、3、5、6、7、8及卸载闸门室9用惰性气体(比如氩气、氦气等)置换空气，并使这些超高真空室和闸门室9中的大气压强均不高于预定值；步骤2将荧光屏组件送入荧光屏组件加载闸门室1，然后向该闸门室中通入惰性气体置换空气；当该闸门室中的大气压强不高于预定值后，打开闸门，将荧光屏组件送入与该闸门室相邻的超高真空室2、3中进行密闭除气和电子轰击清洗；然后再将荧光屏组件送入超高真空室7中；步骤3将光电阴极组件送入光电阴极组件加载闸门室4中，然后向该闸门室中通入惰性气体置换空气；当该闸门室中的大气压强不高于预定值后，打开闸门，将光电阴极组件送入与该闸门室相邻的超高真空室5中，进行密闭预除气；然后再将光电阴极组件送入超高真空室6中，进行批量最终清洗和敏化处理，形成光电阴极，最后将光电阴极送入超高真空室7中；步骤4将超高真空室7中的荧光屏组件和光电阴极进行组装处理，然后送入超高真空室8中，进行批量密封焊接处理，形成真空管；步骤5将加工好的真空管送入卸载闸门室9，并从该闸门室批量卸载。
其中上述大气压强预定值为10-8帕斯卡；光电阴极组件可以是GaAs光电阴极组件；步骤2和步骤3可以同步进行，也可以不同步进行；在步骤3中，可以同时向两个闸门室4中加载光电阴极组件，也可以先后向两个闸门室4中加载光电阴极组件。
在整个生产加工过程中，各个工作室可以同时工作，以便提高工作效率。
图1所示的12个工作室中均设有气压表，在生产过程中随时监测各个工作室的大气压强。当其中任何一个工作室的大气压强超过10-8帕斯卡时，需要立即停止加工工作，重新用惰性气体置换各个工作室中的空气，直到当各个工作室的大气压强不高于10-8帕斯卡后，再恢复正常加工工作。
由于采用惰性气体置换各个工作室中的空气，使得当工作室中的大气压强不高于10-8帕斯卡时便可以正常工作，因此，真空室除气过程大大缩短，可以提高生产效率达两倍以上；同时，真空室除气彻底，剩余氧分子、水蒸气少，当提高室内温度时，发生化学反应的几率大大降低，产品合格率大大提高。据统计，采用本发明方法，产品合格率可以提高到80％。因此，本发明具有广阔的市场前景。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种三代像增强器的制作方法，其特征在于将各个工作室用惰性气体置换空气，当各个工作室内的大气压强不高于预定值后，进行像增强器的生产加工。
2.如权利要求1所述的三代像增强器的制作方法，其特征在于该方法包括如下步骤A、将工作室中的各个超高真空室和卸载闸门室用惰性气体置换空气，并使所述超高真空室和卸载闸门室中的大气压强均不高于所述预定值；B、将荧光屏组件送入工作室中的荧光屏组件加载闸门室，然后向该闸门室中通入惰性气体置换空气；当该闸门室中的大气压强不高于所述预定值后，打开闸门，将所述荧光屏组件送入与该闸门室相邻的超高真空室进行密闭除气和电子轰击清洗处理；然后将所述荧光屏组件送入组装真空室；C、将光电阴极组件送入工作室中的光电阴极组件加载闸门室，然后向该闸门室中通入惰性气体置换空气；当该闸门室中的大气压强不高于所述预定值后，打开闸门，将所述光电阴极组件送入与该闸门室相邻的超高真空室进行密闭预除气处理，然后将光电阴极组件送入相临的超高真空室进行批量最终清洗和敏化处理形成光电阴极，最后将所述光电阴极送入所述组装真空室；D、将所述组装真空室中的荧光屏组件和光电阴极进行组装处理后送入密封超高真空室，进行批量密封焊接处理，形成真空管；E、将所述真空管送入卸载闸门室，并从该闸门室批量卸载。
3.如权利要求1或2所述的三代像增强器的制作方法，其特征在于，所述工作室内的大气压强预定值为10-8帕斯卡。
4.如权利要求2所述的三代像增强器的制作方法，其特征在于，所述步骤B和步骤C同步进行。
5.如权利要求3所述的三代像增强器的制作方法，其特征在于，所述步骤B和步骤C不同步进行。
6.如权利要求1或2所述的三代像增强器的制作方法，其特征在于，所述惰性气体包括氩气或氦气。
7.如权利要求1或2所述的三代像增强器的制作方法，其特征在于，所述光电阴极组件为砷化镓光电阴极组件。
全文摘要
本发明涉及一种三代像增强器的制作方法，将各个工作室用惰性气体置换空气，当各个工作室内的大气压强不高于预定值后，进行像增强器的生产加工。采用本发明所述的技术方案，不但可以提高生产效率，还可以大大提高产品合格率。
文档编号H01J9/00GK101055825SQ200710098589
公开日2007年10月17日 申请日期2007年4月20日 优先权日2007年4月20日
发明者张少辉, 贾欣志, 田金生, 辛福学, 卡玛良-俄迪科, 卡玛良-谢尔盖 申请人:吉林东亚夜视有限公司