专利名称：布线板、电子源以及图像显示设备的制造方法
技术领域：
本发明涉及布线板的制造方法、电子源的制造方法、图像显示设 备的制造方法以及图像再现设备。
背景技术：
在使用电子发射器件的平板显示器中，电压被选择性地施加到在 排列成矩阵形式的多个布线(矩阵布线)的每个相交处或相交处附近 提供的电子发射器件上，以控制每个电子发射器件的电子发射并显示 图像。矩阵布线由被供以扫描信号的扫描布线和与扫描布线相交的并 被供以调制信号的信号布线构成。近些年来， 一直需要能够显示高精 细图像的显示器。因而，在需要形成更细的布线的同时，需要增加布 线的膜厚，以避免由于要形成更细的布线的趋势而使得布线的电阻增 加。此外， 一直需要能够更容易生产的显示器。
作为对应于这些要求的一种解决方案，日本专利申请待审公开
No.2002 — 203475和日本专利申请待审公开No. 2005 — 190769披露了 一种方案，其中，利用被设置在基板表面中提供的槽内的导电骨，借 助于烘焙使布线掩埋在槽内，并和被提供在槽附近的电子发射器件相 连。
不过，在提供在基板表面的槽内印刷导电骨(含有布线材料的骨) 并对其烘焙而在槽内提供布线的方法中，有时由于在烘焙时布线材料 被烘焙而收缩，在布线和槽的内壁之间产生间隙。当间隙产生时，有 时在被提供在槽附近的基板表面上的电极(连接到电子发射器件的电 极或构成电子发射器件的电极)和槽内的布线之间的连接的可靠性降 低。当为了减少间隙而把槽用导电骨完全充满时，如果温度发生显著
改变，有时在槽内带电的布线由于在基板材料和布线材料之间的热膨 胀系数不同而使得槽的内壁膨胀，因此在基板内产生裂缝或缝隙。需 要改善在位于槽附近的基板表面上被提供的电极和被提供在槽内的布 线之间的连接可靠性。
发明内容
本发明的目的在于提供一种布线板的制造方法，其中在槽内提供 的布线和位于槽附近的基板表面上提供的电极之间的连接的可靠性被 改善。
(1) 为实现上述目的，按照本发明的一个方面，提供一种制
造布线板的方法，所述布线板包括(A)具有槽和与槽相邻的相邻 区域的基板，以及(B)具有第一部分和从第一部分延伸的第二部分 的第一布线，所述第一部分被提供在所述槽内的第一区域内，所述第 二部分被提供在作为相邻区域的一部分的第二区域内，所述方法包括 以下步骤制备具有槽的基板；使得作为相邻区域的另一部分的第三 区域的围绕所述第二区域以及所述槽的接触角不同于第二区域的接触 角；以及，至少对槽的内部和与槽相邻的区域的一部分施加导电骨。
(2) 按照本发明的另一个方面，提供一种制造布线板的方法， 所述布线板包括(A)具有槽和与槽相邻的相邻区域的基板，以及
(B)具有第一部分和从第一部分延伸的第二部分的第一布线，所述 第一部分被提供在所述槽内的第一区域内，所述笫二部分被提供在作 为相邻区域的一部分的第二区域内，所述方法包括以下步骤制备具 有槽的基板；使得作为相邻区域的另一部分的第三区域的夹住第二区 域的接触角不同于第二区域的接触角；以及，至少对槽的内部和与槽 相邻的区域的一部分施加导电骨。
(3) 按照本发明的另一方面，提供一种制造电子源的方法， 所述电子源包括具有第一布线和第二布线的布线板；以及多个电子 发射器件，它们被设置在所述布线板上，并具有和第一布线相连的第 一电极以及和第二布线相连的第二电极，其中所述布线板按照上面(l)
和(2)中所述的制造布线板的方法被制造。
(4) 按照本发明的另一方面，提供一种图像显示设备的制造 方法，所述图像显示设备包括电子源和发光部件，当从所述电子源发 出的电子被辐射时，所述发光部件发光，其中所述电子源按照上面(3) 中所述的制造电子源的方法制造。
(5) 按照本发明的另一个方面，提供一种图像再现设备，其 至少包括接收单元，用于接收广播信号和通过电通信网络的信号中至 少之一，以及包括和所述接收单元相连的图像显示单元，其中所述图 像显示单元按照上面(4)中所述的制造图像显示设备的方法被制造。
因而，可以容易地以高可靠性实现在槽内提供的布线和位于槽附 近的基板表面上提供的电极之间的连接。
图l是使用本发明的布线板和电子发射器件的电子源的例子的示 意平面图2是沿着图1的线A-A取的示意截面图3是沿着图1的线B-B取的示意截面图4A，4B是在导电骨干燥之后的示意平面图和示意截面图5A，5B是在导电骨被烘焙之后的示意平面图和示意截面图6是按照印刷方法形成的电极和布线的示意截面图7是按照印刷方法形成的电极和布线的示意截面图8是按照本发明的TV单元的方框图；以及
图9A-9H表示本发明的布线板和电子源的制造过程。
具体实施例方式
下面参照图9说明本发明的布线板(具有布线的基板)的制造方 法。也将说明将所述布线板应用于电子源的例子。图9表示布线板和 电子源的制造过程。
这里示出了使用表面传导电子发射器件作为电子发射器件的例有间隙的导电膜以及和所述导电膜的 两端相连的一对电极构成。电子发射器件至少具有两个电极，例如场
致发射电子发射器件、MIM型电子发射器件可以用作本发明的电子 源。可按照本发明的制造方法形成的布线板可以应用于各种显示器和 显示板，例如液晶显示器、有机EL显示器和等离子体显示器。如果 任何功能器件例如上述的电子发射器件、EL器件、TFT被设置在本 发明的布线板上并和第一导体相连，则可以构成各种电子装置例如显 示器和电路。
<布线板和电子源的制造方法> (处理l)
首先，制备基板l，并在基板1的表面的预定位置形成沿X方向 延伸的多个槽2(图9A)。虽然所示的X方向是相对于图9的纸面的 左右方向，但是槽2也可以沿垂直方向(Y方向)形成。即，槽的延 伸方向可以是任何预定方向。
作为基板1的材料，可以使用任何绝缘材料，特别优选的是玻璃。 当然，允许使用配备有槽2的基板。
虽然已知的方法例如湿式蚀刻或千式蚀刻可以用作槽2的形成方 法，优选的是使用喷砂方法。因为利用喷砂方法形成的槽2的内壁具 有大的不平衡性，可以有效地用导电骨填充槽2。此外，还因为可以 抑制在布线4和在随后的烘焙处理中获得的槽2的内壁之间的干扰(发 生应力等)，所以该方法是优选的。 (处理2)
在位于槽2旁边(邻近于槽2)的基板l的表面(区域)上，提 供成对的电极第一电极91和第二电极92 (图9B)。
作为电极91、 92的材料，可以使用任何导电材料。例如，作为 电极91、 92的材料，可以使用金属材料。特别地，最好使用化学稳定 的金属材料，例如铂。作为成对电极的制造方法，可以使用公知的膜 形成方法，例如濺射方法。
在处理2之前，优选由氧化硅构成的膜被提供在基板1的表面上， 至少在要设置电子发射器件的区域。可以在形成基板1的槽2的整个 表面上形成所述的膜。可以通过溅射方法等形成氧化硅膜。通过形成 氧化硅膜，可以阻止碱金属例如对形成在成对电极91、 92上的电子发 射器件有害的钠从基板l扩散。同时，可以省略形成氧化硅膜的处理。
(处理3)
接着，第二区域712 (其中提供从布线的主要部分(布线的第一 部分)延伸的部分(布线的第二部分)5,第二区域是和槽2相邻的区 域(第一区域711)的一部分)的接触角，被设置成和与槽2相邻的 区域的另一部分(其中不提供布线(第一部分4和第二部分5)的区 域)720的夹住第二区域712的接触角不同。更具体地说，其中提供 笫二部分5的区域712的接触角被设置成小于部分720的接触角，部 分720是除去槽2之外的基板1的表面，并且其中不提供布线的第二 部分5 (第二部分5周围的区域)(图9C)。优选地，在构成基板l 的表面的第一区域711和第二区域712之间的接触角被设置得小于其 中不提供布线的第二部分5的区域(第二部分5周围的区域或第三区 域)720的接触角。特别优选地，构成基板1的表面的第一区域711 和第二区域712的接触角被设置得相等。作为一个实际值的例子，在 图4B所示的例子中，其中形成布线的区域710(第一区域711和第二 区域712)的接触角被设置为6度，而没有形成布线的区域(3， 720) 的接触角被设置为50度。上述的接触角可被定义为用于形成布线(第 一部分4和第二部分5)的导电骨的溶剂(主要溶剂)相对于基板1 的接触角。因为第二部分5在所示的例子中需要和电极91相连，所以 第二区域712包括电极91的一部分。这就是说，在和第二部分5相连 的部分(由第二部分5的一部分覆盖的部分)电极91的接触角被设置 得小于其中不提供布线的第二部分5的区域(第二部分5周围的区域 或第三区域)720的接触角。优选地，和第二部分5相连的电极91(由 第二部分5的一部分覆盖的部分)的接触角被设置得基本上等于第一 区域711的接触角。
区域710是基板1的表面的一部分并配备有布线(第一部分4和
第二部分5),其至少由基本上对应于槽2的内部的第一区域711(提 供有布线的第一部分4的区域)和第二区域(提供有布线的第二部分 5的区域)712 (对应于本发明的通路(passage)部分)构成。虽然第 一区域711最好被设置为等于槽2的内部，但是它们的尺寸可以略有 不同。在下一个处理中，对笫一区域711比对第二区域712供给(灌入) 更多的导电骨。因而，由于其自身的重量，导电骨自然地在槽2内(在 第一区域711上)扩散。为了使在第一区域711上自然扩散的导电骨 选择性地在基板1的第二区域712上扩散，基板1的第二区域712的 接触角 一般被设置得小于作为排除基板1的第一区域711和第二区域 的第三区域720的接触角。虽然图9C表示的例子是，基板l的表面 只由第一区域711、第二区域712和第三区域720构成，但可以存在 其它区域。笫三区域720的作用是控制导电骨从第一区域711扩散。 因而，第三区域720被这样提供，使得导电骨被选择性地从第一区域 711分支到第二区域712 (要规定导电骨的通路)。 一般地，导电貪的 粘度并不是这样低。实际上，第三区域720被这样提供，使得沿着与 其中布线的第二部分5从第一部分4分支并延伸的方向(图9中的Y 方向)相交的方向(一般为垂直方向(图9中的X方向))夹住第二 区域712。在本发明中，如图9C所示，优选地，第二区域712被第一 区域711 (或槽2)和第三区域720围绕，以便严格地规定导电骨沿X 方向和Y方向的扩散。换句话说，按照本发明，优选地，第一区域711 被第二区域712和第三区域720围绕。在本发明中，优选地，第一区 域(构成基板l的表面同时构成槽2的区域(被称为"槽"))和第 二区域712 (构成基板l的表面同时从槽2延伸的区域)被第三区域 720围绕。结果，用于导电骨的通路被第三区域720这样确定，使得 以高精度控制布线(4, 5)的图案。为了连接被提供在基板1上和槽 2分开的电极91与在本例中所述的布线(4， 5)，优选地，提供笫三 区域720，使得和电极91的一部分重叠。优选地，上述的接触角的值对应于包含要在下一个处理4中被提
供在槽2内的布线材料的导电骨的主要溶剂(溶剂)被合适地控制。 因为 一般使用有机溶剂作为导电骨的主要溶剂，所以具有低接触角的 第二区域712可以认为是比周围的第三区域具有较高的亲脂性(较低 的疏油性)的区域。在其中形成布线的区域710 (第一区域和第二区 域)和其中不形成布线的区域720 (第三区域)中，如果相对于导电 骨的主要溶剂的接触角的差是20度到70度，则可以形成具有良好的 可再现性的布线。这个处理可以采用以下方法进行。即，基板l内具有槽2的整个 表面被涂覆具有疏油性的(非亲脂性)硅烷偶联剂(例如烷基硅烷偶 联剂)。接着，在低压汞灯(波长254 nm )和基板1之间提供具有透 光部分和遮光部分的光掩模，并用紫外光照射基板1表面上的预定区 域(第一区域711和第二区域712)。结果，被紫外光照射的区域(第 一区域711和第二区域712)可被调整成为比未用紫外光照射的区域 具有较高亲脂性的区域。此外，未被紫外光照射的区域可被调整为具 有比用紫外光照射的区域较高的疏油性的区域3 (720)。同时，用上 述方法形成的区域3可以通过在大气中进行加热处理(例如后面说明 的用于导电骨的烘焙处理)而被去除。形成导电骨被从第一区域711分支并流入其内的第二区域712， 该区域是这样形成的在基板l的表面内形成要被变成用于导电骨的 通路的通路部分(第二区域712)的接触角，所述接触角和围绕该通 路的围绕部分720 (第三区域)的接触角不同。此外，优选地，第一 区域711由第三区域720围绕。 (处理4)含有用于构成布线的材料的导电骨被施加到槽(区域711)上， 并从第一区域711向第二区域712扩散。然后使导电骨干燥并在空气 中被烘焙以形成第一布线(图9D)。第一布线含有被设置在槽2中的第一部分4和从槽2分支并从第 一部分4延伸到基板1的表面上的电极91上的第二部分5。在这个处 理中，第一电极91和第一布线相连。 作为上述的导电骨，优选地使用含有构成布线4的材料的大量颗 粒(导电颗粒)的导电骨。 一般地说，使用有机溶剂作为上述颗粒的 溶剂，如上所述。同时，在本发明中使用的导电骨中的溶剂不限于有 机溶剂。可以采用印刷方法把导电骨施加到槽2中。优选地，使用银颗粒 作为构成布线的材料的颗粒。不过，也可以使用银之外的其它金属材 料。当在槽2中施加导电骨时，最好这样施加导电骨，使得其高出基 板l的表面(基板表面)。此后，使导电骨在常温下保持一段时间， 以便其从第一区域711充分地扩散到第二区域712。导电骨从槽2(区 域711)向对导电骨的溶剂具有较高亲和力的部分(第二区域712 )扩 散。导电骨可被对所述溶剂具有较低亲和力的部分(位于第二区域712 周围的区域(包围部分720))阻挡。同时，导电骨可以被第三区域 720阻挡，该第三区域720在要用导电骨填充的部分(第一区域711 中不与第二区域712接触的部分)围绕第一区域711和第二区域712。(处理5)接着，在作为布线(4, 5)的主体的部分(4)上形成绝缘层7 (图9E )。绝缘层7被这样提供，使得在布线(4, 5)和在下一个处理中形 成的布线8之间不会短路。虽然这里示出了绝缘层7被单独提供在布 线4和布线8的每个相交处的例子，但绝缘层7可被提供使得沿着布 线4 (X方向)覆盖布线4。绝缘层7可以通过印刷绝缘骨而被形成。可以使用感光的绝缘骨 作为印刷方法中使用的绝缘骨。借助于使用感光的绝缘骨，可以把绝 缘层7形成预定的图案。作为绝缘层7的材料，可以使用玻璃例如氧化硅作为主体。 (处理6)接着，提供第二布线8 (图9F)。在这个处理中，第二电极92和笫二布线8可以相连。第二布线8
可以类似于第一布线(4， 5)通过使用在预定位置印刷导电骨并烘焙 的方法而被提供。为了以小的宽度形成笫二布线8，允许采用以下方 法印刷具有感光性的导电骨作为导电骨，在以预定的图案曝光之后， 进行显影和烘焙。虽然作为第二布线8的制造方法印刷方法是优选的， 但是不限于这种方法，而可以采用公知的布线制造方法。在上述的处理中，确保了在第一布线U， 5)和第二布线8之间 的相交处的绝缘，可以形成具有低电阻以及在第一电极91与第一布线 (4， 5)之间的稳定连接的矩阵布线。同时，虽然在第一电极和第二 电极2被提供之后形成第一布线(4， 5)，但是第一电极和第二电极 2也可以在第一布线(4, 5)形成之后被形成。此外，可以在进行笫 三到第六处理之后进行第二处理。即，虽然在第三处理之前进行第二 处理比较容易，因而是优选的，但是关于第一布线(4， 5)、绝缘层 7和第二布线8的处理，不限于任何特定的顺序。 (处理7)当表面传导电子发射器件被形成时，随后，提供导电膜10用于 在第一电极91和第二电极92之间进行连接(图9G)。虽然可以使用PdO膜或碳膜作为导电膜10，但导电膜10的材料 不限于此。考虑到电阻值，导电膜10的厚度最好在5 nm到100 nm 的范围内。(处理8)接着，在导电膜10中提供间隙11 (图9H)。间隙11可以由当在第一布线4和第二布线8之间重复地施加脉 冲电压时向导电膜IO馈入的电流所产生的焦耳热来形成。优选地，通过在含碳的环境中在第一布线4和第二布线8之间施 加脉冲电压来进行活化处理。借助于进行活化处理，可以改善电子发 射特性。在活化处理中，提供具有比上述的间隙11小的间隙的碳膜、其中用上述方式设置矩阵形式的电子发射器件的电子源可以形 成一种优良的电子源，其是高度精细的、特性改变小并且发射的电子 的轨道改变小。作为能够使这种优良的电子源得以形成的因素，可以 在槽2中提供具有大截面和低电阻的布线4，此外，其可被稳定地连 接到电子发射器件的电极，使得可以减少提供给每个电子发射器件的 电压的改变。此外，作为另一个因素，因为可以在预先提供在基板1 中的槽2内设置低电阻布线，所以可以容易地生产高精细的布线，此 外，因为从布线的顶端到基板l的表面的距离可被抑制，所以可以抑 制布线对发射的电子的轨道的影响。同时，虽然在此具体示出了用于 形成电子源的处理，但至少执行处理l、处理3和处理4以形成布线 板。可以应用本实施例的电子发射器件包括使用碳纤维例如碳纳米 管的场致发射电子发射器件和MIM型电子发射器件。 <图像显示设备>图7表示具有其中以矩阵形式排列电子发射器件的电子源的图像 显示设备。X方向布线72相应于上述的第一布线(4， 5) ， Y方向布线73 相应于上述的第二布线8。 一对电极12， 13相应于上述的第一电极91 和第二电极92。附图标记15相应于具有间隙11的导电膜IO。电子发 射器件由一对电极12， 13和具有间隙的导电膜15构成。后板71相应于前述的基板1。附图标记86代表面板，其中在玻 璃基板83的表面上提供有发光层84 (相应于发光部件)和阳极电极 85，所述发光部件当被电子束照射时发光。在后板71和面板86之间 提供支撑框架82。保持内部为真空的容器88由后板71、面板86和支 撑框架82构成。端子(Doxl-Doxm)被连接到每个X方向的布线， 端子(Doyl-Doyn )被连接到每个Y方向的布线73。要被连接到高压 电源上的端子87被连接到阳极电极85。扁平的平板显示器101由这 种容器和驱动电路(未示出)构成。使用图7所示的实施例的平板显示器88可以构成一种图像再现 设备。更具体地说，在接收单元(即用于选择被接收的信号和选择的信 号的调谐器)中包含的信号被输出到显示屏88，使得其在屏幕上被显 示或再现。接收单元可以接收TV广播等的广播信号或者通过无线网 络、电话网络、数字网络、模拟网络或电通信网络例如按照TCP/IP 协议连接的互联网发送的信号。在上述选择的信号中包含的信号指的 是视频信号、字符信息和音频信息中至少之一。信息显示/再现单元例 如TV可以由这种配置构成。当然，如果广播信号被编码，则本发明 的图像再现设备可包括解码器。音频信号被输出到音频再现装置例如 被单独提供的扬声器，并且和在显示屏88上显示的视频信息或字符信 息同步地被再现。通过向显示屏88输出而在屏幕上显示和/或再现视频信息或字符 信息的方法可以按照下述方式执行。首先，由接收的视频信息或字符 信息产生对应于显示屏88的每个像素的图像信号。然后把产生的图像 信号输入到显示屏88 (图8的Cll)的驱动电路(图8的C12)。根 据对驱动电路输入的图像信号控制由驱动电路对显示屏88内的每个 电子发射器件施加的电压，从而显示图像。<TV单元>图8是按照图像再现设备的一个例子的TV单元的方块图。接收 电路(C20)由调谐器、解码器等构成，用于接收卫星广播、地面波等以 及通过无线网络、电话线路、数字网络、模拟网络、电信线路例如按 照TCP/IP协议连接的互联网的数据广播的TV信号，并向I/F (接口 部分)(C30)输出解码的视频数据。I/F部分(C30)把视频数据转 换成显示单元的显示格式，并把图像数据输出到显示屏(Cll)。图像显 示单元(ClO)包括显示屏(Cll)、驱动电路(C12)和控制电路(C13)。控制并把图像数据和各种控制信号输出到驱动电路(C12)。驱动电路(C12) 根据输入的图像数据向显示屏(C11)的每个布线7 (见图7的 Doxl-Doxm，Doyl-Doyn)输出驱动信号，从而显示TV图像。接收电 路(C20)和I/F部分(C30)可作为机顶盒(STB)被包括在与图像显 示单元(C10)分离的单元内，或者与图像显示单元(C10)被包含在同一 个壳体内。
接口可被这样构成，使得能够和图像记录单元或图像输出单元，例如打印机、数字摄像机、数字照相机、硬盘驱动器(HDD)以及数字 视频盘(DVD)相连。这样，记录在图像记录单元上的图像可被在显示 屏(C11)上被显示。此外，根据需要，可以构成能够处理在显示屏(Cll) 上显示的图像并输出到图像输出单元的图像再现设备(例如TV)。这里说明的图像再现设备的配置是一个例子，可以根据本发明的 技术构思在许多方面进行修改。利用本发明的图像再现设备，借助于 和TV会议系统或计算机相连，可以构成多种图^f象再现设备。<例子>下面说明本发明的实施例。已经参照图9说明了在笫一布线4的 一侧上提供电子发射器件的例子。在本实施例中，将说明在第一布线 4的两侧上提供电子发射器件的例子。在说明制造过程时将适当地参 看图9。同时，使用玻璃基板l作为基板l。<例1>生产了图l-5所示的基体玻璃基板。图l是在本例中生产的电 子源玻璃基板的一部分的示意平面图，图2是沿图1的线A-A取的示 意截面图，图3是沿图1的B-B取的示意截面图。首先制备玻璃基板l。在玻璃基板l上覆盖干的膜抗蚀剂，只有 其中形成槽2的一部分抗蚀剂被熔化并形成保护模。接着，使用喷砂方法形成具有300微米槽宽和50微米槽深的槽2 (图9A )。接着，剥除干膜抗蚀剂，然后，在整个玻璃基板表面上形成Si02膜。形成一对铂电极(91， 92)(图9B)。所述一对电极(91， 92) 对应于图1的附图标记9。使用疏油剂(烷基硅烷偶联剂)在玻璃基板1的整个表面内形成 槽。借助于这个处理，玻璃基板ll的表面对于丁基醋酸卡必醇(butyl carbitol acetate) (BCA)的接触角是50度。接着，在玻璃基板1和具有透光部分和遮光部分的光掩模之间进 行定位，并使用低压汞灯(波长254 nin)投射紫外光。即，对应于槽 2的第一区域711和第二区域712被紫外光照射，从而改变相对于作 为基板l的其它区域的第三区域720的亲脂性(其它部分仍然具有疏 油性)(图4,图9C)。在未被紫外光照射的区域内形成疏油图案3。 同时，第二区域712包括电极9的一部分。位于被紫外光照射的区域(第一和第二区域)中的疏油剂被溶解。 由于疏油剂的溶解而形成的亲脂区域(711， 721)相对于BCA的接 触角被变成6度，在疏油区域720和亲脂区域(711， 712)之间提供 了大于40度的接触角差(图4A，4B )。接着，按照丝网印刷方法印刷导电貪4 (银骨(其含有0.3 wt% 的玻璃粉成分，以丁基醋酸卡必醇为主要溶剂))，以使其被滴入槽 2内。此时，其被这样注入，使得其从玻璃基板l的表面膨出70微米。 此后，把该玻璃基板在常温下保持20分钟，以使得导电骨4在第一区 域711和第二区域712上充分扩散(图4B )。因为导电骨在具有高的亲脂性的区域(711， 712)上扩散，所以 导电骨便这样流动，以致其延伸到电极9。当导电骨达到具有低亲脂 性的区域720的边界时，导电骨便被那个部分阻挡，从而电极9的一 部分被导电貪覆盖。接着，在溶剂被干燥之后，借助于在空气中烘焙形成和电极9相 连的、相对于玻璃基板表面基本上平的第一布线(4, 5)(对应于扫 描布线)(图5,图9D)。图案3 (疏油剂)可以通过在空气中烘焙 被去除。其中混合有感光材料的绝缘骨被施加于玻璃基板l的整个表面， 使用光刻方法在第一布线U， 5)上形成绝缘层7 (图9E)。接着，通过按照印刷方法进行涂覆并烘焙，使用和用于形成第一 布线(4， 5)的导电骨相同的导电骨形成第二布线8 (对应于信号布 线)，从而制成了具有矩阵布线的布线基板(图9F)。虽然在槽2和第一布线之间产生了 7微米的间隙6，但是在电极 9和布线(4， 5)之间的连接状态是优异的。
在按照喷墨方法施加含钯的有机溶液以便连接一对电极9之后， 借助于热处理形成由氧化钯(PdO)构成的导电膜IO。此后，借助于在第一布线和第二布线之间重复地施加脉冲电压， 在导电膜10的一部分中产生间隙11。随后，通过在含碳的环境中在 第一布线4和第二布线8之间重复地施加脉沖电压进行活化处理，形 成电子源(图9H)。作为驱动按照本实施例生产的电子源的结果，可以获得长期稳定 的并且电子发射特性变化小的电子源。<例2>槽2的形成、电极9的形成以及疏油图案的形成以和第一例相同 的方式被进行，并且借助于丝网印刷方法印刷导电骨(Ag骨(玻璃粉 成分为1.0 wt%),按照第一例在烘焙时具有小的收缩量)，以使其 滴入槽2中。当对槽2施加导电骨时，导电骨被这样施加，使得考虑到由烘焙 Ag材料而产生的收缩，在烘焙之后相对玻璃基板1的表面导电貪膨出 20微米或基本上是平的。接着，在溶剂干燥之后，玻璃基板l在空气中被烘焙，从而制成 相对于玻璃基板1的表面基本上平的第一布线(4， 5)(图6)。结 果，可以改善在被提供在位于槽附近的玻璃基板表面上的电极和提供 在槽内的布线之间的连接的可靠性。以和第一例相同的方式进行随后的处理，从而制成和矩阵布线相 连的电子源。虽然由于烘焙Ag材料产生收缩使得在槽2的内壁和第一布线之 间产生2微米的间隙6，但在电极9和第一布线(4, 5)之间的连接 是优异的。提供间隙6可以阻止在玻璃基板1中发生裂缝或裂隙。然后，通过对着用这种方式生产的电子源设置包括荧光膜84和 金属背85的面板86，制成由图7所示的显示屏构成的图像显示单元。 通过对每条信号布线(第二布线8 )和每条扫描布线(第一布线4 )合 适地施加预定电压来显示图像，可以获得长期稳定的图像，此外，当 在制造或者施加驱动而生热时，没有扫描线从玻璃基板l剥离，或者 在玻璃基板1的表面内未产生细的裂缝，因而在每个电子发射器件和 布线之间的连接是稳定的。如上所述，按照本实施例，在提供在基板l的槽2内的第一布线 4和在槽2附近设置的电极9之间的连接可被稳定地形成，按照材料 和处理，可以用低成本制成高精细的矩阵布线结构，并且可以容易地 制成极好的平板显示器。虽然参照示例的实施例说明了本发明，应当理解，本发明不限于 所披露的示例的实施例。下面的权利要求的范围应当给予最宽的解释， 使得包括所有的这种改型、等同结构和功能。本申请要求2006年7月10日申请的，申请号为2006- 189282 的日本专利申请的优先权，该专利申请引用在本说明书中作为参考。
权利要求
1.一种制造布线板的方法，所述布线板包括(A)具有槽和与槽相邻的相邻区域的基板，以及(B)具有第一部分和从第一部分延伸的第二部分的第一布线，所述第一部分被提供在所述槽中的第一区域内，所述第二部分被提供在作为相邻区域的一部分的第二区域内，所述方法包括以下步骤制备具有槽的基板；使得作为相邻区域的另一部分的第三区域的围绕所述第二区域以及所述槽的接触角不同于第二区域的接触角；以及至少对槽的内部和相邻区域的一部分施加导电膏。
2. —种制造布线板的方法，所述布线板包括(A)具有槽和与 槽相邻的相邻区域的基板，以及(B)具有第一部分和从第一部分延 伸的第二部分的第一布线，所述第一部分被提供在所述槽中的第一区 域内，所述第二部分被提供在作为相邻区域的一部分的第二区域内，所述方法包括以下步骤 制备具有槽的基板；使得作为相邻区域的另一部分的第三区域的夹住第二区域的接 触角不同于第二区域的接触角；以及至少对槽的内部和相邻区域的一部分施加导电骨。
3. 如权利要求1或2所述的制造布线板的方法，其中所述相邻区域相对于槽是平坦的。
4. 如权利要求1或2所述的制造布线板的方法，还包括在对槽的 内部和相邻区域的一部分施加导电骨之前在相邻区域中提供电极的步 骤，其中导电骨覆盖所述电极的至少一部分。
5. 如权利要求1或2所述的制造布线板的方法，其中所述接触角 相对于导电骨的主要溶剂被限定，并且第二区域的接触角小于第三区 域的接触角。
6. 如权利要求1或2所述的制造布线板的方法，其中相对于导电 骨的主要溶剂，第二区域的接触角和第三区域的接触角之间的差为20 度到70度。
7. 如权利要求1或2所述的制造布线板的方法，还包括以下步骤 提供位于第一布线上的并和第一布线相交的第二布线；以及 在第一布线和第二布线之间提供绝缘层。
8. —种制造电子源的方法，所述电子源包括具有第一布线和第二 布线的布线板，以及多个电子发射器件，它们被设置在所述布线板上，并具有和第一 布线相连的第一电极以及和第二布线相连的笫二电极，其中所述布线板按照权利要求7所述的制造布线板的方法被制造。
9. 一种图像显示设备的制造方法，所述图像显示设备包括电子源 和发光部件，当从所述电子源发出的电子被辐射时，所述发光部件发 光，其中所述电子源按照权利要求8所述的制造电子源的方法被制造。
10. —种图像再现装置，至少包括接收设备，用于接收广播信号 和通过电通信网络的信号中至少之一，以及包括与所述接收设备相连 的图像显示设备，其中所述图像显示设备按照权利要求9所述的图像 显示设备的制造方法被制造。
全文摘要
本发明披露了一种制造布线板的方法，所述布线板包括 (A)具有槽和与槽相邻的相邻区域的基板，以及(B)具有第一部分和从第一部分延伸的第二部分的第一布线，所述第一部分被提供在所述槽内的第一区域内，所述第二部分被提供在作为相邻区域的一部分的第二区域内，所述方法包括以下步骤制备具有槽的基板；使得作为相邻区域的另一部分的第三区域的围绕所述第二区域以及所述槽的接触角不同于第二区域的接触角；以及至少对槽的内部和相邻区域的一部分施加导电膏。
文档编号H01J1/316GK101106051SQ200710112278
公开日2008年1月16日 申请日期2007年6月29日 优先权日2006年7月10日
发明者守屋雅文, 石渡和也, 铃木义勇 申请人:佳能株式会社